一种传感器、膜厚监控仪及镀膜设备制造技术

本申请公开了一种传感器、膜厚监控仪及镀膜设备，属于镀膜设备改造技术领域。一种传感器，包括：固定件，有相对设置并且直通的第一窗口和第二窗口；端盖，通过至少部分插入所述第一窗口的方式与所述固定件连接；晶振片，被所述第二窗口和所述端盖限制在所述固定件内，并且所述端盖与所述晶振片之间有间隙；位于所述间隙的弹性件，一端抵接所述端盖，另一端抵接所述晶振片。通过上述方式，本技术能够减少膜厚监控仪中由晶振片自身晃动引起的波动异常，提高检测的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于镀膜设备改造，特别是涉及一种传感器、膜厚监控仪及镀膜设备。

技术介绍

1、一台镀膜设备往往配有石英晶振膜厚监控仪，对生产过程中镀膜厚度参数的变化进行监控，提高生产合格率。石英晶振膜厚监控仪主要是利用了石英晶振片的压电效应和质量负荷效应；石英晶振片能够将机械能转化为电能，也能将电能转化为机械能，如果将一个电池接到石英晶振片上并不断的快速开关，石英晶振片就会振动，如果在该石英晶振片的表面镀上一层薄膜，则石英晶振片的振动就会减弱；并且可以发现这种振动减弱是由薄膜的厚度和密度决定的，利用相关精密的电子设备，多次测试振动，则可实现对石英晶振片被镀膜厚度以及邻近基体被镀膜厚度进行实时监控。

2、然而，现有的石英晶振膜厚监控仪在镀膜监控过程中，其中的石英晶振片在起振状态和非起振状态存在自身晃动的问题，引起静态速率波动异常，进而影响膜厚监控检测的精度。

技术实现思路

1、本申请的目的是提供一种传感器、膜厚监控仪及镀膜设备，以解决现有技术中因晶振片未完全固定，其本身可以在相应装配间隙中可以产生晃动，从而导致测试数据不准确的问题，能够降低、避免一些由于晶振片自身晃动而导致的测量误差。

2、为解决上述技术问题，本技术提供一种传感器，包括：

3、固定件1，有相对设置并且直通的第一窗口11和第二窗口12；

4、端盖2，通过至少部分插入所述第一窗口11的方式与所述固定件1连接；

5、晶振片3，被所述第二窗口12和所述端盖2限制在所述固定件1内，并且所述端盖2与所述晶振片3之间有间隙；

6、位于所述间隙的弹性件4，一端抵接所述端盖2，另一端抵接所述晶振片3。

7、优选的，所述端盖2包括柱体22和端帽21，所述柱体22与所述端帽21连接，所述柱体22在所述端帽21表面的投影区域在所述端帽21周缘内。

8、优选的，所述柱体22插入所述第一窗口11并被所述固定件1包裹，所述端帽21被所述第一窗口11限制在所述固定件1外。

9、优选的，所述固定件1靠近所述第二窗口12的一端设有向内延伸的边沿，所述边沿卡接所述晶振片3，所述晶振片3通过所述第二窗口12露出部分表面。

10、优选的，所述弹性件4采用弹簧。

11、优选的，所述弹性件4的数量为一个以上。

12、优选的，所述弹性件4处于压缩状态。

13、优选的，所述固定件1在靠近所述第一窗口11的内壁设有凹槽，所述端盖2的外壁在与所述凹槽相对的位置设有凸起，所述凸起与所述凹槽相配，卡接所述端盖2和所述固定件1；

14、或者，所述端盖2的外壁设置有外螺纹，所述固定件1的内壁设置有与所述外螺纹相配合的内螺纹，所述端盖2通过旋扭的方式与所述固定件1连接。

15、本申请还提供一种膜厚监控仪，包括：

16、前述任一项所述的传感器；

17、振荡器，所述振荡器与所述晶振片3电性连接；

18、控制器，所述控制器与所述振荡器电性连接。

19、本申请还提供一种镀膜设备，还包括前述的膜厚监控仪；

20、其中，所述传感器设置在所述真空腔室内，所述振荡器和控制器设置在所述真空腔室外。

21、与现有技术相比，本申请通过在膜厚监控仪中添设弹性件4，并将该弹性件4设置在固定件1的内部，具体位置为端盖2与晶振片3之间，被压缩的弹性件4一端抵接端盖2，另一端抵接晶振片3，可以防止晶振片3在与端盖2之间的间隙空间内晃动又不会严重干扰，或不利地影响，或存在可以接受的误差或可忽略的误差的干扰晶振片3的正常起振，从而确保监控检测数据正常。

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【技术保护点】

1.一种传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述端盖(2)包括柱体(22)和端帽(21)，所述柱体(22)与所述端帽(21)连接，所述柱体(22)在所述端帽(21)表面的投影区域在所述端帽(21)周缘内。

3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述柱体(22)插入所述第一窗口(11)并被所述固定件(1)包裹，所述端帽(21)被所述第一窗口(11)限制在所述固定件(1)外。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述固定件(1)靠近所述第二窗口(12)的一端设有向内延伸的边沿，所述边沿卡接所述晶振片(3)，所述晶振片(3)通过所述第二窗口(12)露出部分表面。

5.根据权利要求4所述的传感器，其特征在于，所述弹性件(4)采用弹簧。

6.根据权利要求1或5所述的传感器，其特征在于，所述弹性件(4)的数量为一个以上。

7.根据权利要求6所述的传感器，其特征在于，所述弹性件(4)处于压缩状态。

8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述固定件(1)在靠近所述第一窗口(11)的内壁设有凹槽，所述端盖(2)的外壁在与所述凹槽相对的位置设有凸起，所述凸起与所述凹槽相配，卡接所述端盖(2)和所述固定件(1)；

9.一种膜厚监控仪，其特征在于，包括：

10.一种镀膜设备，具有真空腔室，其特征在于，镀膜设备还包括权利要求9所述的膜厚监控仪；

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【技术特征摘要】

1.一种传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述端盖(2)包括柱体(22)和端帽(21)，所述柱体(22)与所述端帽(21)连接，所述柱体(22)在所述端帽(21)表面的投影区域在所述端帽(21)周缘内。

3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述柱体(22)插入所述第一窗口(11)并被所述固定件(1)包裹，所述端帽(21)被所述第一窗口(11)限制在所述固定件(1)外。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述固定件(1)靠近所述第二窗口(12)的一端设有向内延伸的边沿，所述边沿卡接所述晶振片(3)，所述晶振片(3)通过所述第二窗口(12)露出部分表面。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，张辉，
申请(专利权)人：本源量子计算科技合肥股份有限公司，
类型：新型
国别省市：