【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种生产高纯度氮化铝的电加热炉及其制备方法，属于材料科学。
技术介绍
1、氮化铝(ain)是一种具有纤锌矿型结构形态的难熔化合物。它的理论密度为3.26克/立方厘米，在常压下没有熔点，而在2450度时升华分解。它具有高导热率、高电绝缘、高强度、高硬度、低热膨胀系数等良好的物理力学性能，优异化学性能耐腐蚀性能以及易加工等优良的工艺性能，所以氮化铝的用途十分广泛，可以做耐火材料、砂轮、耐高温坩埚、金属冶炼炉内衬；ain粉末也大量应用于填充方面，提高被填充材料的导热率，如导热塑料、导热硅胶、导热环氧树脂等。2019年8月，《趋势与展望》在《氮化铝粉体制备技术的研究进展》一文中指出：氮化铝材料已经广泛应用于微电子及半导体器件的基板和封装领域中，同时在功率器件，深紫外led及半导体衬底方面也具有广阔的发展前景。
2、氮化铝粉末最早是在上世纪六十年代初用金属铝在氮气中加热的方法合成的，到目前为止已研制出许多制取方法。具体的有铝粉直接氮化法、碳还原法、自蔓延烧结法、化学气相沉积法、等离子体法等等。众多的制作方法中我国工业化生...
【技术保护点】
1.一种生产高纯度氮化铝的电加热炉，包括炉膛和炉胆（4），炉胆（4）内设有多层叠加料架（3），多层叠加料架（3）由单层料架（1）和挂料杆（2）叠加组成，炉胆（4）顶部设有循环风机（5）、排气阀（10）和压力真空表（14），其特征在于：所述炉胆（4）炉胆腔外设有贯通的真空泵（9）、预热氮气（6）和氨气（7），温度传感器（11）分别设在炉胆（4）内侧的上部、中部和下部，温度传感器（12）分别设在多层叠加料架（3）中心的上部、中部和下部，在炉胆（4）下部设有配气室（8），所述配气室（8）顶面设有分布均匀的小孔（13）。
2.一种生产高纯度氮化铝的制备方法，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种生产高纯度氮化铝的电加热炉，包括炉膛和炉胆（4），炉胆（4）内设有多层叠加料架（3），多层叠加料架（3）由单层料架（1）和挂料杆（2）叠加组成，炉胆（4）顶部设有循环风机（5）、排气阀（10）和压力真空表（14），其特征在于：所述炉胆（4）炉胆腔外设有贯通的真空泵（9）、预热氮气（6）和氨气（7），温度传感器（11）分别设在炉胆（4）内侧的上部、中部和下部，温度传感器（12）分别设在多层叠加料架（3）中心的上部、中部和下部，在炉胆（4）下部设有配气室（8），所述配气室（8）顶面设有分布均匀...
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