【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金刚石涂层丝架,特别涉及一种金刚石涂层丝架高度可调节装置。
技术介绍
1、目前,金刚石图层的制备技术主要包括微波等离子体化学气相沉积、直流等离子体喷射化学气相沉积、热丝化学气相沉积等,相对于其它两种技术,热丝法可制备大面积金刚石涂层,且综合成本最低,具有良好的工业推广潜能,热丝架的设计是热丝cvd沉积系统制备大面积金刚石涂层的核心内容,水平布置的热丝阵列在通电后,热丝被迅速加热,从而产生膨胀,长度随之增加,如果此时灯丝拉长得不到及时消除的话,原本平行于基底的热丝将产生下垂,灯丝下垂导致灯丝与基底间距发生改变,甚至出现灯丝直接接触基底材料,从而造成温度场的不均匀,成涂层质量严重受损,甚至无法合成金刚石涂层。
2、因此,为了获得稳定的温度场,必须保证热丝在沉积过程中与基底的间距始终保持稳定,此时需要设置高度调来调节基台与灯丝之间的间距,因此,本申请提供了一种金刚石涂层丝架高度可调节装置来满足需求。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,可以有效解决
技术介绍
中提出现有金刚石涂层丝架无法实现高度调节,影响金刚石涂层质量的问题,达到了通过调节高度来实现提高金刚石涂层生产质量的目的。
2、为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,包括底座,所述底座上设置有四个电极支柱,其中两个所述电极支柱的顶端固定连接有同一左钼电极,另外两个所述电极支柱的顶端固定连接有右钼电极,所述左钼电极和所述右钼电极之
3、所述调节单元包括固定连接于所述底座上的一对第二套筒,所述第二套筒内转动连接有内螺纹转动套,所述内螺纹转动套的顶端固定连接有第一螺旋齿轮,所述内螺纹转动套上螺纹连接有螺杆,所述第一螺旋齿轮套接于所述螺杆上,所述螺杆的一端固定连接于所述载物台的底端,底座上固定连接有一对安装架,一对所述安装架之间转动连接有转动轴,所述转动轴上固定连接有第二螺旋齿轮,且所述第二螺旋齿轮与所述第一螺旋齿轮相啮合,所述转动轴上设置有用于限制所述转动轴转动的限位单元。
4、优选地,所述限位单元包括螺纹连接于所述转动轴上的限位块,所述限位块设置于靠近其中一个所述安装架的一侧,所述限位块上靠近所述安装架的一侧设置有防滑块。
5、优选地,所述左钼电极和所述右钼电极之间固定连接有支撑杆。
6、优选地,所述转动轴的一端固定连接有用于驱动所述转动轴转动的把手,所述把手为塑胶手轮结构。
7、优选地,所述转动轴上套接有弹簧,所述弹簧的两端均设置有挡环,两个挡环均套接于所述转动轴上,其中一个所述挡环与所述限位块转动连接,另一个所述挡环与所述把手固定连接。
8、优选地,所述右钼电极上固定连接有多个弧形导向块,且所述灯丝搭在所述弧形导向块上。
9、优选地,所述电极支柱上设置有多个销轴,所述灯丝的一端与所述销轴固定连接。
10、与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:
11、1、通过设置第一套筒、导向轴、第二套筒、内螺纹转动套、第一螺旋齿轮、螺杆、安装架、转动轴、第二螺旋齿轮和把手,形成高度调节结构,实现调节载物台的高度,减少因灯丝被加热,产生下垂,而过于靠近载物台的问题,防止造成涂层质量受损,实用性高。
12、2、通过设置限位块、防滑块和弹簧,在高度调节后,进行锁定,提高高度调节后的稳定性,进一步提高实用性。
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1.一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,包括底座(1),所述底座(1)上设置有四个电极支柱(2),其中两个所述电极支柱(2)的顶端固定连接有同一左钼电极(3),另外两个所述电极支柱(2)的顶端固定连接有右钼电极(4),所述左钼电极(3)和所述右钼电极(4)之间设置有多个灯丝(6),其特征在于:所述底座(1)上对应所述灯丝(6)的下方设置有多个第一套筒(8),多个所述第一套筒(8)上均插接有导向轴(9),多个所述导向轴(9)的顶端固定连接有同一个载物台(10),所述底座(1)上设置有用于调节所述载物台(10)高度的调节单元(11);
2.根据权利要求1所述的一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,其特征在于,所述限位单元包括螺纹连接于所述转动轴(17)上的限位块(20),所述限位块(20)设置于靠近其中一个所述安装架(16)的一侧,所述限位块(20)上靠近所述安装架(16)的一侧设置有防滑块(21)。
3.根据权利要求1所述的一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,其特征在于,所述左钼电极(3)和所述右钼电极(4)之间固定连接有支撑杆(5)。
4.根据权利要求
5.根据权利要求4所述的一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,其特征在于,所述转动轴(17)上套接有弹簧,所述弹簧的两端均设置有挡环,两个挡环均套接于所述转动轴(17)上,其中一个所述挡环与所述限位块(20)转动连接,另一个所述挡环与所述把手(19)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,其特征在于,所述右钼电极(4)上固定连接有多个弧形导向块(7),且所述灯丝(6)搭在所述弧形导向块(7)上。
7.根据权利要求1所述的一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,其特征在于,所述电极支柱(2)上设置有多个销轴,所述灯丝(6)的一端与所述销轴固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,包括底座(1),所述底座(1)上设置有四个电极支柱(2),其中两个所述电极支柱(2)的顶端固定连接有同一左钼电极(3),另外两个所述电极支柱(2)的顶端固定连接有右钼电极(4),所述左钼电极(3)和所述右钼电极(4)之间设置有多个灯丝(6),其特征在于:所述底座(1)上对应所述灯丝(6)的下方设置有多个第一套筒(8),多个所述第一套筒(8)上均插接有导向轴(9),多个所述导向轴(9)的顶端固定连接有同一个载物台(10),所述底座(1)上设置有用于调节所述载物台(10)高度的调节单元(11);
2.根据权利要求1所述的一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,其特征在于,所述限位单元包括螺纹连接于所述转动轴(17)上的限位块(20),所述限位块(20)设置于靠近其中一个所述安装架(16)的一侧,所述限位块(20)上靠近所述安装架(16)的一侧设置有防滑块(21)。
3.根据权利要求1所述的一种金刚石涂层丝架高度可调节装置,...
【专利技术属性】
技术研发人员:韩继成,张志刚,赖建辉,唐杰,唐荀,
申请(专利权)人:深圳戴尔蒙德科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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