【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及废气处理，尤其涉及一种废气处理装置及方法。
技术介绍
1、在半导体生产过程中，在高温下利用氢气或其他反应气体与挥发性强的硅源发生反应或热解。而为了提高对硅源的利用率，通常会往封闭反应室中通入高纯反应气体，从而使得反应后会产生大量的反应废气排放，而反应废气需进行完全处理，以避免对环境和人员造成危害。
2、目前通常利用燃烧式废气处理装置对排放的废气进行燃烧处理，其中助燃气体主要为压缩空气。但现有的废气处理装置在处理废气时，空气助燃流量不稳定，导致无法完全处理排放的反应废气。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决相关技术中存在的问题之一。为此，本专利技术提出一种废气处理方法，能够将废气完全处理的助燃气和废气进行燃烧，确保废气与助燃气完全燃烧，从而避免了将废气排放至空气中，而对环境和人员造成危害，并确保助燃风机所输出的助燃气流量能够达到要求，以保证处理效率。
2、本专利技术还提供一种废气处理装置。
3、根据本专利技术第一方面实施例提供的废气处理方法，包括以下步骤：
4、获取废气处理装置的废气进气流量；
5、根据所述废气进气流量，确定需要输入所述废气处理装置的助燃气流量；
6、根据所述助燃气流量确定助燃风机的工作频率；
7、根据所述工作频率控制所述助燃风机工作，以使所述废气处理装置可对废气进行处理。
8、根据本专利技术实施例提供的一种废气处理方法，所述根据所述废气进气流量，确定需
9、根据所述废气的种类和所述助燃气的种类，确定所述助燃气和所述废气之间的燃烧比例；
10、根据所述燃烧比例以及所述废气进气流量，确定所述助燃气流量。
11、根据本专利技术实施例提供的一种废气处理方法，在所述根据所述工作频率控制所述助燃风机工作，以使所述废气处理装置可对废气进行处理的步骤之后，还包括：
12、获取气体检测计的检测数据，其中所述气体检测计用于检测所述废气处理装置的出气口处的气体参数；
13、基于所述气体检测计的检测数据，确定所述出气口处的气体是否存在废气；
14、确定所述出气口处的气体存在废气，并控制将所述出气口处的气体输送至所述废气处理装置。
15、根据本专利技术实施例提供的一种废气处理方法，所述确定所述出气口处的气体存在废气的步骤，包括：
16、确定所述出气口处的气体中的废气浓度，并确定所述出气口处的气体中的助燃气浓度；
17、基于所述废气浓度，控制调整所述助燃风机的工作频率。
18、根据本专利技术实施例提供的一种废气处理方法，在所述获取废气处理装置的废气进气流量的步骤之前，还包括
19、获取输入所述废气处理装置的进气管路内的气体温度；
20、将所述气体温度与预设回火温度进行对比，确定是否存在回火风险；
21、和/或，获取在预设时长内所述进气管路中的废气温度变化值；
22、将所述废气温度变化值与预设温度变化值进行对比，确定是否存在回火风险；
23、确定存在回火风险，向废气输送管路输送稀释气体，以获得稀释废气，并将所述稀释废气通过排气管路排出。
24、根据本专利技术第二方面实施例提供的废气处理装置，所述废气处理装置用于执行上述任意一项所述的废气处理方法，所述废气处理装置包括：
25、废气处理组件，形成有废气处理腔；
26、废气输送组件，所述废气输送组件的出气口与所述废气处理腔通断连接；
27、助燃气输送组件，所述助燃气输送组件的出气口与所述废气处理腔通断连接，所述助燃气输送组件用于向所述废气处理组件输送助燃气；所述废气输送组件设置有第一流量计，所述第一流量计用于检测经所述废气输送组件输送至所述废气处理组件的废气流量；
28、控制系统，所述废气输送组件、所述助燃气输送组件和所述废气处理组件均与所述控制系统连接，其中，所述控制系统被配置为：根据所述第一流量计的检测数据，控制所述助燃气输送组件的工作。
29、根据本专利技术实施例提供的一种废气处理装置，所述废气处理组件包括进气管路和反应腔，所述进气管路和所述反应腔连通，所述进气管路设置有第一进气孔和第二进气孔，所述第一进气孔与所述废气输送组件的出气口通断连接，所述第二进气孔与所述助燃气输送组件的出气口通断连接。
30、根据本专利技术实施例提供的一种废气处理装置，所述进气管路设置有温度检测计，所述温度检测计与所述控制系统连接，所述温度检测计用于检测所述进气管路内的气体温度。
31、根据本专利技术实施例提供的一种废气处理装置，还包括：
32、稀释管路，所述稀释管路的进气口适于与稀释源连通，所述稀释管路的出气口与所述废气输送组件通断连接；
33、排气管路，所述排气管路的进气口与所述废气输送组件通断连接。
34、根据本专利技术实施例提供的一种废气处理装置，所述废气处理组件还包括回流管路，所述回流管路的进气口与所述反应腔的出气口通断连接，所述回流管路的出气口与所述进气管路通断连接；
35、所述反应腔的出气口设置有气体检测计，所述气体检测计与所述控制系统连接，所述气体检测计用于检测所述反应腔排出的气体参数。
36、本专利技术实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：
37、根据本专利技术实施例提供的废气处理方法，通过获取废气处理装置的废气进气流量，控制系统通过废气进气流量数据，计算后确定能够将废气完全处理时，废气处理装置所需要的助燃气流量数据。随后控制系统根据所确定的助燃气流量数据确定助燃风机的工作频率，并控制助燃风机按所确定的工作频率进行运转，以实现将对应流量的助燃气输送至废气处理装置中，进而通过能够将废气完全处理的助燃气和废气进行燃烧，确保废气与助燃气完全燃烧，从而避免了将废气排放至空气中，而对环境和人员造成危害。
38、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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1.一种废气处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的废气处理方法，其特征在于，所述根据所述废气进气流量，确定需要输入所述废气处理装置的助燃气流量的步骤，包括：
3.根据权利要求1或2所述的废气处理方法，其特征在于，在所述根据所述工作频率控制所述助燃风机工作，以使所述废气处理装置可对废气进行处理的步骤之后，还包括：
4.根据权利要求3所述的废气处理方法，其特征在于，所述确定所述出气口处的气体存在废气的步骤，包括：
5.根据权利要求1或2所述的废气处理方法，其特征在于，在所述获取废气处理装置的废气进气流量的步骤之前，还包括
6.一种废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置用于执行权利要求1至5中任意一项所述的废气处理方法，所述废气处理装置包括：
7.根据权利要求6所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理组件包括进气管路和反应腔，所述进气管路和所述反应腔连通，所述进气管路设置有第一进气孔和第二进气孔，所述第一进气孔与所述废气输送组件的出气口通断连接，所述第二进气孔与所述助燃气输送组件的出
8.根据权利要求7所述的废气处理装置，其特征在于，所述进气管路设置有温度检测计，所述温度检测计与所述控制系统连接，所述温度检测计用于检测所述进气管路内的气体温度。
9.根据权利要求8所述的废气处理装置，其特征在于，还包括：
10.根据权利要求7所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理组件还包括回流管路，所述回流管路的进气口与所述反应腔的出气口通断连接，所述回流管路的出气口与所述进气管路通断连接；
...【技术特征摘要】
1.一种废气处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的废气处理方法，其特征在于，所述根据所述废气进气流量，确定需要输入所述废气处理装置的助燃气流量的步骤，包括：
3.根据权利要求1或2所述的废气处理方法，其特征在于，在所述根据所述工作频率控制所述助燃风机工作，以使所述废气处理装置可对废气进行处理的步骤之后，还包括：
4.根据权利要求3所述的废气处理方法，其特征在于，所述确定所述出气口处的气体存在废气的步骤，包括：
5.根据权利要求1或2所述的废气处理方法，其特征在于，在所述获取废气处理装置的废气进气流量的步骤之前，还包括
6.一种废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置用于执行权利要求1至5中任意一项所述的废气处理方法，所述废气处理装...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨春涛，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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