半导体外延设备专用鼓风机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体外延设备专用鼓风机，包括外壳体、定子组件、转子组件和接线组件；外壳体的内周设有若干凸键，定子组件包括外套体、内套体和定子线圈，外套体适配于外壳体内，外壳体的后端可拆卸地安装有环形盖板，外套体的外周设有若干键槽，且各凸键一一对应插入各键槽内，内套体和外套体之间通过若干导流片相连，定子线圈设于内套体内，转子组件前端的转轴上安装有叶轮，接线组件包括电连接器和导线，电连接器设于外壳体外，导线的一端与电连接器相连，导线的另一端依次穿过外壳体上的第一通孔和键槽、外套体上的缺口和内套体上第二通孔后与定子线圈相连。本实用新型专利技术解决了现有的鼓风机不便于安装和拆卸、不便于维修的问题。修的问题。修的问题。

【技术实现步骤摘要】
半导体外延设备专用鼓风机


[0001]本技术涉及半导体生产
，具体涉及一种半导体外延设备专用鼓风机。

技术介绍

[0002]半导体生产中，外延(EPI)设备内部会产生热气，若不及时将热气排出，会导致其内部的机台温度过高，进而导致很多电器元件无法工作。外延(EPI)设备内部产生的热风需要通过鼓风机吹入排气管道并通过排气管道排出。
[0003]EPI鼓风机长时间使用后，会产生异响和震动等不良现象，需要进行更换或维修，目前，EPI鼓风机的原厂交货期为6个月左右，维修可显著降低运行成本。现有的EPI鼓风机存在不便于安装和拆卸、不便于维修的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的缺陷，本技术提供了一种半导体外延设备专用鼓风机，以解决现有的鼓风机不便于安装和拆卸、不便于维修的问题。
[0005]本技术提供了一种半导体外延设备专用鼓风机，
[0006]包括外壳体、定子组件、转子组件和接线组件；
[0007]所述外壳体呈圆筒状，外壳体的内周靠近其前端设有环形凸台，外壳体的内周沿轴向设有若干条由所述环形凸台向后延伸至接近该外壳体后端的凸键，外壳体的侧壁位于所述凸键的后方开设有第一通孔；
[0008]所述定子组件包括外套体、内套体和定子线圈，所述外套体适配于所述外壳体内，所述外壳体的后端可拆卸地安装有环形盖板，该外套体的两端抵在所述环形凸台和环形盖板之间，所述外套体的外周沿轴向设有若干条贯穿前后两端的键槽，且各所述凸键一一对应插入各所述键槽内，所述外套体的后端设有一缺口，该缺口与所述第一通孔之间通过一所述键槽相连，所述内套体同轴设于所述外套体内，内套体和外套体之间通过若干导流片相连，相邻两个所述导流片之间形成气流通道，内套体的侧壁上靠近其后端还设有第二通孔，所述定子线圈设于所述内套体内；
[0009]所述转子组件转动适配于所述定子线圈内，内套体的后端可拆卸地安装有后盖，所述转子组件后端设有第一转轴，所述第一转轴通过第一轴承安装于所述后盖上，转子组件的前端设有第二转轴，所述第二转轴通过第二轴承安装于所述内套体的前端，第二转轴的前端还安装有适配于所述外壳体内的叶轮；
[0010]所述接线组件包括电连接器和导线，所述电连接器设于所述外壳体外，所述导线的一端与所述电连接器相连，导线的另一端依次穿过所述第一通孔、键槽、缺口和第二通孔后与所述定子线圈相连。
[0011]进一步地，所述外壳体的后端设有第一连接环，所述环形盖板通过螺栓固定于所述第一连接环。
[0012]进一步地，所述环形盖板的后侧设有凸出的环形接口。
[0013]进一步地，所述内套体的后端设有第二连接环，所述后盖通过螺栓固定于所述第二连接环，后盖的前侧设有定位环，所述定位环适配于所述内套体内。
[0014]进一步地，所述后盖的后侧设有第一轴承安装槽，所述第一轴承安装于所述第一轴承安装槽内，所述后盖的后侧通过螺丝安装有将第一轴承固定在第一轴承安装槽内的第一轴承压盖。
[0015]进一步地，所述内套体的前端具有封板，所述封板的前侧设有轴承安装架和第二轴承压盖，所述轴承安装架的前侧设有第二轴承安装槽，所述第二轴承安装于所述第二轴承安装槽内，所述第二轴承压盖设于所述轴承安装架的前侧并将所述第二轴承固定在第二轴承安装槽内，轴承安装架和第二轴承压盖通过螺丝固定于所述封板。
[0016]进一步地，所述叶轮包括罩在所述内套体前端的轴承安装架和第二轴承压盖外的轮盘、以及沿周向间隔设于所述轮盘外的多个叶片，所述轮盘的中心固定于所述第二转轴上。
[0017]进一步地，所述外壳体的前端设有锥形出风口。
[0018]进一步地，所述外壳体的前端设有第三连接环，所述锥形出风口的后端设有第四连接环，所述第三连接环和第四连接环之间通过螺栓固定。
[0019]进一步地，所述外壳体和锥形出风口之间还设有网孔板，所述网孔板的周部固定在所述第三连接环和第四连接环之间。
[0020]本技术的有益效果体现在：
[0021]该用该鼓风机抽排半导体外延设备机台内部的热气时，外壳体的后端向下并接入机台，外壳体的前端向上并对准排气管道，转子组件的定子线圈通电带动转子组件转动，进而带动叶轮转动，叶轮转动时带动气流从下向上流动，使得机台内部的热气从外壳体的后端吸入，再经过外套体和内套体之间的气流通道，然后从外壳体前端吹入排气管道内，最后通过排气管道排出。
[0022]本申请定子组件的外套体和内套体通过导流片连接为一体结构，组装时，先将转子组件和定子组件组装再一起，内套体后端的后盖先不装，然后将组装好的转子组件和定子组件从外壳体的后端插入，插入时，外套体外侧的键槽对准外壳体内侧的凸键，为了防止导线卡在外套体和外壳体之间，导线需要顺着外套体外侧的键槽向后延伸，转子组件和定子组件插入到位后，再将导线卡入外套体后端的缺口，并从第二通孔穿入内套体内，然后将导线与定子线圈连接，导线接好后，再在内套体的后端安装后盖和轴承，最后在外壳体的后端安装环形盖板，使得定子组件的外套体抵紧在环形凸台和环形盖板之间，即可完成组装，该鼓风机的拆卸为组装的逆过程，这里不作赘述。
[0023]因此，本申请不仅便于安装和拆卸，拆卸时可以将定子组件和转子组件整体从外壳体内拆出来，便于对定子组件和转子组件进行维修。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例
绘制。
[0025]图1为本技术实施例的外部立体图；
[0026]图2为本技术实施例的内部剖视图；
[0027]图3为图2的A
‑
A剖视图。
[0028]附图中，100
‑
外壳体；110
‑
环形凸台；120
‑
凸键；130
‑
第一通孔；140
‑
环形盖板；141
‑
环形接口；150
‑
第一连接环；160
‑
第三连接环；200
‑
定子组件；210
‑
外套体；211
‑
键槽；212
‑
缺口；220
‑
内套体；221
‑
第二通孔；222
‑
第二连接环；223
‑
定位环；224
‑
封板；230
‑
定子线圈；240
‑
导流片；250
‑
后盖；251
‑
第一轴承安装槽；252
‑
第一轴承压盖；260
‑
轴承安装架；261
‑
第二轴承压盖；262
‑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：包括外壳体、定子组件、转子组件和接线组件；所述外壳体呈圆筒状，外壳体的内周靠近其前端设有环形凸台，外壳体的内周沿轴向设有若干条由所述环形凸台向后延伸至接近该外壳体后端的凸键，外壳体的侧壁位于所述凸键的后方开设有第一通孔；所述定子组件包括外套体、内套体和定子线圈，所述外套体适配于所述外壳体内，所述外壳体的后端可拆卸地安装有环形盖板，该外套体的两端抵在所述环形凸台和环形盖板之间，所述外套体的外周沿轴向设有若干条贯穿前后两端的键槽，且各所述凸键一一对应插入各所述键槽内，所述外套体的后端设有一缺口，该缺口与所述第一通孔之间通过一所述键槽相连，所述内套体同轴设于所述外套体内，内套体和外套体之间通过若干导流片相连，相邻两个所述导流片之间形成气流通道，内套体的侧壁上靠近其后端还设有第二通孔，所述定子线圈设于所述内套体内；所述转子组件转动适配于所述定子线圈内，内套体的后端可拆卸地安装有后盖，所述转子组件后端设有第一转轴，所述第一转轴通过第一轴承安装于所述后盖上，转子组件的前端设有第二转轴，所述第二转轴通过第二轴承安装于所述内套体的前端，第二转轴的前端还安装有适配于所述外壳体内的叶轮；所述接线组件包括电连接器和导线，所述电连接器设于所述外壳体外，所述导线的一端与所述电连接器相连，导线的另一端依次穿过所述第一通孔、键槽、缺口和第二通孔后与所述定子线圈相连。2.根据权利要求1所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述外壳体的后端设有第一连接环，所述环形盖板通过螺栓固定于所述第一连接环。3.根据权利要求2所述的半导体外延设备专用鼓风机，其特征在于：所述环形盖板的后...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹见丽，刘永，
申请(专利权)人：淮安璟凌电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：