【技术实现步骤摘要】
本技术实施例涉及半导体设备，尤其涉及一种位置检测装置。
技术介绍
1、半导体领域通常采用电子显微镜对晶圆的表面结构或内部结构进行探测。例如，在对晶圆的内部结构进行探测时，电子显微镜首先通过位置检测装置发射位置检测信号(例如激光)检测晶圆是否处于特定位置，在根据位置检测装置输出的检测结果确定晶圆处于特定位置后，通过结构探测装置发射结构探测信号(例如电子束)，以获取晶圆的内部结构，并最终输出相应探测图像。
2、结构探测装置发出的结构探测信号需穿过晶圆才可获取晶圆的内部结构，且电子穿透率越高，最终输出的探测图像越清晰，因此通常会降低晶圆的厚度，以获取更高的电子穿透率。然而，晶圆的厚度的降低会降低位置检测装置输出的检测结果的准确度。因此，如何提供改进的技术方案，以提高位置检测装置输出的检测结果的准确度，成为了亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术实施例提供了一种位置检测装置，能够提高位置检测装置输出的检测结果的准确度。
2、首先，本技术实施例提供了一种位置检测装置，包括载台、发射件、反射件和接收件，其中：
3、发射件和接收件被设置于载台的同一侧，反射件被设置于载台的另一侧；
4、载台包括用于关联晶圆的放置位置的检测孔；
5、发射件发出的位置检测信号依次经检测孔、反射件、检测孔，入射至接收件。
6、可选地，接收件对经不同器件反射后入射至接收件的各位置检测信号的吸收度不同。
7、可选地，接收件
8、可选地，反射件适于将第一波长的位置检测信号调整为第二波长的位置检测信号；
9、其中，接收件对第一波长的位置检测信号的吸收度，小于接收件对第二波长的位置检测信号的吸收度。
10、可选地，位置检测装置还包括：
11、第一偏振件，被设置于发射件和检测孔之间，适于通过第一振动方向的位置检测信号；
12、第二偏振件，被设置于检测孔和接收件之间，适于通过第二振动方向的位置检测信号；
13、第一振动方向与第二振动方向不同；
14、反射件适于将反射后的位置检测信号调整为包括第二振动方向的位置检测信号。
15、可选地，发射件包括：
16、发射单元阵列，发射单元阵列包括多个发射单元，发射单元适于发出位置检测信号。
17、可选地，发射单元阵列中的多个发射单元的阵列方式包括以下至少一种：
18、周向阵列排布；
19、线性阵列排布。
20、可选地，位置检测装置还包括：
21、壳体结构，壳体结构适于形成真空环境；
22、载台设置于壳体结构内。
23、可选地，反射件被设置于壳体结构内；
24、可选地，发射件被设置于壳体结构外。
25、采用上述技术方案，发射件和接收件被设置于载台的同一侧，反射件被设置于载台的另一侧，若检测孔处存在晶圆，发射件向载台发射的位置检测信号可以依次经过晶圆、检测孔、反射件、检测孔、晶圆等器件，并最终入射至接收件，被接收件所接收。上述检测过程中，位置检测信号通过反射件可以往复经过晶圆，能够在保持晶圆厚度不变的情况下，增加位置检测信号在晶圆内的传播距离，从而可以增加位置检测信号的衰减量，进而能够提高位置检测装置输出的检测结果的准确度，以及能够提高位置检测装置对晶圆的厚度的适配范围，增加位置检测装置的普适性。
26、进一步地，将接收件对经反射件反射后形成的位置检测信号的吸收度，设置为大于接收件对经其他器件反射后形成的位置检测信号的吸收度，可以增加放置晶圆前后接收件实际接收的位置检测信号的信号强度的差值，从而可以增加位置检测装置的检测结果的准确性。
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1.一种位置检测装置，其特征在于，包括载台、发射件、反射件和接收件，其中：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，接收件对经不同器件反射后入射至接收件的各位置检测信号的吸收度不同。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，接收件对经反射件反射后形成的位置检测信号的吸收度，大于接收件对经其他器件反射后形成的各位置检测信号的吸收度。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，反射件适于将第一波长的位置检测信号调整为第二波长的位置检测信号；
5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，发射件包括：
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，发射单元阵列中的多个发射单元的阵列方式包括以下至少一种：
8.根据权利要求1至7任一项所述的装置，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，反射件被设置于壳体结构内。
10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，发射件被设置于壳体结构外。
【技术特征摘要】
1.一种位置检测装置，其特征在于，包括载台、发射件、反射件和接收件，其中：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，接收件对经不同器件反射后入射至接收件的各位置检测信号的吸收度不同。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，接收件对经反射件反射后形成的位置检测信号的吸收度，大于接收件对经其他器件反射后形成的各位置检测信号的吸收度。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，反射件适于将第一波长的位置检测信号调整为第二波长的位置检测信号；<...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴金方，相宇阳，周天游，季建峰，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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