镀膜载具及镀膜设备制造技术

本技术属于光伏材料加工设备技术领域，公开了一种镀膜载具及镀膜设备，该镀膜载具包括框体、载具本体以及加热模块。该框体包括第一固定部与第二固定部，该第一固定部与第二固定部相对设置；该载具本体设置于该第一固定部与该第二固定部之间，用于承载电池片；该加热模块设置于该框体。该镀膜载具能够提前进行预热，缩短其在炉管中的加热时间，并且能够在镀膜工艺中提升炉管内的温度均匀性，提高镀膜效率和镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏材料加工设备，尤其涉及一种镀膜载具及镀膜设备。

技术介绍

1、镀膜设备能够对光伏材料(如太阳能硅片)进行镀膜，镀膜的主要目的是提高太阳能电池片的光转换率，例如，利用等离子体增强化学气相沉积方式对光伏材料如太阳能硅片进行镀膜，这道工序运用等离子体增强化学气相沉积技术，通过晶舟、射频电源以及适量的反应气体在硅片表面沉淀一层深蓝色氮化硅膜。

2、在上述镀膜过程中，需要在炉管内放置镀膜载具并通入电场，在工艺气体以及高温条件下放电，从而在硅片表面产生所需要的薄膜。一般提前对炉管进行预热，且炉管内需设置额外的辅热管对镀膜载具进行辅助加热。

3、对于炉管管径较大且镀膜载具尺寸较大的情况下，在进行炉管预热阶段或对镀膜载具进行辅助加热时，升温时间会延长，所需加热功率会上升，间接导致产能降低。

4、因此，亟需一种镀膜载具及镀膜设备，以解决以上问题。

技术实现思路

1、根据本技术的一个方面，目的在于提供一种镀膜载具，该镀膜载具能够提前进行预热，缩短其在炉管中的加热时间，并且能够在镀膜工艺中提升炉管内的温度均匀性，提高镀膜效率和镀膜质量。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、镀膜载具，包括：

4、框体，所述框体包括第一固定部与第二固定部，所述第一固定部与第二固定部相对设置；

5、载具本体，所述载具本体设置于所述第一固定部与所述第二固定部之间，用于承载电池片；

6、加热模块，所述加热模块设置于所述框体。

7、作为本技术提供的镀膜载具的可选方案，所述第一固定部和/或所述第二固定部均设置有所述加热模块；和/或，

8、所述加热模块设置于所述框体内，位于所述第一固定部与所述第二固定部之间。

9、作为本技术提供的镀膜载具的可选方案，所述框体包括承托结构；

10、所述承托结构设置于所述第二固定部背离所述载具本体的一侧，所述加热模块设置于所述承托结构。

11、作为本技术提供的镀膜载具的可选方案，所述承托结构包括托板和多个连接件，多个所述连接件间隔设置于所述托板的周侧，能够固连于所述第二固定部，所述托板用于承载所述加热模块。

12、作为本技术提供的镀膜载具的可选方案，所述第一固定部包括外框和多个梁体，多个所述梁体相互平行并间隔设置于所述外框中，所述加热模块设置于多个所述梁体背离所述载具本体的一侧。

13、作为本技术提供的镀膜载具的可选方案，沿所述框体的长度方向设置有多个载具本体，相邻的所述载具本体之间设置有所述加热模块。

14、作为本技术提供的镀膜载具的可选方案，所述第一固定部开设插设通孔，所述插设通孔的开口处两侧设置有连接栓，所述加热模块沿所述框体的高度方向插设于所述插设通孔中，并连接于所述连接栓。

15、作为本技术提供的镀膜载具的可选方案，所述框体还包括多个支柱，多个所述支柱沿所述框体的周向间隔支撑于所述第二固定部和所述第一固定部之间。

16、作为本技术提供的镀膜载具的可选方案，所述第一固定部和所述第二固定部均布置有所述加热模块，两个所述加热模块之间通过至少一个所述支柱电连接。

17、作为本技术提供的镀膜载具的可选方案，所述加热模块包括沿所述载具本体的长度方向布置的多个加热装置，多个所述加热装置的温度能够分别实现单独的温度控制，以沿所述载具本体的长度方向形成多个单独的加热区域。

18、根据本技术的另一个方面，目的在于提供一种镀膜设备，所述镀膜设备包括炉管，还包括上述方案任一项所述的镀膜载具，所述镀膜载具能够容纳于所述炉管中。

19、本技术的有益效果：

20、本技术提供的镀膜载具包括框体、载具本体以及加热模块。该框体包括第一固定部与第二固定部，该第一固定部与第二固定部相对设置。该框体为载具本体和加热模块提供安装位置。该载具本体设置于该第一固定部与该第二固定部之间，用于承载电池片。该加热模块设置于该框体。也就是说，该加热模块能够发热，对载具本体进行预热，缩短其在炉管中的加热时间，并且能够在镀膜工艺中持续进行加热，提升炉管内的温度均匀性，提高镀膜效率和镀膜质量。

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【技术保护点】

1.镀膜载具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)和/或所述第二固定部(120)均设置有所述加热模块(300)；和/或，

3.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述框体(100)包括承托结构(130)；

4.根据权利要求3所述的镀膜载具，其特征在于，所述承托结构(130)包括托板(131)和多个连接件(132)，多个所述连接件(132)间隔设置于所述托板(131)的周侧，能够固连于所述第二固定部(120)，所述托板(131)用于承载所述加热模块(300)。

5.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)包括外框(111)和多个梁体(112)，多个所述梁体(112)间隔设置于所述外框(111)中，所述加热模块(300)设置于多个所述梁体(112)背离所述载具本体(200)的一侧。

6.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，沿所述框体(100)的长度方向设置有多个所述载具本体(200)，相邻的所述载具本体(200)之间设置有所述加热模块(300)。

7.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)开设插设通孔(113)，所述插设通孔(113)的开口处两侧设置有连接栓(114)，所述加热模块(300)沿所述框体(100)的高度方向插设于所述插设通孔(113)中，并连接于所述连接栓(114)。

8.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述框体(100)还包括多个支柱(140)，多个所述支柱(140)沿所述框体(100)的周向间隔支撑于所述第二固定部(120)和所述第一固定部(110)之间。

9.根据权利要求8所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)和所述第二固定部(120)均布置有所述加热模块(300)，两个所述加热模块(300)之间通过至少一个所述支柱(140)电连接。

10.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述加热模块(300)包括沿所述载具本体(200)的长度方向布置的多个加热装置，多个所述加热装置的温度能够分别实现单独的温度控制，以沿所述载具本体(200)的长度方向形成多个单独的加热区域。

11.镀膜设备，其特征在于，包括炉管，还包括权利要求1-10任一项所述的镀膜载具，所述镀膜载具能够容纳于所述炉管中。

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【技术特征摘要】

1.镀膜载具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)和/或所述第二固定部(120)均设置有所述加热模块(300)；和/或，

3.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述框体(100)包括承托结构(130)；

4.根据权利要求3所述的镀膜载具，其特征在于，所述承托结构(130)包括托板(131)和多个连接件(132)，多个所述连接件(132)间隔设置于所述托板(131)的周侧，能够固连于所述第二固定部(120)，所述托板(131)用于承载所述加热模块(300)。

5.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)包括外框(111)和多个梁体(112)，多个所述梁体(112)间隔设置于所述外框(111)中，所述加热模块(300)设置于多个所述梁体(112)背离所述载具本体(200)的一侧。

6.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，沿所述框体(100)的长度方向设置有多个所述载具本体(200)，相邻的所述载具本体(200)之间设置有所述加热模块(300)。

7.根据权利要求1所述的镀膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓志鹏，朱太荣，郭路斌，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：