【技术实现步骤摘要】
【】本技术涉及一种靶材加工,尤其涉及一种用于检测冷却的旋转靶靶管。
技术介绍
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技术介绍
1、靶材是通过磁控溅射在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。目前,靶材的形状主要有平面靶和旋转靶。对于旋转靶,一般均做成等轴圆柱形,且为了提高靶材利用率,一般旋转靶的两端厚度要大于中间端的厚度;
2、现有技术中,靶材一般通过背管成型,而为了配合于靶材的形状,背管一般也需要做成两端厚度大于中间端厚度的形状,通常背管的加工采用车床将其中间端切销薄一些,从而成型中间薄两端厚的背管。但是对于较长的背管,此种背管成型方式会浪费较多的材料,导致资源浪费;
3、中国专利cn211814638u公开一种靶材背管,其特征在于,包括背管本体与两个对接头,所述对接头的半径大于背管本体的半径,所述对接头上设置有用于与背管本体端部对接的连接部,两所述对接头的连接部通过外接固定方式分别固定连接于背管本体的两端上,所述连接部与背管本体的端部之间设置有用于将对接头对位安装于背管本体上的连接结构,所述连接结构包括设置于背管本体端部的内衬部以及设置于连接部端部的外套部,所述外套部套接于内衬部上,解决了通过将对接头利用连接部与背管本体连接,即可成型靶材背管,从而无需对靶材背管中间段进行切割,降低材料浪费程度,具有提高资源利用率的效果;通过设置的连接结构,利用外套部与内衬部套接,便于连接部对接于背管本体上,以便于对接头与背管本体对位,以便于进行焊接,且焊接后对接头与背管本体处于同一轴线上,提高连接精度;通过设置的倾斜过渡段
技术实现思路
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技术实现思路
1、本技术的目的在于解决上述技术问题而提供的一种新型的用于检测冷却的旋转靶靶管。
2、本技术是通过以下技术方案来实现的:
3、一种用于检测冷却的旋转靶靶管,包括靶材内管、透明套管、透明亚克力管,所述透明亚克力管两端通过透明套管与所述靶材内管相连接。
4、作为进一步地,所述透明套管与所述透明亚克力管之间设有密封圈,所述透明套管将密封圈、靶材内管无缝对接扣合在所述透明亚克力管上。
5、作为进一步地,所述靶材内管外侧壁设有凹槽卡扣。
6、作为进一步地,所述靶材内管与所述透明套管相接处还设有攻牙套。
7、作为进一步地,所述靶材内管材质为不锈钢。
8、本技术的有益效果在于:
9、(1)结构简单、设计巧妙,通过透明套管将靶材内管与透明亚克力管紧密配合相连接,提高密封效果;
10、(2)透明套管与透明亚克力管之间设有密封圈,透明套管将密封圈、靶材内管无缝对接扣合在所述透明亚克力管上,解决了透明套管与透明亚克力管之间紧密配合相连接,提高密封效果;
11、(3)靶材内管外侧壁设有凹槽卡扣,解决了透明套管与靶材内管之间的固定安装,提高了冷却液的利用率,节约了能量;
12、(4)靶材内管与透明套管相接处还设有攻牙套,减少对靶材内管与所述透明套管之间的应力集中,以提高靶材内管的结构强度。
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1.一种用于检测冷却的旋转靶靶管,其特征在于:包括靶材内管、透明套管、透明亚克力管,所述透明亚克力管两端通过透明套管与所述靶材内管相连接。
2.根据权利要求1所述的用于检测冷却的旋转靶靶管,其特征在于:所述透明套管与所述透明亚克力管之间设有密封圈,所述透明套管将密封圈、靶材内管无缝对接扣合在所述透明亚克力管上。
3.根据权利要求1所述的用于检测冷却的旋转靶靶管,其特征在于:所述靶材内管外侧壁设有凹槽卡扣。
4.根据权利要求1所述的用于检测冷却的旋转靶靶管,其特征在于:所述靶材内管与所述透明套管相接处还设有攻牙套。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的用于检测冷却的旋转靶靶管,其特征在于:所述靶材内管材质为不锈钢。
【技术特征摘要】
1.一种用于检测冷却的旋转靶靶管,其特征在于:包括靶材内管、透明套管、透明亚克力管,所述透明亚克力管两端通过透明套管与所述靶材内管相连接。
2.根据权利要求1所述的用于检测冷却的旋转靶靶管,其特征在于:所述透明套管与所述透明亚克力管之间设有密封圈,所述透明套管将密封圈、靶材内管无缝对接扣合在所述透明亚克力管上。
<...【专利技术属性】
技术研发人员:陈旭航,罗增亮,
申请(专利权)人:广东多特光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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