【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于高精度测量的,尤其涉及一种光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统及方法。
技术介绍
1、光谱共焦测量技术的原理是:系统主要由宽光谱光源模块、光纤、镜头和光谱仪组成,宽光谱光源发出的光由光纤传导至镜头,光波在镜头中色散透镜的作用下产生色散,在色散透镜出射光轴上产生连续的波长分布:即不同波长的光将会聚焦于光轴上不同的位置,从而产生了轴向位置色差,对应被测物体的上(下)表面对应有一个波长的聚焦点,根据光路可逆原理,分别汇聚于被测物体上(下)表面的相应波长的光将反射回到光纤,回波信号被光谱仪分光和采集,利用计算机对采集的信号进行处理,经过相关算法分析后,获得准确的峰值波长信息,从而获得被测物体上(下)表面的信息。
2、光谱共焦测量技术具有非接触、分辨率高、成本较低(相比干涉测量技术)等特点,且其对被测物体表面的颜色、光泽、纹理、倾角和环境杂散光等因素不敏感。因此,光谱共焦测量技术在表面形貌扫描、位移测量、厚度测量等方面有着良好的应用前景。此外,光谱共焦测量方法在测量前不需要对被测样品的表面进行处理,其适用的材料类型极为广泛
...【技术保护点】
1.一种光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统,适用于被测物体位移和/或厚度的测量,其特征在于,包括镜头组件、分叉光纤、光源组件、光谱仪和控制器,光源组件包括基础光源和调节光源,其中:
2.根据权利要求1所述的测量系统,其特征在于,所述光源组件还包括多个白光LED光源组成的光源阵列、透镜和滤光片,其中:
3.根据权利要求2所述的测量系统,其特征在于,所述滤光片为带通滤光片。
4.根据权利要求2所述的测量系统,其特征在于,所述调节光源包括个单色LED光源,所述单色LED光源为至少为红色、绿色和蓝色光源的一种,用以均匀所述基础光源的光强。<
...【技术特征摘要】
1.一种光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统,适用于被测物体位移和/或厚度的测量,其特征在于,包括镜头组件、分叉光纤、光源组件、光谱仪和控制器,光源组件包括基础光源和调节光源,其中:
2.根据权利要求1所述的测量系统,其特征在于,所述光源组件还包括多个白光led光源组成的光源阵列、透镜和滤光片,其中:
3.根据权利要求2所述的测量系统,其特征在于,所述滤光片为带通滤光片。
4.根据权利要求2所述的测量系统,其特征在于,所述调节光源包括个单色led光源,所述单色led光源为至少为红色、绿色和蓝色光源的一种,用以均匀所述基础光源的光强。
5.根据权利要求4所述的测量系统,其特征在于,所述调节光源还包括备用的白光l...
【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名,请求不公布姓名,
申请(专利权)人:智慧星空上海工程技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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