温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了包括微机电镜设备的设备及微机电镜设备。包括微机电镜设备的设备具有限定界定腔的外部框架的固定结构、布置在腔上方并限定窗口的内部框架、具有反射表面并被布置在窗口中的可倾斜结构。通过第一和第二耦接弹性元件弹性地耦接到内部框架。致动结构耦接到...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。