基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器及其制备方法技术

本发明专利技术实施例提供一种基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器及其制备方法，该电容器依次包括衬底，第一电极层，第一绝缘层，铁电层，第二绝缘层，第二电极层，通过在铁电层和第一电极层以及铁电层和第二电极层之间增加氧化物陶瓷材料绝缘层，减少了漏电流的产生，提高了该电容器件的抗疲劳特性，同时还兼容了不能和铁电层直接接触的电极材料。本发明专利技术实施例提供的制备基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器的方法，通过旋涂方式将铁电材料形成于第一绝缘层上，通过磁控溅射或者热蒸发的方式将第一电极层形成于衬底上，将第二电极层形成于第二绝缘层上，第一第二绝缘层均采用原子层沉积，该方法操作方便，成本低，易于实施，并且安全、环保。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电容器，尤其涉及一种有机铁电聚合物电容器及其制备方法。

技术介绍

1、有机铁电聚合物(聚偏二氟乙烯-三氟乙烯共聚物；p(vdf-trfe))因其优秀的铁电特性、化学稳定性和生物相容性，从尼龙、克酮酸等众多有机聚合物中脱颖而出，是被广泛关注的有机铁电材料之一，被誉为推动物联网发展的重要材料。但是对于有机铁电聚合物材料来说，由于电荷注入、缺陷产生和铁电畴壁钉扎效应所引起的铁电疲劳，是阻碍其应用的关键问题之一。除此以外，常规的有机铁电聚合物电容器结构存在一定的漏电流，大大降低了器件的稳定性。另外，由于有机铁电聚合物材料特殊的薄膜性能，在薄膜上制备电极，对于电极材料的选择非常苛刻，大多数金属材料都无法直接与有机铁电聚合物材料兼容。因此，寻找新的方法来降低铁电聚合物的疲劳特性，减少有机铁电聚合物电容器的漏电，并且能够兼容不同电极材料成为了研究人员们优化有机铁电聚合物性能需要重点研究的内容。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提供了一种基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器及其制备方法，该电容器能够提高有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器，其特征在于，包括：衬底，从下往上依次形成于衬底上的第一电极层、第一绝缘层、铁电层、第二绝缘层以及第二电极层，其中，所述第一绝缘层，所述第二绝缘层的材料为氧化物陶瓷材料，所述铁电层的材料为聚偏二氟乙烯-三氟乙烯共聚物。

2.根据权利要求1所述的基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器，其特征在于，所述第一绝缘层的材料为氧化铝、氧化铪或者氧化锆中的一种或者几种，所述第二绝缘层的材料为氧化铝、氧化铪或者氧化锆中的一种或者几种。

3.根据权利要求2所述的基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器，其特征在于，所述第一绝缘层的厚度为5～1...

【技术特征摘要】

1.一种基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器，其特征在于，包括：衬底，从下往上依次形成于衬底上的第一电极层、第一绝缘层、铁电层、第二绝缘层以及第二电极层，其中，所述第一绝缘层，所述第二绝缘层的材料为氧化物陶瓷材料，所述铁电层的材料为聚偏二氟乙烯-三氟乙烯共聚物。

2.根据权利要求1所述的基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器，其特征在于，所述第一绝缘层的材料为氧化铝、氧化铪或者氧化锆中的一种或者几种，所述第二绝缘层的材料为氧化铝、氧化铪或者氧化锆中的一种或者几种。

3.根据权利要求2所述的基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器，其特征在于，所述第一绝缘层的厚度为5～15纳米，所述第二绝缘层的厚度为5～15纳米。

4.根据权利要求1所述的基于绝缘层缓冲的有机铁电聚合物电容器，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：田博博，邬嘉豪，冯光迪，朱秋香，段纯刚，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：发明
国别省市：