加料控制方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:40377943 阅读:15 留言:0更新日期:2024-02-20 22:17
本发明专利技术实施例提供了一种加料控制方法、装置、设备及介质。该方法包括:响应于加料指令,控制直拉单晶设备的上轴下降,以使悬挂在所述上轴下的料筒从所述直拉单晶设备的副室内部向所述直拉单晶设备的主室内部下降,检测所述上轴上悬挂的物体的重量,以及所述上轴的位置,根据所述上轴上悬挂的物体的重量和所述上轴的位置,控制所述上轴的下降和停止,从而完成加料操作,使得在加料过程中不再需要人工通过观察来手动控制上轴,利用上轴上悬挂的物体的重量,以及所述上轴的位置来自动控制上轴,并判断加料是否完成,实现了加料的自动控制,不再依赖人工手动操作,提高了自动化程度,提高了加料的效率,减少了加料所用的工时。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体制备,特别是涉及一种加料控制方法、一种加料控制装置、一种电子设备以及一种存储介质。


技术介绍

1、单晶硅材料的制备工艺以直拉法(czochralski process/cz)为主,利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。

2、其中,当多晶硅原料融化完成后,还不能马上开始引晶,因为这时的温度要高于引晶温度,还必须经过降温,将温度调整到引晶的温度。引晶是将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触,在引晶温度下,硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长,从而形成单晶。放肩是将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径,在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长,直径逐渐变大到要求的直径左右的一段晶体,以便消除晶体位错。当晶体在放肩过程中生长到生产要求的直径后,进入转肩过程。转肩是将晶体直径控制在生产所要求的直径。当转肩完成后进入等径控制步骤,在该步骤中,通过对拉速和温度的自动控制,让晶体将按照设定的直径等径生长。p>

3、在单晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加料控制方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述上轴上悬挂的物体的重量和所述上轴的位置,控制所述上轴的下降和停止,包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在所述响应于加料指令,控制直拉单晶设备的上轴下降的过程中,所述上轴的下降速度为第一预设速度;在所述根据所述上轴的位置,控制所述上轴下降到第二位置的过程中,所述上轴的下降速度为第二预设速度;在所述在所述上轴在所述第二位置停留第一预设时长后,控制所述上轴继续下降的过程中,所述上轴的下降速度为第三预设速度;所述第一预设速度大于第二预设速度,所述第二预设速度大于所...

【技术特征摘要】

1.一种加料控制方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述上轴上悬挂的物体的重量和所述上轴的位置,控制所述上轴的下降和停止,包括:

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在所述响应于加料指令,控制直拉单晶设备的上轴下降的过程中,所述上轴的下降速度为第一预设速度;在所述根据所述上轴的位置,控制所述上轴下降到第二位置的过程中,所述上轴的下降速度为第二预设速度;在所述在所述上轴在所述第二位置停留第一预设时长后,控制所述上轴继续下降的过程中,所述上轴的下降速度为第三预设速度;所述第一预设速度大于第二预设速度,所述第二预设速度大于所述第三预设速度。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述响应于加料指令,控制直拉单晶设备的上轴下降之前,所述方法还包括:

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述对加料时机的检测,包括:

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所...

【专利技术属性】
技术研发人员:周宏坤张伟建刘永生李羊飞郭力杨正华杨丽何平
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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