【技术实现步骤摘要】
本申请涉及缺陷检测，具体涉及一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测方法及系统。
技术介绍
1、光子晶体是一种具有周期性折射率变化的介质，具有独特的光学性质，如光子禁带和光子局域等，广泛应用于光学、光电子和光通信等领域。在制造和使用过程中，光子晶体镀膜的缺陷检测是一个重要的环节。在制造和使用光子晶体镀膜的过程中，由于各种原因（如材料不纯、工艺不当等），可能会出现各种缺陷，这些缺陷会对产品的性能产生严重影响。因此，开发一种能够实时、在线检测这些缺陷的方法是非常重要的。在线检测方法是指在生产过程中，实时地对产品进行检测，以便及时发现并处理问题，从而提高产品质量和生产效率。对于光子晶体镀膜的缺陷检测，在线方法可以快速并准确地检测出膜层的瑕疵和问题，如厚度不均、孔洞、裂纹等。
2、但在实现本申请实施例中专利技术技术方案的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：
3、无法在生产线上实时准确地识别和定位所有缺陷，同时还需要人工干预来进行缺陷的分类和识别，导致误报或漏报的情况发生，无法适应生产线上快速变化的需求。
技术实现思路
1、本申请主要解决了无法在生产线上实时准确地识别和定位所有缺陷，同时还需要人工干预来进行缺陷的分类和识别，导致误报或漏报的情况发生，无法适应生产线上快速变化的需求。
2、鉴于上述问题，本申请提供了一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测方法及系统，第一方面，本申请提供了一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测方法，所述方法包括：生成基础测试结果，所述基础测试结果为
3、第二方面，本申请提供了一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测系统，所述系统包括：测试结果获取模块，所述测试结果获取模块用于生成基础测试结果，所述基础测试结果为通过椭圆偏振光谱仪进行待镀膜光子晶体透光测试的测试结果，并建立基础测试结果中光子晶体的唯一标识映射；镀膜操作执行模块，所述镀膜操作执行模块用于执行光子晶体的镀膜操作，当任意光子晶体镀膜完成后，通过所述唯一标识映射调用对应基础测试结果；第一异常检测结果生成模块，所述第一异常检测结果生成模块用于通过所述椭圆偏振光谱仪进行镀膜后的光子晶体测试，生成透光测试结果，并基于透光测试结果和对应基础测试结果生成第一异常检测结果；扫描图像建立模块，所述扫描图像建立模块用于保持光子晶体位置，通过扫描电子显微镜对镀膜后的光子晶体执行数据采集，建立扫描图像；第二异常检测结果生成模块，所述第二异常检测结果生成模块用于将所述扫描图像输入图像识别网络，生成第二异常检测结果；在线检测结果生成模块，所述在线检测结果生成模块用于根据所述第一异常检测结果和所述第二异常检测结果生成缺陷在线检测结果。
4、本申请中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
5、本申请提供了一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测方法及系统，涉及缺陷检测
，所述方法包括：生成基础测试结果，通过椭圆偏振光谱仪进行待镀膜光子晶体透光测试的测试结果，执行镀膜操作，通过晶体测试生成透光测试结果，结合对应基础测试结果生成第一异常检测结果，保持光子晶体位置，执行数据采集建立扫描图像，生成第二异常检测结果，最终生成缺陷在线检测结果。
6、本申请主要解决了无法在生产线上实时准确地识别和定位所有缺陷，同时还需要人工干预来进行缺陷的分类和识别，导致误报或漏报的情况发生，无法适应生产线上快速变化的需求。全面地评估镀膜后光子晶体的质量和性能，及时发现并处理问题，提高产品质量和生产效率。
7、上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。
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1.一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述扫描图像输入图像识别网络，生成第二异常检测结果，还包括：
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
6.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
8.一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测系统，其特征在于，所述系统包括：
【技术特征摘要】
1.一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述扫描图像输入图像识别网络，生成第二异常检测结果，还包括：
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶航，吴继业，肖琳，
申请(专利权)人：南通纳科达聚氨酯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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