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本申请提供了一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测方法及系统，涉及缺陷检测技术领域，所述方法包括：生成基础测试结果，通过椭圆偏振光谱仪进行待镀膜光子晶体透光测试的测试结果，执行镀膜操作，通过晶体测试生成透光测试结果，结合对应基础测试结果生成第一异常...
该专利属于南通纳科达聚氨酯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通纳科达聚氨酯科技有限公司授权不得商用。

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