【技术实现步骤摘要】
本说明书涉及真空镀膜，尤其涉及一种高信噪比光学膜厚控制装置。
技术介绍
1、光学膜厚控制仪可用于光学真空镀膜系统，包括但不限于蒸发镀膜系统、溅射镀膜系统。通过实时测量光学信号的变化得以监控薄膜的实时厚度，达到高精度优重复性的镀膜效果。
2、常用的光学膜厚控制仪中，入光光纤与出光光纤在真空腔体内与监控片的光路耦合直接影响到膜厚信号的信噪比。已知的耦合方式主要为直接耦合，即入光光纤和出光光纤直接放置在监控片的上方。但这种方式的问题在于，仅有光纤数值孔径所限的少量角度范围内的光量才能经过监控片的反射到达出光光纤，如图5所示，与光纤方向平行的大部分光量未能有效收集。
技术实现思路
1、鉴于现有技术的不足，本说明书的一个目的是提供一种高信噪比光学膜厚控制装置，能有效增加进入到出光光纤的光量，以提高光学膜厚控制装置的信噪比。
2、为达到上述目的，本说明书实施方式提供一种高信噪比光学膜厚控制装置，包括：依次设置的光源、传输光纤、分光计、光电信号转换模块和电信号处理模块；所述高信噪比光学膜厚控制装置用于控制真空腔内的监控片表面膜层的光学膜厚，所述传输光纤和所述监控片之间设有透镜模块；所述传输光纤包括入光光纤和出光光纤，所述光源的光依次通过所述入光光纤、透镜模块传播至所述监控片，从所述监控片反射的光依次通过所述透镜模块、出光光纤传播至所述分光计；所述分光计具有受光单元，所述分光计用于输出与所述受光单元接收到由所述监控片反射的光时的受光强度相对应的模拟信号；所述光电信号转换模块
3、作为一种优选的实施方式，所述监控片设置于所述透镜模块的焦点处。
4、作为一种优选的实施方式，所述透镜模块的焦点与所述监控片的表面膜层位于同一平面内。
5、作为一种优选的实施方式，所述透镜模块包括一个双凸透镜。
6、作为一种优选的实施方式，所述双凸透镜的一个凸面面对所述传输光纤，另一个凸面面对所述监控片。
7、作为一种优选的实施方式，所述透镜模块包括两个平凸透镜。
8、作为一种优选的实施方式，两个所述平凸透镜的凸面相面对，其中一个所述平凸透镜的平面面对所述传输光纤，另一个所述平凸透镜的平面面对所述监控片。
9、作为一种优选的实施方式，所述传输光纤的光纤束整体配置为圆形。
10、作为一种优选的实施方式，所述圆形光纤束的一半位置设置多个所述入光光纤，另一半位置设置多个所述出光光纤。
11、作为一种优选的实施方式，所述入光光纤整体大致呈半圆形，所述出光光纤整体大致呈半圆形。
12、有益效果：
13、本实施方式所提供的高信噪比光学膜厚控制装置，通过改善传输光纤与监控片之间的耦合方式，在传输光纤与监控片之间增设透镜模块，以增加出光光纤与入光光纤之间的耦合效率，能有效增加进入到出光光纤的光量，进而提高光学膜厚控制装置的信噪比，以获得更高信噪比的光学膜厚信号。
14、参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。
15、针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。
16、应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。
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1.一种高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，包括：依次设置的光源、传输光纤、分光计、光电信号转换模块和电信号处理模块；
2.根据权利要求1所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述监控片设置于所述透镜模块的焦点处。
3.根据权利要求2所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述透镜模块的焦点与所述监控片的表面膜层位于同一平面内。
4.根据权利要求1所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述透镜模块包括一个双凸透镜。
5.根据权利要求4所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述双凸透镜的一个凸面面对所述传输光纤，另一个凸面面对所述监控片。
6.根据权利要求1所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述透镜模块包括两个平凸透镜。
7.根据权利要求6所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，两个所述平凸透镜的凸面相面对，其中一个所述平凸透镜的平面面对所述传输光纤，另一个所述平凸透镜的平面面对所述监控片。
8.根据权利要求1所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述传输
9.根据权利要求8所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述圆形光纤束的一半位置设置多个所述入光光纤，另一半位置设置多个所述出光光纤。
10.根据权利要求9所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述入光光纤整体大致呈半圆形，所述出光光纤整体大致呈半圆形。
...【技术特征摘要】
1.一种高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，包括：依次设置的光源、传输光纤、分光计、光电信号转换模块和电信号处理模块；
2.根据权利要求1所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述监控片设置于所述透镜模块的焦点处。
3.根据权利要求2所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述透镜模块的焦点与所述监控片的表面膜层位于同一平面内。
4.根据权利要求1所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述透镜模块包括一个双凸透镜。
5.根据权利要求4所述的高信噪比光学膜厚控制装置，其特征在于，所述双凸透镜的一个凸面面对所述传输光纤，另一个凸面面对所述监控片。
6.根据权利要求1所述的高信噪...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑炳蔚，姜友松，顾康鑫，王怀民，
申请(专利权)人：安徽其芒光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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