【技术实现步骤摘要】
本技术属于多晶硅制备领域,具体涉及一种单晶炉二次加料装置。
技术介绍
1、现有加料器件多采用直筒结构,实际加料时原料垂直而下,原料下降速度快,易发生埋锥异常,原料沿着底托环形散布,且散布面积较大,硅粉挥发严重。由于底托的阻挡导致底托下部无原料,形成中心凹陷,四周凸起的原料散布形状,易导致中心原料提前融化,发生冒泡溅硅异常。
技术实现思路
1、技术目的:本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种单晶炉二次加料装置,实现下料速度的精准控制,避免埋锥现象造成的金属污染事故。
2、为了实现上述目的,本技术采取的技术方案如下:
3、一种单晶炉二次加料装置,包括储料腔和提升机构,所述储料腔为一空心圆管,内部用于存放颗粒硅原料,储料腔的下端设置有自上而下逐渐缩小的锥形下料口;所述的提升机构的底部设有自上而下逐渐增加的锥形底托,所述锥形底托与所述锥形下料口适配;当锥形底托向下与锥形下料口分离时,储料腔内的颗粒硅原料沿着锥形下料口落在锥形底托上,然后再沿着锥形底托向下散开并最终落入下方的石英坩埚内。
4、进一步地,所述的锥形下料口位于储料腔下端的管内部,通过与储料腔下端管壁一体成型的沙漏型收口部形成中心的锥形下料口;所述沙漏型收口部的底部与储料腔底部管口距离150~200mm;所述储料腔位于沙漏型收口部及下方的管壁厚于上方的管壁。
5、更进一步地,所述锥形下料口的底部设有与锥形底托顶部锥面的倒角部,当提升机构上提时,锥形底托与锥形下料口卡合
6、优选地,所述的沙漏型收口部倾角为60-90°;所述的锥形底托外壁的倾角为60-120°。
7、进一步地,所述的储料腔管壁中部和顶部分别设置有法兰,顶部的法兰上安装有用于盖合储料腔顶部开口的保护盖,所述保护盖中心预留有用于提升机构穿过的纵向贯穿孔。
8、具体地,所述的提升机构包括长连杆、锥形底托和t型螺母;所述的t型螺母为一对,分别通过螺纹套接在长连杆的两端部;所述锥形底托中心留有贯穿通孔,锥形底托套接在长连杆底端,并通过贯穿在其中心通孔内的t型螺母进行固定。
9、进一步地,所述的锥形底托上方设置有底托防护盖,所述底托防护盖套接在长连杆上并盖合在锥形底托顶部;所述的底托防护盖采用聚四氟乙烯材质。
10、进一步地,所述长连杆的外部包裹有长连杆防护套,所述的长连杆材质为不锈钢,所述长连杆防护套为石英材质。
11、进一步地,所述的长连杆防护套由若干段拼接而成,相邻的两段长连杆防护套之间通过截面为h型的转接护套连接,所述的转接护套为聚四氟乙烯材质。
12、进一步地,所述锥形底托底部位于t型螺母处的沉孔内,设置有底塞,所述底塞为石英材质。
13、有益效果:
14、(1)减少硅粉挥发:改加料装置储料腔内壁设置为沙漏型下料口结合石英罩改变下料路径,减小原料散落面积,减少原料中硅粉挥发,避免硅粉挥发对于拉晶的影响。
15、(2)避免颗粒硅加料溅硅:沙漏型下料口结合锥形底托改变下料路径,原料进入石英坩埚堆积形状发生变化,原料散落面积减小集中度显著提高,原料中心厚度明显增加,避免中心原料提前熔化,彻底解决冒泡溅硅异常。
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1.一种单晶炉二次加料装置,其特征在于,包括储料腔(10)和提升机构(20),所述储料腔(10)为一空心圆管,内部用于存放颗粒硅原料,储料腔(10)的下端设置有自上而下逐渐缩小的锥形下料口(101);所述的提升机构(20)的底部设有自上而下逐渐增加的锥形底托(201),所述锥形底托(201)与所述锥形下料口(101)适配;当锥形底托(201)向下与锥形下料口(101)分离时,储料腔(10)内的颗粒硅原料沿着锥形下料口落在锥形底托(201)上,然后再沿着锥形底托(201)向下散开并最终落入下方的石英坩埚内;
2.根据权利要求1所述的单晶炉二次加料装置,其特征在于,所述锥形下料口(101)的底部设有与锥形底托(201)顶部锥面的倒角部(103),当提升机构(20)上提时,锥形底托(201)与锥形下料口(101)卡合,锥形底托(201)的顶部锥面与倒角部(103)重叠完全封闭锥形下料口(101)。
3.根据权利要求2所述的单晶炉二次加料装置,其特征在于,所述的沙漏型收口部(102)倾角为60-90°;所述的锥形底托(201)外壁的倾角为60-120°。
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1.一种单晶炉二次加料装置,其特征在于,包括储料腔(10)和提升机构(20),所述储料腔(10)为一空心圆管,内部用于存放颗粒硅原料,储料腔(10)的下端设置有自上而下逐渐缩小的锥形下料口(101);所述的提升机构(20)的底部设有自上而下逐渐增加的锥形底托(201),所述锥形底托(201)与所述锥形下料口(101)适配;当锥形底托(201)向下与锥形下料口(101)分离时,储料腔(10)内的颗粒硅原料沿着锥形下料口落在锥形底托(201)上,然后再沿着锥形底托(201)向下散开并最终落入下方的石英坩埚内;
2.根据权利要求1所述的单晶炉二次加料装置,其特征在于,所述锥形下料口(101)的底部设有与锥形底托(201)顶部锥面的倒角部(103),当提升机构(20)上提时,锥形底托(201)与锥形下料口(101)卡合,锥形底托(201)的顶部锥面与倒角部(103)重叠完全封闭锥形下料口(101)。
3.根据权利要求2所述的单晶炉二次加料装置,其特征在于,所述的沙漏型收口部(102)倾角为60-90°;所述的锥形底托(201)外壁的倾角为60-120°。
4.根据权利要求1所述的单晶炉二次加料装置,其特征在于,所述的储料腔(10)管壁中部和顶部分别设置有法兰(104),顶部的法兰上安装有用于盖合储料腔(10)顶部开口的保护盖(30),所述保护盖(30)中心预留有用于提升机构(20)穿过的纵向贯穿...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑伟扬,王思锋,李凡东,
申请(专利权)人:宁夏协鑫光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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