【技术实现步骤摘要】
本申请属于镀膜设备改造，特别是涉及一种传感器、膜厚监控仪及镀膜设备。
技术介绍
1、一台镀膜设备往往配有石英晶振膜厚监控仪，对生产过程中镀膜厚度参数的变化进行监控，提高生产合格率。石英晶振膜厚监控仪主要是利用了石英晶振片的压电效应和质量负荷效应；石英晶振片能够将机械能转化为电能，也能将电能转化为机械能，如果将一个电池接到石英晶振片上并不断的快速开关，石英晶振片就会振动，如果在该石英晶振片的表面镀上一层薄膜，则石英晶振片的振动就会减弱；并且可以发现这种振动减弱是由薄膜的厚度和密度决定的，利用相关精密的电子设备，多次测试振动，则可实现对石英晶振片被镀膜厚度以及邻近基体被镀膜厚度进行实时监控。
2、然而，现有的石英晶振膜厚监控仪在镀膜监控过程中，其中的石英晶振片在起振状态和非起振状态存在自身晃动的问题，引起静态速率波动异常，进而影响膜厚监控检测的精度。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种传感器、膜厚监控仪及镀膜设备，以解决现有技术中因晶振片未完全固定，其本身可以在相应装配间隙中...
【技术保护点】
1.一种传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述端盖(2)包括柱体(22)和端帽(21)，所述柱体(22)与所述端帽(21)连接，所述柱体(22)在所述端帽(21)表面的投影区域在所述端帽(21)周缘内。
3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述柱体(22)插入所述第一窗口(11)并被所述固定件(1)包裹，所述端帽(21)被所述第一窗口(11)限制在所述固定件(1)外。
4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述固定件(1)靠近所述第二窗口(12)的一端设有向内延伸的边沿，所述边沿卡...
【技术特征摘要】
1.一种传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述端盖(2)包括柱体(22)和端帽(21)，所述柱体(22)与所述端帽(21)连接，所述柱体(22)在所述端帽(21)表面的投影区域在所述端帽(21)周缘内。
3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述柱体(22)插入所述第一窗口(11)并被所述固定件(1)包裹，所述端帽(21)被所述第一窗口(11)限制在所述固定件(1)外。
4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述固定件(1)靠近所述第二窗口(12)的一端设有向内延伸的边沿，所述边沿卡接所述晶振片(3)，所述晶振片(3)通过所述第二窗口(12)露出部分表面。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，张辉，
申请(专利权)人：本源量子计算科技合肥股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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