本发明专利技术公开了一种应用于退火设备的热源灯，涉及热源灯领域，其技术方案要点包括：设置在加热腔上的连接座，所述加热腔的外侧开设有连接槽，所述连接座卡接在所述连接槽内，所述连接座的一侧设有热源灯体，所述连接座上设置有卡接部件，所述卡接部件用于将所述连接座固定卡接在所述连接槽内。一种应用于退火设备的热源灯，通过在加热腔上设置贯通的连接槽用于安装热源灯，可从加热腔的外侧对热源灯进行拆装，在退火设备正常使用时，若有热源灯出现故障，则工作人员无需关闭退火设备进行拆装操作，可维持退火设备的加工进程，从而有利于降低热源灯故障对半导体材料退火处理的影响。低热源灯故障对半导体材料退火处理的影响。低热源灯故障对半导体材料退火处理的影响。
【技术实现步骤摘要】
一种应用于退火设备的热源灯
[0001]本专利技术涉及热源灯
，更具体地说，它涉及一种应用于退火设备的热源灯。
技术介绍
[0002]半导体退火设备是一种用于消除半导体晶圆或者材料内部的一些缺陷的装置，其原理是利用卤素红外灯作为热源，即热源灯，通过极快的升温速率，将晶圆或者材料快速地加热到300℃
‑
1200℃，在此种温度条件下，可使得半导体材料上的缺陷被消除。
[0003]相关技术中，目前大多数退火设备的加热腔设置为对称形式，常见的有圆形、六边形以及八边形等，而热源灯一般安装在退火设备的加热腔内部的，因此大部分的热源灯一般采用同圆心排列形式，在对半导体材料进行退火加热处理时，将半导体材料放入加热腔内，通过多个热源灯同时运行，可对半导体材料进行全面的退火处理。
[0004]然而，在通过热源灯对半导体材料进行退火处理过程中，当其中一个或多个热源灯出现故障不能正常使用时，由于此时退火设备正处于运行状态，若放任此种情况不管，利用剩余的热源灯继续对半导体材料进行退火处理，虽然不会耽误加工进度，但是容易导致半导体材料因加热温度不足而使其退火效果达不到生产标准；而若直接关闭退火设备，对故障的热源灯进行维修，则会导致半导体的退火处理中断，不仅会耽误加工进度，也会导致退火效果达不到生产标准，因此需要提供一种在热源灯出现部分故障时，可降低对半导体材料退火处理效果影响的热源灯。
技术实现思路
[0005]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种应用于退火设备的热源灯。<br/>[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案，包括：设置在加热腔上的连接座，所述加热腔的外侧开设有连接槽，所述连接座卡接在所述连接槽内，所述连接座的一侧设有热源灯体，所述连接座上设置有卡接部件，所述卡接部件用于将所述连接座固定卡接在所述连接槽内，所述加热腔内设置有封堵部件，所述封堵部件用于将所述连接座与所述连接槽之间的缝隙进行封堵，所述连接座靠近所述热源灯体的一侧安装有防护部件，所述防护部件将所述热源灯体包裹在其内部；
[0007]其中，在将所述连接座从所述连接槽内拆卸下来时，通过所述封堵部件自动将所述连接槽靠近所述加热腔内侧的端口封堵住，而在将所述连接座安装在所述连接座内时，通过所述防护部件挤压所述封堵部件打开，以使得所述连接座能够卡接在所述连接槽内。
[0008]优选地，所述卡接部件包括转动件和两个卡接轴，所述连接座内部开设有活动槽，所述转动件的端部由所述连接座的外侧转动贯穿至所述活动槽内部后并与所述活动槽内侧壁转动连接，两个所述卡接轴对称滑动安装在所述活动槽的两侧，且两个所述卡接轴的端部由所述活动槽内滑动贯穿出所述连接座，所述卡接轴的端部与所述活动槽内侧壁之间固定安装有支撑弹簧，所述转动件的外侧螺纹安装有滑动安装在所述活动槽内的活动挤压
块，所述活动挤压块的两端设有倾斜面，所述卡接轴靠近所述活动挤压块的一端开设有与所述倾斜面相适配的倾斜槽，所述连接槽的内侧壁上开设有与所述卡接轴相适配的卡接槽。
[0009]优选地，所述封堵部件包括两个活动挡板，所述连接槽的内侧壁上开设有两个伸缩槽，所述活动挡板滑动安装在所述伸缩槽内，所述活动挡板的一侧与所述伸缩槽内侧壁之间固定安装有连接弹簧，所述活动挡板靠近所述连接座的一侧设有接触斜面，在所述连接座与所述连接槽分离后，使得两个所述活动挡板相对侧滑动至紧密贴合状态。
[0010]优选地，所述防护部件包括透明罩体和底座，所述透明罩体贴合设置在所述连接座的一侧，所述透明罩体远离所述连接座的一侧设置成弧形，所述连接座靠近所述透明罩体的一侧开设有拼接槽，所述透明罩体与所述连接座贴合的一侧固定安装有拼接件，所述拼接件与所述拼接槽活动卡接，所述透明罩体的顶部固定安装有耳座，所述耳座通过螺柱与所述连接座固定安装。
[0011]优选地，所述加热腔内靠近所述卡接部件位置设置有隔热部件，所述隔热部件包括两个活动隔热板，所述活动隔热板滑动安装在所述卡接槽内，所述活动隔热板靠近所述连接座的一侧设置有挤压斜面，所述加热腔内开设有两个与所述卡接槽对应设置的移动槽，所述活动隔热板远离所述连接座的一侧固定安装有滑杆，所述滑杆的端部由所述卡接槽滑动贯穿至所述移动槽内，所述滑杆的端部固定安装有滑动安装在所述移动槽内的活塞，所述滑杆的外侧套装有两端分别固定在所述移动槽内侧壁与所述活塞一侧的复位弹簧，所述加热腔的外侧开设有与所述移动槽连通的进气槽，在所述连接座与所述连接槽分离后，使得两个所述活动隔热板的相对一侧滑动至紧密贴合状态。
[0012]优选地，所述加热腔内设置有气囊部件，所述气囊部件包括两个气囊和两个弹性伸缩管，所述接触斜面的一侧开设有收缩槽，所述气囊固定安装在所述收缩槽内，所述弹性伸缩管固定安装在所述活动挡板内，所述弹性伸缩管的一端与所述气囊内部固定连通，所述弹性伸缩管远离所述气囊的一端与所述移动槽远离所述滑动隔热板的一端固定连通，所述卡接部件卡接在所述卡接槽内时，可使得所述隔热部件向所述气囊内充入气体，以使得所述气囊膨胀至与所述连接座紧密贴合状态，在所述卡接部件与所述卡接槽分离时，可使得所述隔热部件将所述气囊内的气体抽出，而使得所述气囊收缩至所述收缩槽内，并与所述接触斜面保持平齐。
[0013]优选地，所述连接座的端部设有导电接口，所述导电接口与所述热源灯体电连接，所述连接槽内侧壁上固定安装有与所述导电接口相适配的导电接头，在所述连接座卡接在所述连接槽内时，使得所述导电接口与所述导电接头插接导通。
[0014]优选地，所述热源灯体包括安装座，所述安装座的一端固定安装有封装灯管，所述安装座远离所述封装灯管的一端固定安装有两个插接引脚，所述安装座的端部且位于所述封装灯管内固定安装有发热灯丝，所述封装灯管靠近所述安装座的一段固定套装有散热管。
[0015]与现有技术相比，本专利技术具备以下有益效果：
[0016](1)通过在加热腔上设置贯通的连接槽用于安装热源灯，可从加热腔的外侧对热源灯进行拆装，在退火设备正常使用时，若有热源灯出现故障，则工作人员无需关闭退火设备进行拆装操作，可维持退火设备的加工进程，从而有利于降低热源灯故障对半导体材料
退火处理的影响；
[0017](2)通过设置该封堵部件，主要用于对连接槽靠近加热腔内侧位置的端口进行封堵，在对热源灯进行拆装过程中，借助封堵部件与防护部件之间产生的相互挤压作用，可使得活动挡板与连接座、活动挡板与防护部件以及两个活动挡板之间保持紧密贴合状态，进而维持连接槽靠近加热腔的端口处于相对的密闭状态，一方面，可减少加热腔内侧热量通过连接槽向外散失，有利于避免因加热腔内部热量流失加快而影响退火处理效果的问题；另一方面，借助封堵部件的封堵作用隔绝热量，有利于避免高温对工作人员造成伤害，起到一定的保护作用；
[0018](3)通过设置该气囊部件与隔热部件、卡接部件配合使用，能够在对连接座进行安装固定过程中，利用卡接部件卡接时对隔热部件产生的挤压作用，实现对气囊的同步充气吸气功能，从而本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于退火设备的热源灯，包括：设置在加热腔(1)上的连接座(2)，所述加热腔(1)的外侧开设有连接槽(3)，所述连接座(2)卡接在所述连接槽(3)内，所述连接座(2)的一侧设有热源灯体(4)，其特征在于，所述连接座(2)上设置有卡接部件(5)，所述卡接部件(5)用于将所述连接座(2)固定卡接在所述连接槽(3)内，所述加热腔(1)内设置有封堵部件(6)，所述封堵部件(6)用于将所述连接座(2)与所述连接槽(3)之间的缝隙进行封堵，所述连接座(2)靠近所述热源灯体(4)的一侧安装有防护部件(7)，所述防护部件(7)将所述热源灯体(4)包裹在其内部；其中，在将所述连接座(2)从所述连接槽(3)内拆卸下来时，通过所述封堵部件(6)自动将所述连接槽(3)靠近所述加热腔(1)内侧的端口封堵住，而在将所述连接座(2)安装在所述连接座(2)内时，通过所述防护部件(7)挤压所述封堵部件(6)打开，以使得所述连接座(2)能够卡接在所述连接槽(3)内。2.根据权利要求1所述的应用于退火设备的热源灯，其特征在于，所述卡接部件(5)包括转动件(51)和两个卡接轴(52)，所述连接座(2)内部开设有活动槽(53)，所述转动件(51)的端部由所述连接座(2)的外侧转动贯穿至所述活动槽(53)内部后并与所述活动槽(53)内侧壁转动连接，两个所述卡接轴(52)对称滑动安装在所述活动槽(53)的两侧，且两个所述卡接轴(52)的端部由所述活动槽(53)内滑动贯穿出所述连接座(2)，所述卡接轴(52)的端部与所述活动槽(53)内侧壁之间固定安装有支撑弹簧(54)，所述转动件(51)的外侧螺纹安装有滑动安装在所述活动槽(53)内的活动挤压块(55)，所述活动挤压块(55)的两端设有倾斜面，所述卡接轴(52)靠近所述活动挤压块(55)的一端开设有与所述倾斜面相适配的倾斜槽(56)，所述连接槽(3)的内侧壁上开设有与所述卡接轴(52)相适配的卡接槽(57)。3.根据权利要求2所述的应用于退火设备的热源灯，其特征在于，所述封堵部件(6)包括两个活动挡板(61)，所述连接槽(3)的内侧壁上开设有两个伸缩槽(62)，所述活动挡板(61)滑动安装在所述伸缩槽(62)内，所述活动挡板(61)的一侧与所述伸缩槽(62)内侧壁之间固定安装有连接弹簧(63)，所述活动挡板(61)靠近所述连接座(2)的一侧设有接触斜面(64)，在所述连接座(2)与所述连接槽(3)分离后，使得两个所述活动挡板(61)相对侧滑动至紧密贴合状态。4.根据权利要求1所述的应用于退火设备的热源灯，其特征在于，所述防护部件(7)包括透明罩体(71)和底座(72)，所述透明罩体(71)贴合设置在所述连接座(2)的一侧，所述透明罩体(71)远离所述连接座(2)的一侧设置成弧形，所述连接座(2)靠近所述透明罩体(71)的一侧开设有拼接槽(73)，所述透明罩体(71)与所述连接座(2)贴合的一侧固定安装有拼接件(74)，所述拼接件(74)与所述拼接槽(73)活动卡接，所述透明罩体(7...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘永，曹见丽，
申请(专利权)人：淮安璟凌电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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