【技术实现步骤摘要】
本解决方案涉及具有压电致动的双轴微机电镜设备(制成mems-微机电系统)。
技术介绍
1、微机电镜设备用于便携式设备中，例如智能手机、平板电脑、笔记本电脑、pda，用于光学应用，特别是以期望的方式引导由光源(例如激光器)产生的光辐射束。由于它们的小尺寸，这些设备允许在面积和厚度方面符合关于空间占用的严格要求。
2、例如，微机电镜设备用于能够从远处投影图像并特别在屏幕或类似显示表面上产生期望的光图案的小型化投影仪设备(所谓的微微投影仪)中。
3、微机电镜设备通常包括可倾斜结构，该可倾斜结构承载合适材料(例如铝或金，取决于光束是在可见光光谱中还是在红外光谱中)的反射面或镜面，弹性支撑在腔上方并由半导体材料主体制成，以便可移动，例如在对应的主延伸平面之外倾斜或旋转运动，以便以期望的方式引导入射光束。
4、可倾斜结构的旋转通过致动系统来控制，该致动系统可以是例如静电、电磁或压电类型的致动系统。
5、静电致动系统通常具有需要高工作电压的缺点，而电磁致动系统通常需要高功耗；因此，已经提出用压电致动来控...
【技术保护点】
1.一种包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述微机电镜设备包括：
2.根据权利要求1所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述第一耦接弹性元件和所述第二耦接弹性元件屈服于绕所述第二旋转轴的扭转，并且在相对于所述可倾斜结构的相对侧上，从所述可倾斜结构直到所述内部框架的相应侧，沿着所述第二旋转轴具有线性延伸。
3.根据权利要求1所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述固定结构包括在所述可倾斜结构的相对侧上沿着所述第一旋转轴在所述腔内从所述外部框架延伸的第一支撑元件和第二支撑元件；并且其中所述另一对中的驱动臂分别在所述第一悬挂弹性元件和所...
【技术特征摘要】
1.一种包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述微机电镜设备包括：
2.根据权利要求1所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述第一耦接弹性元件和所述第二耦接弹性元件屈服于绕所述第二旋转轴的扭转，并且在相对于所述可倾斜结构的相对侧上，从所述可倾斜结构直到所述内部框架的相应侧，沿着所述第二旋转轴具有线性延伸。
3.根据权利要求1所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述固定结构包括在所述可倾斜结构的相对侧上沿着所述第一旋转轴在所述腔内从所述外部框架延伸的第一支撑元件和第二支撑元件；并且其中所述另一对中的驱动臂分别在所述第一悬挂弹性元件和所述第二悬挂弹性元件以及所述第一支撑元件和所述第二支撑元件之间延伸。
4.根据权利要求1所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述第一悬挂弹性元件和所述第二悬挂弹性元件具有沿正交于所述水平面的垂直轴的第一厚度；并且其中所述第一耦接弹性元件和所述第二耦接弹性元件具有沿所述垂直轴的第二厚度，所述第二厚度大于所述第一厚度。
5.根据权利要求4所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述固定结构被设置在半导体材料的管芯中，所述半导体材料的管芯包括彼此叠加的半导体材料的上层和底层；并且其中所述第一厚度由所述上层限定，并且所述第二厚度由所述底层限定。
6.根据权利要求4所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述第一厚度被包括在10μm和50μm之间；并且其中所述第二厚度被包括在50μm和200μm之间。
7.根据权利要求4所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述第一对中的驱动臂通过第一弹性元件和第二弹性元件弹性地耦接到所述内部框架，所述第一弹性元件和所述第二弹性元件平行于所述第一旋转轴延伸并且在所述第一旋转轴的相对侧上，并且相对于绕平行于所述第一旋转轴的旋转轴的扭转而屈服；并且其中所述第一对中的驱动臂、所述另一对中的驱动臂以及所述第一弹性元件和所述第二弹性元件具有所述第一厚度。
8.根据权利要求4所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述内部框架具有：短侧，通过所述第一耦接弹性元件和所述第二耦接弹性元件耦接到所述可倾斜结构；以及长侧，通过所述第一悬挂弹性元件和所述第二悬挂弹性元件耦接到所述另一对中的驱动臂；并且其中所述外部框架、所述可倾斜结构和所述内部框架的所述长侧具有等于所述第一厚度和所述第二厚度之和的第三厚度，并且所述内部框架的所述短侧具有所述第二厚度。
9.根据权利要求1所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，所述可倾斜结构被配置为以准静态运动绕所述第一旋转轴旋转，并且以共振运动绕所述第二旋转轴旋转。
10.根据权利要求1所述的包括微机电镜设备的设备，其特征在于，还包括第一检测元件和第二检测元件，所述第一检测元件和所述第二检测元件被配置为以解耦的方式提供指示所述可倾斜结构分别绕所述第一旋转轴和绕所述第二旋转轴的旋转的检测信号；其中所述第一检测元件被耦接到所述第一对中的驱动臂以检测所述可倾斜结构绕所述第一旋转轴的旋转，并且所述第二检测元件被耦接到所述另一对中的驱动臂以检测所述可倾斜结构绕所述第二旋转轴的旋转。
...【专利技术属性】
技术研发人员：N·博尼，R·卡尔米纳蒂，M·默利，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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