一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪制造技术

技术编号:40324968 阅读:20 留言:0更新日期:2024-02-09 14:19
本技术属于炉温测试仪技术领域,尤其为一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,包括炉壁本体,所述炉壁本体的内壁固定连接有安装座,所述安装座内设置有多位置温度便捷检测机构;防护箱通过限位板滑动卡接在防护壳体的内壁一侧,拆装组件设置在防护箱上,进而通过启动气缸可在推板的作用下,带动防护箱在防护壳体的内部进行横向的运动,因此将炉温测试仪放置在防护箱内部,使得炉温测试仪可便捷地对横向的不同位置进行实时的检测,使得检测的范围更佳的全面,通过防护盖板,可对炉温测试仪形成第一层的防护,而将炉温测试仪放置在防护箱内后,通过盖板卡接完成后,通过导热棒的导热,使得炉温测试仪的检测精度更佳。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于炉温测试仪,具体涉及一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪


技术介绍

1、在进行真空镀膜时需要使用到炉温测试仪,炉温跟踪仪以随量测物进入炉内的测温方式,精确快速取得并记录监控炉内温度变化情形,使用者可藉由量测数据、调整、监控炉内各区间温度,进而达到炉子温度环境的最佳控制;在中国专利cn218955936u中公开了一种炉温测试仪,其通过设置电机、齿轮、齿板、滑槽和滑槽使得齿板可以在齿轮的带动下上下运动,从而实现升降的作用,这样方便了操作人员在实际使用中测量炉内不同高度以及多个部位的温度,增强了装置的实用性;

2、从上述可知,在通过炉温测试仪对炉温进行温度检测时,其通过齿轮的转动可带动炉温测试仪测量炉内不同高度以及多个部位的温度,增强了装置的实用性,而该方案不足之处在于,对于炉内的温度测试,只能对不同高度的温度进行测试,而对于每层高度的横向的不同位置无法进行检测,因此当真空镀膜机运转时,无法对炉内周边的温度进行便捷的检测,从而导致检测的数据不够全面。

3、为解决上述问题,本申请中提出一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪。

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,包括炉壁本体(1),所述炉壁本体(1)的内壁固定连接有安装座(2),其特征在于:所述安装座(2)内设置有多位置温度便捷检测机构(3);

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,其特征在于:所述调节组件(35)包括防护壳体(351)、气缸(352)、推板(353)和防护箱(354),所述防护壳体(351)固定连接在所述安装侧板(34)的另一侧,所述气缸(352)安装在所述防护壳体(351)的内壁一端,所述推板(353)的一侧与所述气缸(352)的输出端固定连接,所述防护箱(354)的外壁一侧与所述推板(353)的另一侧固定...

【技术特征摘要】

1.一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,包括炉壁本体(1),所述炉壁本体(1)的内壁固定连接有安装座(2),其特征在于:所述安装座(2)内设置有多位置温度便捷检测机构(3);

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,其特征在于:所述调节组件(35)包括防护壳体(351)、气缸(352)、推板(353)和防护箱(354),所述防护壳体(351)固定连接在所述安装侧板(34)的另一侧,所述气缸(352)安装在所述防护壳体(351)的内壁一端,所述推板(353)的一侧与所述气缸(352)的输出端固定连接,所述防护箱(354)的外壁一侧与所述推板(353)的另一侧固定连接,且所述防护箱(354)的外壁两侧固定连接有限位板(3541),所述防护箱(354)通过所述限位板(3541)滑动卡接在所述防护壳体(351)的内壁一侧,所述拆装组件(36)设置在所述防护箱(354)上。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,其特征在于:所述拆装组件(36)包括防护盖板(361)...

【专利技术属性】
技术研发人员:葛荣胜渠美龙
申请(专利权)人:苏州瑞斯密电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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