【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及废气处理，尤其涉及一种废气处理装置及方法。
技术介绍
1、在半导体生产过程中，在高温下利用氢气或其他反应气体与挥发性强的硅源发生反应或热解。而为了提高对硅源的利用率，通常会往封闭反应室中通入高纯反应气体，从而使得反应后会产生大量的反应废气排放，而反应废气需进行完全处理，以避免对环境和人员造成危害。
2、目前通常利用燃烧式废气处理装置对排放的废气进行燃烧处理，其中助燃气体主要为压缩空气。但现有的废气处理装置在处理废气时，空气助燃流量不稳定，导致无法完全处理排放的反应废气。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决相关技术中存在的问题之一。为此，本专利技术提出一种废气处理方法，能够将废气完全处理的助燃气和废气进行燃烧，确保废气与助燃气完全燃烧，从而避免了将废气排放至空气中，而对环境和人员造成危害，并确保助燃风机所输出的助燃气流量能够达到要求，以保证处理效率。
2、本专利技术还提供一种废气处理装置。
3、根据本专利技术第一方面实施例提供的废气处理...
【技术保护点】
1.一种废气处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的废气处理方法，其特征在于，所述根据所述废气进气流量，确定需要输入所述废气处理装置的助燃气流量的步骤，包括：
3.根据权利要求1或2所述的废气处理方法，其特征在于，在所述根据所述工作频率控制所述助燃风机工作，以使所述废气处理装置可对废气进行处理的步骤之后，还包括：
4.根据权利要求3所述的废气处理方法，其特征在于，所述确定所述出气口处的气体存在废气的步骤，包括：
5.根据权利要求1或2所述的废气处理方法，其特征在于，在所述获取废气处理装置的废气进气流...
【技术特征摘要】
1.一种废气处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的废气处理方法，其特征在于，所述根据所述废气进气流量，确定需要输入所述废气处理装置的助燃气流量的步骤，包括：
3.根据权利要求1或2所述的废气处理方法，其特征在于，在所述根据所述工作频率控制所述助燃风机工作，以使所述废气处理装置可对废气进行处理的步骤之后，还包括：
4.根据权利要求3所述的废气处理方法，其特征在于，所述确定所述出气口处的气体存在废气的步骤，包括：
5.根据权利要求1或2所述的废气处理方法，其特征在于，在所述获取废气处理装置的废气进气流量的步骤之前，还包括
6.一种废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置用于执行权利要求1至5中任意一项所述的废气处理方法，所述废气处理装...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨春涛，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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