柔性薄膜器件及其制备方法和应用、可穿戴设备技术

本申请提供了柔性薄膜器件及其制备方法和应用、可穿戴设备。制备方法包括：步骤1：在衬底上沉积Pt作为缓冲层，进行退火；步骤2：将硝酸铋、乙酸钪、硝酸锶、硝酸铁、钛酸四丁酯加入乙二醇溶液中，并加入乙酰丙酮，老化，获得前驱液；步骤3：将前驱液涂布在缓冲层上，进行烘烤和烧结；步骤4：重复步骤3，然后烧结，形成薄膜；步骤5：将光刻胶涂布在薄膜表面，然后进行烘烤，重复涂布和烘烤光刻胶二次至四次，将薄膜对准叉指电极掩模版图形进行紫外曝光和显影，然后进行烘烤；步骤6：沉积铬作为过渡层，然后沉积金，然后在丙酮溶液中超声振荡，得到镀有叉指电极的柔性薄膜器件。本申请得到的柔性薄膜器件可用于磁场和光场的一体化检测。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及可穿戴设备领域，更具体地，涉及柔性薄膜器件及其制备方法和应用、可穿戴设备。

技术介绍

1、随着可穿戴柔性器件的发展，各类薄膜器件的实际应用得到了广泛的关注。柔性电子器件具有良好的柔韧性、便携性、可以自由弯曲等优势，可以与三维曲面集成，应用于可穿戴电子器件领域。由此设计制造的电阻存储器、疼痛感知系统、应变传感器表明柔性电子器件在生活中具有很大的应用潜力。现有的用于多物理场环境检测的传感器多为大型器件，不够便利，期待这方面的进一步改进。

技术实现思路

1、本申请提供了一种用于多物理场环境检测的可穿戴薄膜器件制备方法，主要应用于对人体有影响的紫外光场及磁场的检测。这种方法制备的可穿戴薄膜器件具有重量轻、柔韧性好、易于制造等优点，可以应用于环境监测、可穿戴柔性器件等领域。具体地，本申请实现了对光场波长及磁场大小的检测，可检测波长范围：200nm到600nm，磁场范围：0oe到1800oe，对不同的外场条件显示出不同的开路电压和短路电流响应，集成了磁光一体化检测。

2、本申请提供了一种柔性薄膜器件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柔性薄膜器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的柔性薄膜器件的制备方法，其特征在于，在所述步骤1中，在所述氟晶云母衬底上沉积150nm厚度的Pt作为所述缓冲层，然后在650摄氏度下退火5分钟。

3.根据权利要求1所述的柔性薄膜器件的制备方法，其特征在于，在所述步骤2中，硝酸铋、乙酸钪、硝酸锶、硝酸铁、钛酸四丁酯之间的摩尔比为4:1-x:1:x:3，将上述物质加入乙二醇溶液中，并加入1ml乙酰丙酮，搅拌直至澄清，并老化7天，获得所述前驱液。

4.根据权利要求1所述的柔性薄膜器件的制备方法，其特征在于，在所述步骤3中，将...

【技术特征摘要】

1.一种柔性薄膜器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的柔性薄膜器件的制备方法，其特征在于，在所述步骤1中，在所述氟晶云母衬底上沉积150nm厚度的pt作为所述缓冲层，然后在650摄氏度下退火5分钟。

3.根据权利要求1所述的柔性薄膜器件的制备方法，其特征在于，在所述步骤2中，硝酸铋、乙酸钪、硝酸锶、硝酸铁、钛酸四丁酯之间的摩尔比为4:1-x:1:x:3，将上述物质加入乙二醇溶液中，并加入1ml乙酰丙酮，搅拌直至澄清，并老化7天，获得所述前驱液。

4.根据权利要求1所述的柔性薄膜器件的制备方法，其特征在于，在所述步骤3中，将所述前驱液涂布在所述缓冲层上包括采用800转/分和5000转/分，分别匀胶10s和45s，然后进行350摄氏度烘烤5分钟，然后在氧气氛中在700摄氏度下烧结5分钟，氧气氛中束流0.2ml/min，自然冷却。

5.根据权利要求1所述的柔性薄膜器件的制备方法，其特征在于，在所述步骤4中，重复步骤3十四次，共镀膜15层，然后在氧气氛中在700摄氏度下烧结20分钟，氧气氛中束流0.2ml/min，自然冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君宇，赵世峰，刘亚平，赵悦顺，牛建国，
申请(专利权)人：内蒙古大学，
类型：发明
国别省市：