下载光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统及方法的技术资料

文档序号:40390634

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本发明的光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统,属于高精度测量的技术领域,至少解决现有技术中的光源的光谱特性均匀性或稳定性较低,降低被测物的测试效率的技术问题。包括镜头组件、分叉光纤、光源组件、光谱仪和控制器,光源组件包括基础光源和调节光源,其...
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