用于氦质谱检漏的氦气释放装置制造方法及图纸

技术编号:4038930 阅读:162 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置,包括外容器以及嵌套装在其中的内容器,在外容器壁上设置着标准漏孔,外容器通过管路与检漏仪相连通,内容器中设置着装有电控阀门的氦瓶,电控阀门通过导线与阀门控制器相连。本实用新型专利技术结构简单合理,能够准确有效地对双层嵌套容器进行整体检漏,使用方便。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于真空氦质谱泄漏检测与仪器领域,涉及一种用于氦质谱检漏的氦 气释放装置。技术背景 氦质谱检漏以氦气作为探索气体,利用质谱分析原理,通过对被检件抽真空或充 压使其与外界形成压差,在压差的作用下通过漏孔泄漏的氦气进入检漏仪的质谱室,在质 谱室中逐渐建立起稳定的氦分压,检漏仪通过质谱分析测量进入质谱室的气体中氦气所产 生的电信号大小,分析得出通过漏孔的漏出氦气在质谱室中氦分压的变化,进而同标准漏 孔的校准信号作比对,实现对漏孔漏率的定位定量检测。氦质谱检漏仪是一种比对测量仪器,被检漏孔的漏率通过与标准漏孔的漏率进行 对比得出。标准漏孔是测量漏率大小的尺子,是人为制造的一种具有已知的恒定漏率的装 置。标准漏孔内具有装有氦气的气室,打开标准漏孔后,氦气可从气室以恒定的漏率漏出, 这个恒定的漏率值由计量部门专门标定得出。氦质谱检漏方法很多,有喷吹法、氦罩法、吸氦法、预充氦法和充压真空法等。预充 氦法也叫外充法,主要用于双层嵌套容器内容器整体检漏。预充氦法类似于充压真空法,与 充压真空法的区别在于检漏之前预先将氦气充入内容器(被检件)中,而充压真空法是在检 漏过程中将氦气充入内容器,这主要因为双层嵌套容器中,在外容器上不能预留专门用于 对内容器充氦的充氦接口。预充氦法具体的检漏过程如下先合拢内容器端盖,通过充氦接口预先对内容器 充入一定量氦气,再将内容器嵌套在外容器中,合拢外容器端盖,在外容器端盖预留检漏接 口上连接检漏系统。检漏系统主要包括检漏仪和标准漏孔等。检漏时,通过检漏系统对内外 容器夹层的真空室抽真空,使夹层真空度达到检漏状态后,记录检漏仪测出的氦泄漏信号 Δ υ,再打幵标准漏孔,测量标准漏孔产生的氦信号变化量Δ υ0,可通过公式计算内容器整体 漏率。由预充氦法的检漏过程可知,预充氦法检漏存在以下不足(1)由于在内外容器夹层抽真空之前,对内容器已经充氦,因此无法准确测定检漏 系统的本底,在计算中无法扣除本底值,使测得内容器整体漏率值比真实值偏高;(2)测得内容器整体漏率中包含有充氦接口的漏率,如果充氦接口漏率较大或未 能准确测定其整体漏率,则会影响内容器整体检漏结果的准确性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置,其结构简单合 理,能够准确有效地对双层嵌套容器进行整体检漏,使用方便。本技术的目的是这样实现的一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置,包括外 容器以及嵌套装在其中的内容器,在外容器壁上设置着标准漏孔,外容器通过管路与检漏 仪相连通,内容器中设置着装有电控阀门的氦瓶,电控阀门通过导线与阀门控制器相连。采用本技术对双层嵌套容器中的内容器进行整体检漏,可有效解决采用预充 氦法进行检漏的不足。具体检漏步骤如下(1)将充入一定量氦气的氦瓶置入内容器中;(2)合拢 内容器,将内容器套入外容器中,再合拢外容器;(3)在该密闭空间连接检漏仪,通过检漏仪对外容器的密闭空间抽真空,标定系统 灵敏度;(4)通过控制开启放入内容器中氦瓶的电控阀门,释放氦气,完成对内容器充氦, 若内容器有漏,氦气可从内容器漏出,被检漏仪检测到,这样可实现对被检容器整体密封性 能检测。经过对本技术的密封可靠性、控制可靠性等性能参数进行反复测试,经验证 该装置工作可靠,运行稳定。在应用中,该装置有效解决了内置氦源法氦质谱检漏中氦气 的控制释放问题,能够准确有效地对双层嵌套容器进行整体检漏,其结构简单合理,使用方 便。附图说明下面将结合附图对本技术作进一步说明。图1为本技术实施例1的连接结构示意图;图2为本技术实施例2的连接结构示意图。具体实施方式一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置,如图1、图2所示,包括外容器8以及嵌套 装在其中的内容器7,在外容器8壁上设置着标准漏孔2,外容器8通过管路与检漏仪1相 连通,内容器7中设置着装有电控阀门5的氦瓶6,电控阀门5通过导线与阀门控制器4相 连。如图1所示,在内容器7中还设置着压力传感器3,阀门控制器4位于外容器8外 部,压力传感器3通过导线与阀门控制器4相连。在该实施例中,分别采用电磁阀和电动球 阀作为电控阀门5。电磁阀的特点是控制简单、体积小,价格便宜;缺点是密封可靠性不比 电动球阀高,耗电量大。根据不同的使用环境,本实施例1分别选用了 GAB312、412型电磁 阀和Swagelok的MS — 142DC 一 8mm型电动球阀,工作电压均为DC 24V。电磁阀的控制方 式为两线制,常闭型,采用通断电的方式开启或关闭;电动球阀的控制方式是三线制,开关 均需要电动驱动,采用单刀双掷的控制方式。在控制器设计中,控制器包含直流24V开关电 源、压力数据采集模块和控制电路。控制电路可根据上述控制阀门的控制方式设计,通过开 关按钮实现。根据被检容器容积和需要充入的氦气量,内置氦瓶可选用IL 40L容量范围, 最高压力可充入15MPa。如图2所示,阀门控制器4位于内容器7中,内容器7中还设置着蓄电池10以及 定时器11,定时器11通过导线与阀门控制器4相连。该实施例的工作过程是在合拢内容 器7前,将蓄电池10以及定时器11、控制器4置入内容器7,通过定时器11提前设定好电 控阀门5开启的时间,然后合拢内、外容器7、8。在检漏过程中定时器11在预定的时间可驱 使控制器4控制开启电控阀门5,释放氦气。定时器11选用CS — 112型微电脑定时控制器,工作电压为DC24V。整个电控系统全部采用蓄电池10供电,供电电压为DC24V,经过研究最终选用蓄电池为DSB型免维护铅酸电池,电池容量6 12Ah即可。权利要求一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置,包括外容器以及嵌套装在其中的内容器,在外容器壁上设置着标准漏孔,外容器通过管路与检漏仪相连通,其特征是内容器中设置着装有电控阀门的氦瓶,电控阀门通过导线与阀门控制器相连。2.根据权利要求1所述的用于氦质谱检漏的氦气释放装置,其特征是在内容器中还 设置着压力传感器,阀门控制器位于外容器外部,压力传感器通过导线与阀门控制器相连。3.根据权利要求1所述的用于氦质谱检漏的氦气释放装置,其特征是阀门控制器位 于内容器中,内容器中还设置着蓄电池以及定时器,定时器通过导线与阀门控制器相连。专利摘要本技术公开了一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置,包括外容器以及嵌套装在其中的内容器,在外容器壁上设置着标准漏孔,外容器通过管路与检漏仪相连通,内容器中设置着装有电控阀门的氦瓶,电控阀门通过导线与阀门控制器相连。本技术结构简单合理,能够准确有效地对双层嵌套容器进行整体检漏,使用方便。文档编号G01M3/20GK201731979SQ20102021889公开日2011年2月2日 申请日期2010年6月8日 优先权日2010年6月8日专利技术者廖旭东, 白国云, 胡茂中, 贾明雁, 陈涛, 马春林 申请人:中国人民解放军63653部队本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种用于氦质谱检漏的氦气释放装置,包括外容器以及嵌套装在其中的内容器,在外容器壁上设置着标准漏孔,外容器通过管路与检漏仪相连通,其特征是:内容器中设置着装有电控阀门的氦瓶,电控阀门通过导线与阀门控制器相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈涛贾明雁马春林廖旭东胡茂中白国云
申请(专利权)人:中国人民解放军六三六五三部队
类型:实用新型
国别省市:65[中国|新疆]

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