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本申请公开了一种传感器、膜厚监控仪及镀膜设备，属于镀膜设备改造技术领域。一种传感器，包括：固定件，有相对设置并且直通的第一窗口和第二窗口；端盖，通过至少部分插入所述第一窗口的方式与所述固定件连接；晶振片，被所述第二窗口和所述端盖限制在所述固...
该专利属于本源量子计算科技（合肥）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过本源量子计算科技（合肥）股份有限公司授权不得商用。

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