【技术实现步骤摘要】
本技术属于线切机切割，具体而言，涉及一种线切机液路系统及线切机。
技术介绍
1、线切机通过线网的来回运动将磨粒带入硅棒的加工区域进行磨削，从而将晶棒加工成数个薄片。线切机主要由进刀系统、主轴系统、绕线系统、液路系统、气路系统和电控系统组成，其中液路系统包括冷却水循环系统和切割液循环系统，其作用分别是为线切机的各关键零部件进行降温和为切割提供磨粒、润滑、冷却等作用。两个循环系统独立循环，相互作用但不互相干扰。液路系统的完整性和单点操控性对探索线切机的切割质量、切割工艺和更多功能拓展起着关键作用。
2、现有线切机的液路系统通过一根总管和阀门控制各支路的冷却，无法确定和控制各冷却支路的实际温度，当单个支路温度过高或堵塞，总管并不会出现明显变化，不利于晶圆表面质量的提高和故障排查。
3、因此，本申请要解决的技术问题是：提供一种可控制各冷却支路温度的线切机液路系统。
技术实现思路
1、本技术的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提出了一种线切机液路系统及线切机，解决了现有液路系统无法有效调节线切机各模块温度的问题。本申请方案的技术效果是：可使线切机各个模块具有合适的工作温度。
2、本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种冷却液路系统，包括冷却管路，所述冷却管路可通入冷却液，所述冷却管路上设有若干个冷却支路，各个所述冷却支路具有设定温度；检测模块，所述检测模块设置于冷却支路上；调温模块，所述调温模块设置于冷却支路上；其中，所述检测模块可检测冷却支路的温度，
3、可以理解的是，通过给各个冷却支路配置检测模块，以实时监测各个冷却支路的温度状况，相应的，给各个冷却支路配置调温模块，即便各个冷却支路的工作环境温度不同，也可进行调温控制，保证各个冷却支路可分别独立调整至设定的温度，进而保证与各个冷却支路相连的线切机模块可正常工作，最终提高线切成品的质量。示例性的，检测模块可配置为温度传感器，并且同一个冷却支路上可设置多个适量的温度传感器。
4、在上述的线切机液路系统中，所述调温模块包括设置于所述冷却支路上的加热单元，所述加热单元可向冷却支路提供热量。可以理解的是，当冷却支路上的检测模块检测到该冷却支路的温度低于设定温度时，可通过加热单元对冷却支路加热，使其回升至设定温度，防止线切机内的部件过冷收缩，从而影响工作精度与线切质量。
5、在上述的线切机液路系统中，所述加热单元为加热器，所述加热器具有多级加热控制件。示例性的，加热单元配置为电控的加热器，并且该加热器可配置多种升温档位，可根据实际检测的温度选择合适的档位进行调控。
6、在上述的线切机液路系统中，作为另一种方案，所述加热单元为加热管路，所述加热管路设置于冷却管路外侧，可供热液流通，且所述加热管路上设有控制热液流量大小的第一阀门。示例性的，加热单元也可配置为加热管路，向加热管路通入热液以提升冷却管路的温度，可根据实际检测的温度，选择性的提升或降低热液的流量。
7、在上述的线切机液路系统中，所述调温模块包括设置于所述冷却支路上的降温单元，所述降温单元可加快散发冷却支路的热量。可以理解的是，当冷却支路上的检测模块检测到该冷却支路高于设定温度时，可通过降温单元加快散热冷却支路的热量，使其回落至设定温度，防止线切机内部的部件过热膨胀，从而影响工作精度与线切质量。
8、在上述的线切机液路系统中，所述降温单元为控制冷却液流量大小的第二阀门。示例性的，当检测模块检测到冷却管路温度高于设定温度时，可以通过第二阀门增大冷却液流量以调低该冷却管路的温度；当检测模块检测到冷却管路低于设定温度时，可以通过第二阀门减小冷却液流量以提高该冷却管路的温度。
9、在上述的线切机液路系统中，还包括出液管路，所述出液管路上设有若干个出液支管，所述出液支管用于接收线切机的各个部件的冷却用液。可以理解的是，通过设置出液管路和出液支管，可将冷却用液重新回收，实现冷却液的循环利用。
10、本技术的另一目的在于提供一种线切机，包括：线切机液路系统；切割室，所述切割室连接有第一冷却支路；升降模块，所述升降模块设置于切割室内，且所述升降模块连接有第二冷却支路；切割主辊，所述切割主辊设置于升降模块下方，且所述切割主辊连接有第三冷却支路。
11、可以理解的是，通过将切割室与第一冷却支路连接、升降模块与第二冷却支路连接、切割主辊与第三冷却支路连接，可以保证切割室、升降模块及切割主辊始终处于正常工作状态，升降模块升降精度不受影响，切割主辊不易膨胀，即不易造成轴向窜动，也不易收缩，切割主辊上的线网不会松弛，防止线网线弓的增加。
12、在上述的线切机中，还包括夹紧模块，所述夹紧模块连接于升降模块上，且所述夹紧模块连接有第四冷却支路。可以理解的是，夹紧模块一般用于夹紧带有晶棒的晶托，通过为夹紧模块配置第四冷却支路，防止其受热而带动晶托窜动，影响切割效果。
13、在上述的线切机中，还包括电机模组，所述电机模组设置于切割室一侧，且所述电机模组连接有第五冷却支路。可以理解的是，电机模组一般发热较为严重，因此，通过为电机模组配置第五冷却支路，防止其受热而影响工作功率，进而影响切割效果。
14、与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：通过给各个冷却支路配置检测模块，以实时监测各个冷却支路的温度状况，相应的，给各个冷却支路配置调温模块，即便各个冷却支路的工作环境温度不同，也可进行调温控制，保证各个冷却支路可分别独立调整至设定的温度，进而保证与各个冷却支路相连的线切机模块可正常工作，最终提高线切成品的质量；通过加热单元对冷却支路加热，使其回升至设定温度，防止线切机内的部件过冷收缩，从而影响工作精度与线切质量；通过降温单元加快散热冷却支路的热量，使其回落至设定温度，防止线切机内部的部件过热膨胀，从而影响工作精度与线切质量。
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1.一种线切机液路系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的线切机液路系统，其特征在于，所述调温模块(300)包括设置于所述冷却支路上的加热单元(310)，所述加热单元(310)可向冷却支路提供热量。
3.根据权利要求2所述的线切机液路系统，其特征在于，所述加热单元(310)为加热器，所述加热器具有多级加热控制件。
4.根据权利要求2所述的线切机液路系统，其特征在于，所述加热单元(310)为加热管路，所述加热管路设置于冷却管路(100)外侧，可供热液流通，且所述加热管路上设有控制热液流量大小的第一阀门(311)。
5.根据权利要求1所述的线切机液路系统，其特征在于，所述调温模块(300)包括设置于所述冷却支路上的降温单元(320)，所述降温单元(320)可加快散发冷却支路的热量。
6.根据权利要求5所述的线切机液路系统，其特征在于，所述降温单元(320)为控制冷却液流量大小的第二阀门。
7.根据权利要求1所述的线切机液路系统，其特征在于，还包括出液管路(400)，所述出液管路(400)上设有若干个出液
8.一种线切机，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的线切机，其特征在于，还包括夹紧模块(800)，所述夹紧模块(800)连接于升降模块(600)上，且所述夹紧模块(800)连接有第四冷却支路(140)。
10.根据权利要求8所述的线切机，其特征在于，还包括电机模组，所述电机模组设置于切割室(500)一侧，且所述电机模组连接有第五冷却支路(150)。
...【技术特征摘要】
1.一种线切机液路系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的线切机液路系统，其特征在于，所述调温模块(300)包括设置于所述冷却支路上的加热单元(310)，所述加热单元(310)可向冷却支路提供热量。
3.根据权利要求2所述的线切机液路系统，其特征在于，所述加热单元(310)为加热器，所述加热器具有多级加热控制件。
4.根据权利要求2所述的线切机液路系统，其特征在于，所述加热单元(310)为加热管路，所述加热管路设置于冷却管路(100)外侧，可供热液流通，且所述加热管路上设有控制热液流量大小的第一阀门(311)。
5.根据权利要求1所述的线切机液路系统，其特征在于，所述调温模块(300)包括设置于所述冷却支路上的降温单元(320)，所述降温单元(320)可加...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，王金荣，朱继锭，许建青，孔玉梅，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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