【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及热源灯，更具体地说，它涉及一种灯源位置的调节结构及其热源灯。
技术介绍
1、快速退火炉(rtp)是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其用于加热多个半导体晶片以影响其电性能。快速退火炉可以加热晶片以激活掺杂剂、将薄膜转换成晶片衬底界面、使致密沉积的薄膜、改变生长的薄膜的状态、修复注入的损伤、移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底等等。
2、现有的快速退火炉通常使用卤素灯作为热源，卤素灯作为热源灯，其应用在快速退火炉内的位置安装基座都是固定的，无法对安装基座进行调节，即无法对灯源位置进行调节，以适应灯源位置与晶片之间的不同距离。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种灯源位置的调节结构及其热源灯，旨在解决上述技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种灯源位置的调节结构，包括炉体，所述灯源位置的调节结构用于调节热源灯本体在炉体中的位置，所述灯源位置的调节结构包括：
3、上支撑板，所述上支撑板设置在炉体内腔中；
4、第二调节机构，所述第二调节机构安装在炉体上，且所述第二调节机构传动连接有上支撑板，沿垂直于上支撑板的方向上，第二调节机构用于调节上支撑板在炉体内腔中的位置；
5、第一调节机构，所述第一调节机构安装在上支撑板上，且所述第一调节机构远离上支撑座的一端用于安装热源灯本体，所述第一调节机构的数量有多个，沿垂直于热源灯本体的延伸方向
6、其中，所述第一调节机构包括直线调节组件和转动调节组件，所述直线调节组件传动连接有转动调节组件，所述直线调节组件用于调节热源灯本体朝远离上支撑板方向上的直线移动位置，所述转动调节组件用于调节热源灯本体的光照方向。
7、作为本专利技术进一步的方案：所述第二调节机构包括第二液压缸、第二伸缩杆和滑块，所述第二液压缸安置在炉体上，第二液压缸的输出端固定连接有第二伸缩杆，第二伸缩杆远离第二液压缸的一端与上支撑板固定连接，上支撑板侧端固定连接有滑块，所述炉体内腔上开设有滑槽，所述滑块通过滑槽与炉体滑动连接，其中，所述滑块与滑槽的滑动方向与第二伸缩杆的伸缩方向一致。
8、作为本专利技术进一步的方案：所述上支撑板的下端固定连接有下支撑板，所述下支撑板的侧面与炉体内壁紧密贴合；
9、其中，所述直线调节组件包括第一液压缸、第一伸缩杆、第一齿条板、第一转动支座和第一安装板，所述第一液压缸安装在上支撑板上，第一液压缸的输出端固定连接有第一伸缩杆，第一伸缩杆远离第一液压缸的一端固定连接有第一齿条板，第一齿条板远离第一伸缩杆的一端贯穿下支撑板并与下支撑板滑动连接，所述第一齿条板位于下支撑板下方的一端转动连接有第一转动支座，第一转动支座固定连接在第一安装板上；
10、所述转动调节组件包括主动齿轮、从动齿轮、第一支架、第二支架、第二齿条板、第二转动支座和第二安装板，所述第一齿条板侧端啮合传动有主动齿轮，主动齿轮啮合传动有从动齿轮，所述主动齿轮的输出轴转动连接在第一支架上，第一支架与下支撑板固定连接，从动齿轮的输出轴转动连接在第二支架上，第二支架与下支撑板固定连接，所述从动齿轮啮合传动有第二齿条板，所述第二齿条板贯穿下支撑板并与下支撑板滑动连接，其中，所述第二齿条板与下支撑板的滑动方向与第一齿条板与下支撑板的滑动方向平行，所述第二齿条板位于下支撑板下方的一端转动连接有第二转动支座，第二转动支座与第二安装板固定连接，所述第二安装板靠近第一安装板的一端固定连接有插杆，所述第一安装板靠近第二安装板的一端开设有插槽，所述插杆与插槽滑动连接，所述第一安装板远离第一转动支座的一端用于安装热源灯本体，其中，所述主动齿轮的齿数大于从动齿轮的齿数；
11、当第一齿条板位于初始位置时，所述第一安装板远离下支撑板的一端表面与第二安装板远离下支撑板的一端表面分别与下支撑板的下表面平行；
12、当在第一液压缸的驱动下，所述第一齿条板沿第一伸缩杆的方向朝远离第一液压缸的方向移动第一距离值时，所述第二齿条板沿第一伸缩杆的方向朝远离第一液压缸的方向移动第二距离值，所述第一距离值大于第二距离值，所述插杆沿插槽的设置方向朝远离第一安装板的方向滑动第三距离值。
13、作为本专利技术进一步的方案：当所述灯源位置的调节结构位于热处理位置时，沿位于上支撑板的中间位置的第一调节机构指向位于上支撑板的边缘位置的第一调节机构的方向上，多个所述第一调节机构中第一齿条板的第一距离值逐渐增大。
14、本专利技术提供了一种灯源位置可调节的热源灯，包括热源灯本体和安装在热源灯本体上的位置调节结构，所述位置调节结构采用上述的一种灯源位置的调节结构。
15、作为本专利技术进一步的方案：所述上支撑板的下端固定连接有下支撑板，所述下支撑板的侧面与炉体内壁紧密贴合；
16、所述直线调节组件包括第一液压缸、第一伸缩杆、第一齿条板、第一转动支座和第一安装板，所述第一液压缸安装在上支撑板上，第一液压缸的输出端固定连接有第一伸缩杆，第一伸缩杆远离第一液压缸的一端固定连接有第一齿条板，第一齿条板远离第一伸缩杆的一端贯穿下支撑板并与下支撑板滑动连接，所述第一齿条板位于下支撑板下方的一端转动连接有第一转动支座，第一转动支座固定连接在第一安装板上；
17、所述转动调节组件包括主动齿轮、从动齿轮、第一支架、第二支架、第二齿条板、第二转动支座和第二安装板，所述第一齿条板侧端啮合传动有主动齿轮，主动齿轮啮合传动有从动齿轮，所述主动齿轮的输出轴转动连接在第一支架上，第一支架与下支撑板固定连接，从动齿轮的输出轴转动连接在第二支架上，第二支架与下支撑板固定连接，所述从动齿轮啮合传动有第二齿条板，所述第二齿条板贯穿下支撑板并与下支撑板滑动连接，其中，所述第二齿条板与下支撑板的滑动方向与第一齿条板与下支撑板的滑动方向平行，所述第二齿条板位于下支撑板下方的一端转动连接有第二转动支座，第二转动支座与第二安装板固定连接，所述第二安装板靠近第一安装板的一端固定连接有插杆，所述第一安装板靠近第二安装板的一端开设有插槽，所述插杆与插槽滑动连接，所述第一安装板远离第一转动支座的一端固定连接有热源灯本体，所述热源灯本体靠近第二安装板的一端固定连接有限位块，所述第二安装板上开设有限位槽，所述限位块通过限位槽与第二安装板滑动连接，其中，所述主动齿轮的齿数大于从动齿轮的齿数；
18、当第一齿条板位于初始位置时，所述第一安装板远离下支撑板的一端表面与第二安装板远离下支撑板的一端表面分别与下支撑板的下表面平行，所述限位块位于限位槽中远离第一安装板的一侧；
19、当在第一液压缸的驱动下，所述第一齿条板沿第一伸缩杆的方向朝远离第一液压缸的方向移动第一距离值时，所述第二齿条板沿第一伸缩杆的方向朝远离第一液压缸的方向移动第二距离值，所述第一距离值大于第二距离值，所述插杆沿插槽的设置本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种灯源位置的调节结构，包括炉体(1)，所述灯源位置的调节结构用于调节热源灯本体(8)在炉体(1)中的位置，其特征在于，所述灯源位置的调节结构包括：
2.根据权利要求1所述的一种灯源位置的调节结构，其特征在于，所述第二调节机构(3)包括第二液压缸(31)、第二伸缩杆(32)和滑块(5)，所述第二液压缸(31)安置在炉体(1)上，第二液压缸(31)的输出端固定连接有第二伸缩杆(32)，第二伸缩杆(32)远离第二液压缸(31)的一端与上支撑板(4)固定连接，上支撑板(4)侧端固定连接有滑块(5)，所述炉体(1)内腔上开设有滑槽(6)，所述滑块(5)通过滑槽(6)与炉体(1)滑动连接，其中，所述滑块(5)与滑槽(6)的滑动方向与第二伸缩杆(32)的伸缩方向一致。
3.根据权利要求2所述的一种灯源位置的调节结构，其特征在于，所述上支撑板(4)的下端固定连接有下支撑板(7)，所述下支撑板(7)的侧面与炉体(1)内壁紧密贴合；
4.根据权利要求3所述的一种灯源位置的调节结构，其特征在于，当所述灯源位置的调节结构位于热处理位置时，沿位于上支撑板(4)的中
5.一种灯源位置可调节的热源灯，其特征在于，包括热源灯本体(8)和安装在热源灯本体(8)上的位置调节结构，所述位置调节结构采用如权利要求1所述的一种灯源位置的调节结构。
6.根据权利要求5所述的一种灯源位置可调节的热源灯，其特征在于，所述上支撑板(4)的下端固定连接有下支撑板(7)，所述下支撑板(7)的侧面与炉体(1)内壁紧密贴合；
7.根据权利要求6所述的一种灯源位置可调节的热源灯，其特征在于，所述炉体(1)内底部固定安装有支撑座(10)，所述支撑座(10)位于第一调节机构(2)的下方位置，所述支撑座(10)上用于放置待热处理的晶圆本体(9)，所述炉体(1)一侧靠近支撑座(10)的位置开设有投料口(11)，所述投料口(11)用于将晶圆本体(9)由机械手臂托送至支撑座(10)上。
8.根据权利要求7所述的一种灯源位置可调节的热源灯，其特征在于，当所述灯源位置的调节结构位于热处理位置时，沿位于上支撑板(4)的中间位置的第一调节机构(2)指向位于上支撑板(4)的边缘位置的第一调节机构(2)的方向上，多个所述第一调节机构(2)中第一齿条板(23)的第一距离值逐渐增大。
...【技术特征摘要】
1.一种灯源位置的调节结构，包括炉体(1)，所述灯源位置的调节结构用于调节热源灯本体(8)在炉体(1)中的位置，其特征在于，所述灯源位置的调节结构包括：
2.根据权利要求1所述的一种灯源位置的调节结构，其特征在于，所述第二调节机构(3)包括第二液压缸(31)、第二伸缩杆(32)和滑块(5)，所述第二液压缸(31)安置在炉体(1)上，第二液压缸(31)的输出端固定连接有第二伸缩杆(32)，第二伸缩杆(32)远离第二液压缸(31)的一端与上支撑板(4)固定连接，上支撑板(4)侧端固定连接有滑块(5)，所述炉体(1)内腔上开设有滑槽(6)，所述滑块(5)通过滑槽(6)与炉体(1)滑动连接，其中，所述滑块(5)与滑槽(6)的滑动方向与第二伸缩杆(32)的伸缩方向一致。
3.根据权利要求2所述的一种灯源位置的调节结构，其特征在于，所述上支撑板(4)的下端固定连接有下支撑板(7)，所述下支撑板(7)的侧面与炉体(1)内壁紧密贴合；
4.根据权利要求3所述的一种灯源位置的调节结构，其特征在于，当所述灯源位置的调节结构位于热处理位置时，沿位于上支撑板(4)的中间位置的第一调节机构(2)指向位于上支撑板(4)的边缘位置的第一调节机构(2)的方向上，多个所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘永，曹见丽，
申请(专利权)人：淮安璟凌电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。