光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统及方法技术方案

技术编号:40390634 阅读:28 留言:0更新日期:2024-02-20 22:22
本发明专利技术的光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统,属于高精度测量的技术领域,至少解决现有技术中的光源的光谱特性均匀性或稳定性较低,降低被测物的测试效率的技术问题。包括镜头组件、分叉光纤、光源组件、光谱仪和控制器,光源组件包括基础光源和调节光源,其中:所述基础光源,用以提供基础照亮光源;所述调节光源,用于调节所述基础光源在谱带范围内的平衡,并耦合在所述分叉光纤的一端进行传输;所述分叉光纤,一端与所述镜头组件连接,另一端分别与所述光源组件和光谱仪连接,传输调节后的所述基础光源,并,反馈被测物体被照亮后的反射光,通过控制器完成测试。本案提供的光源均匀且稳定,提高对被测物的测试效率和准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于高精度测量的,尤其涉及一种光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统及方法


技术介绍

1、光谱共焦测量技术的原理是:系统主要由宽光谱光源模块、光纤、镜头和光谱仪组成,宽光谱光源发出的光由光纤传导至镜头,光波在镜头中色散透镜的作用下产生色散,在色散透镜出射光轴上产生连续的波长分布:即不同波长的光将会聚焦于光轴上不同的位置,从而产生了轴向位置色差,对应被测物体的上(下)表面对应有一个波长的聚焦点,根据光路可逆原理,分别汇聚于被测物体上(下)表面的相应波长的光将反射回到光纤,回波信号被光谱仪分光和采集,利用计算机对采集的信号进行处理,经过相关算法分析后,获得准确的峰值波长信息,从而获得被测物体上(下)表面的信息。

2、光谱共焦测量技术具有非接触、分辨率高、成本较低(相比干涉测量技术)等特点,且其对被测物体表面的颜色、光泽、纹理、倾角和环境杂散光等因素不敏感。因此,光谱共焦测量技术在表面形貌扫描、位移测量、厚度测量等方面有着良好的应用前景。此外,光谱共焦测量方法在测量前不需要对被测样品的表面进行处理,其适用的材料类型极为广泛,在透明、非透明、漫本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统,适用于被测物体位移和/或厚度的测量,其特征在于,包括镜头组件、分叉光纤、光源组件、光谱仪和控制器,光源组件包括基础光源和调节光源,其中:

2.根据权利要求1所述的测量系统,其特征在于,所述光源组件还包括多个白光LED光源组成的光源阵列、透镜和滤光片,其中:

3.根据权利要求2所述的测量系统,其特征在于,所述滤光片为带通滤光片。

4.根据权利要求2所述的测量系统,其特征在于,所述调节光源包括个单色LED光源,所述单色LED光源为至少为红色、绿色和蓝色光源的一种,用以均匀所述基础光源的光强。</p>

5.根据...

【技术特征摘要】

1.一种光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统,适用于被测物体位移和/或厚度的测量,其特征在于,包括镜头组件、分叉光纤、光源组件、光谱仪和控制器,光源组件包括基础光源和调节光源,其中:

2.根据权利要求1所述的测量系统,其特征在于,所述光源组件还包括多个白光led光源组成的光源阵列、透镜和滤光片,其中:

3.根据权利要求2所述的测量系统,其特征在于,所述滤光片为带通滤光片。

4.根据权利要求2所述的测量系统,其特征在于,所述调节光源包括个单色led光源,所述单色led光源为至少为红色、绿色和蓝色光源的一种,用以均匀所述基础光源的光强。

5.根据权利要求4所述的测量系统,其特征在于,所述调节光源还包括备用的白光l...

【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名请求不公布姓名
申请(专利权)人:智慧星空上海工程技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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