【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微动台，具体涉及一种微动平台。
技术介绍
1、在半导体封装、精密光学装配及高密度电子元件制造等领域，倒焊(flip-chipbonding)等工艺对微动台的定位精度与承载能力提出了严苛要求。
2、然而，现有微动台技术受限于结构设计或驱动原理，难以同时满足高精度与大承载的双重需求，如楔形块式微动台存在回程间隙大、动态响应迟缓的问题，压电式微动台无法适应大负载工件的工艺需求等。
3、基于此，需要一种新技术方案。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术实施例提供一种微动平台，以至少解决现有的微动台难以同时满足高精度和大承载的问题。
2、本专利技术实施例提供以下技术方案：
3、本专利技术实施例提供一种微动平台，包括直线运动组件、安装板和平台组件，所述多个直线运动组件的升降柱穿过所述安装板驱动所述平台组件在预设方向上运动；
4、所述直线运动组件包括电机、减速机、滚珠丝杠、移动座和升降柱，所述电机与所述减速机传动连接，所述减速机...
【技术保护点】
1.一种微动平台，其特征在于，包括多个直线运动组件、安装板和平台组件，所述多个直线运动组件的升降柱穿过所述安装板驱动所述平台组件在预设方向上运动；
2.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述直线运动组件还包括固定座，所述滚珠丝杠的螺杆端部可转动地安装于所述固定座上，以所述螺杆提供支撑。
3.根据权利要求2所述的微动平台，其特征在于，所述直线运动组件还包括光栅尺，所述光栅尺的动端安装于所述移动座上，所述光栅尺的不动端安装于所述固定座上，用于检测所述移动座的位置。
4.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述减速机通过联轴...
【技术特征摘要】
1.一种微动平台，其特征在于，包括多个直线运动组件、安装板和平台组件，所述多个直线运动组件的升降柱穿过所述安装板驱动所述平台组件在预设方向上运动；
2.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述直线运动组件还包括固定座，所述滚珠丝杠的螺杆端部可转动地安装于所述固定座上，以所述螺杆提供支撑。
3.根据权利要求2所述的微动平台，其特征在于，所述直线运动组件还包括光栅尺，所述光栅尺的动端安装于所述移动座上，所述光栅尺的不动端安装于所述固定座上，用于检测所述移动座的位置。
4.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述减速机通过联轴器与所述滚珠丝杠的螺杆传动连接。
5.根据权利要求2所述的微动平台，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：智慧星空上海工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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