System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种单晶硅片分选机及其使用方法技术_技高网

一种单晶硅片分选机及其使用方法技术

技术编号:40406592 阅读:5 留言:0更新日期:2024-02-20 22:28
本发明专利技术公开了一种单晶硅片分选机及其使用方法,涉及单晶硅片分选技术领域,包括数据管理中心、分选控制系统和硅片检测系统,本方案设计的单晶硅片分选机主要由数据管理中心、分选控制系统和硅片检测系统三大部分组成,分选控制系统实现硅片传输和定位,硅片检测系统实现表面和边缘的检测,而数据管理中心则可以对检测结果进行判定;本方案中的分选控制系统由振动给料器、传送组件模组、转盘组件模块和机械手模组组成,可以对待分选的硅片进行输入、输送、和分选处理,该硅片检测系统由数据中转单元和数据采集单元组成,可以对待分选的硅片进行全面检测,该专利设计提高了分选精度和效率,扩大了应用范围,有效解决了现有技术的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及单晶硅片分选,具体为一种单晶硅片分选机及其使用方法


技术介绍

1、随着科技的发展,单晶硅在光伏电池、集成电路等领域的应用越来越广泛。在单晶硅制备过程中,原料采用“切割法”获得长度在百微米级的单晶硅棒,再通过多步工序制成单晶硅片。由于单晶硅制备过程的复杂性,难免会出现缺陷片。为提高单晶硅利用效率,需要对裂解获得的单晶硅片进行分选,除去缺陷片。

2、目前,单晶硅片的分选主要通过人工视觉进行,效率低下。另外一些自动化分选机存在以下问题:

3、1、分选精度无法达到要求,且围绕指标波动大;

4、2、对小尺寸的单晶硅片分选效果不佳;

5、3、分选速度较慢,且生产效率有待提高。

6、为实现自动化、精确化的单晶硅片分选,提出一种单晶硅片分选机及其使用方法。该专利技术具有分选精度高、适用范围广、效率高的优点,可有效解决现有技术的不足的问题。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种单晶硅片分选机,以解决上述提到的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种单晶硅片分选机,包括数据管理中心、分选控制系统和硅片检测系统,所述分选控制系统由振动给料器、传送组件模组、转盘组件模块和机械手模组组成;

3、所述硅片检测系统由数据中转单元和数据采集单元组成;

4、所述数据采集单元由表面检测传感器和边缘检测传感器组成。

5、基于上述技术特征,本方案设计的单晶硅片分选机,在使用时,首先通过振动给料器实现对硅片的整齐排布,然后利用传送组件模组将硅片送到转盘组件模块进行定位处理,定位处理后的硅片利用硅片检测系统进行表面和边缘检测,检测得到的各项数据通过数据中转单元传输到数据管理中心判定,数据管理中心通过事先编制的判定算法,评估所检测的硅片生产质量为合格或不合格,最后利用机械手模组将硅片分选到不同的存放台上;

6、本方案设计的单晶硅片分选机主要由数据管理中心、分选控制系统和硅片检测系统三大部分组成,分选控制系统实现硅片传输和定位,硅片检测系统实现表面和边缘的检测,而数据管理中心则可以对检测结果进行判定;本方案中的分选控制系统由振动给料器、传送组件模组、转盘组件模块和机械手模组组成,可以对待分选的硅片进行输入、输送、和分选处理,该硅片检测系统由数据中转单元和数据采集单元组成,可以对待分选的硅片进行全面检测。

7、通过上述可知,本方案设计的单晶硅片分选机通过振动给料、精确定位和全面检测,实现了自动化、精准化的硅片分选,保持运转状态的转盘,可实现单晶硅片批量和连续的分选,相比人工分选,效率更高,且可以处理小尺寸硅片,该设计提高了分选精度和效率,扩大了应用范围,有效解决了现有技术的问题。

8、优选的,上述一种单晶硅片分选机中,所述传送组件模组由硅片输入组件和硅片输送组件组成。

9、基于上述技术特征,本方案中的传送组件模组由硅片输入组件和硅片输送组件组成,传送组件模组在整个单晶硅片分选机中起到了关键的传送和调度作用,负责将待分选的单晶硅片从振动给料器传送到后续的处理阶段,以确保整个分选过程的连续性和高效性。

10、优选的,上述一种单晶硅片分选机中,所述硅片输送组件由硅片整流部件和硅片导向部件组成。

11、基于上述技术特征,本方案中的硅片输送组件由硅片整流部件和硅片导向部件组成,硅片输送组件是传送组件模组的一个子模块,它在单晶硅片分选机中扮演着关键的角色,确保待分选的单晶硅片能够在传送过程中保持有序和稳定。

12、优选的,上述一种单晶硅片分选机中,所述转盘组件模块由中心转轴、旋转驱动组件和分选工作组件组成。

13、基于上述技术特征,本方案中的转盘组件模块由中心转轴、旋转驱动组件和分选工作组件组成,转盘组件模块是单晶硅片分选机的核心部件之一,它负责将硅片从传送组件模组传送到分选工作组件,实现对硅片的高效分选和定位。

14、优选的,上述一种单晶硅片分选机中,所述分选工作组件由合格品存放台和不合格品存放台组成。

15、基于上述技术特征,本方案中的分选工作组件由合格品存放台和不合格品存放台组成,分选工作组件的作用是对经过检测的单晶硅片进行分选,将合格品和不合格品分别存放在不同的位置。

16、优选的,上述一种单晶硅片分选机中,所述机械手模组由抓取驱动组件和抓取执行组件组成。

17、基于上述技术特征,本方案中的机械手模组由抓取驱动组件和抓取执行组件组成,机械手模组的作用是实现对合格和不合格的单晶硅片的抓取和放置,完成分选后的最后处理步骤。

18、优选的,上述一种单晶硅片分选机中,所述抓取执行组件由真空吸盘和气垫夹爪组成。

19、基于上述技术特征,本方案中的抓取执行组件由真空吸盘和气垫夹爪组成,抓取执行组件的作用是实现对合格和不合格的单晶硅片的抓取和放置。

20、本专利技术提出的另一种技术方案:一种单晶硅片分选机的使用方法,包括以下步骤:

21、s101:首先,将要进行分选的单晶硅片整齐地排放在振动给料器上,启动振动给料器,可以使整齐排放的硅片在振动给料器内部振动并且向着传送组件模组中的硅片输送组件方向滑动,可以使得单晶硅片均匀且有间隔的排布在硅片整流部件的传送带上。

22、s102:然后,启动硅片整流部件的传送带,可以将均匀且有间隔排布的硅片传送至转盘组件中,当转盘组件中的转盘旋转运行时,可以将需要分选处理的硅片依次传送到各分选工作组件的加工台上。

23、s103:紧接着,利用分选工作组件上的定位器将硅片定位在分选工作组件的加工台上,然后通过数据采集单元的表面检测传感器和边缘检测传感器,还可以对定位在加工台上的硅片进行表面和厚度检测处理。

24、s104:最后,通过数据中转单元将数据采集单元检测的硅片各项数据信息传输至数据管理中心,数据管理中心可以根据事先编制的判定算法,评估所检测的硅片生产质量为合格或不合格,机械手模组通过数据管理中心的判定结果,可以将合格的硅片抓取放置在合格品存放台上,还可以将不合格的硅片抓取放置在不合格品存放台。

25、s105:与此同时,转盘组件模块的转盘保持正常的旋转运行状态,来完成对所有硅片的分选工作。

26、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:

27、1、本方案设计的单晶硅片分选机主要由数据管理中心、分选控制系统和硅片检测系统三大部分组成,分选控制系统实现硅片传输和定位,硅片检测系统实现表面和边缘的检测,而数据管理中心则可以对检测结果进行判定;本方案中的分选控制系统由振动给料器、传送组件模组、转盘组件模块和机械手模组组成,可以对待分选的硅片进行输入、输送、和分选处理,该硅片检测系统由数据中转单元和数据采集单元组成,可以对待分选的硅片进行全面检测。

28、2、本方案设计的单晶硅片分选机通过振动给料、精确定位和全面检测,实现了自动化、精准化的硅片分选,保本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶硅片分选机,包括数据管理中心(100)、分选控制系统(200)和硅片检测系统(300),其特征在于:所述分选控制系统(200)由振动给料器(201)、传送组件模组(202)、转盘组件模块(203)和机械手模组(204)组成;

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片分选机,其特征在于:所述传送组件模组(202)由硅片输入组件(202a)和硅片输送组件(202b)组成。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片分选机,其特征在于:所述硅片输送组件(202b)由硅片整流部件(202b-1)和硅片导向部件(202b-2)组成。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片分选机,其特征在于:所述转盘组件模块(203)由中心转轴(203a)、旋转驱动组件(203b)和分选工作组件(203c)组成。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片分选机,其特征在于:所述分选工作组件(203c)由合格品存放台(203a-1)和不合格品存放台(203c-2)组成。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片分选机,其特征在于:所述机械手模组(204)由抓取驱动组件(204a)和抓取执行组件(204b)组成。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅片分选机,其特征在于:所述抓取执行组件(204b)由真空吸盘(204b-1)和气垫夹爪(204b-2)组成。

8.所述一种如权利要求1-7任意一项所述的单晶硅片分选机的使用方法,包括以下步骤:

...

【技术特征摘要】

1.一种单晶硅片分选机,包括数据管理中心(100)、分选控制系统(200)和硅片检测系统(300),其特征在于:所述分选控制系统(200)由振动给料器(201)、传送组件模组(202)、转盘组件模块(203)和机械手模组(204)组成;

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片分选机,其特征在于:所述传送组件模组(202)由硅片输入组件(202a)和硅片输送组件(202b)组成。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片分选机,其特征在于:所述硅片输送组件(202b)由硅片整流部件(202b-1)和硅片导向部件(202b-2)组成。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片分选机,其特征在于:所述转盘组件模块(203)...

【专利技术属性】
技术研发人员:季海斌邹福洲
申请(专利权)人:扬州六如新能源科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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