【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻类设备，特别涉及一种防污染装置、防污染方法及光刻设备。
技术介绍
1、作为光刻类设备的核心组件，物镜直接决定着产品的成像质量。在光刻类设备工作时，光从投影物镜的顶部入射，经物镜组调节后对待测产品进行曝光处理。但是物镜所处的环境造成其容易受到污染物污染，降低整个物镜组的光透过率，降低成像效果，进而影响被曝光的产品质量。
2、现有技术通过改变流体的流速，流道形状，大小以及出气方向，使高速进气流均匀分布在物镜表面，形成气帘，来阻止污染物接触物镜。同时使用可替换的保护玻璃，与气帘结合形成双重保护。
3、但是气帘与保护玻璃结合后将在保护玻璃和物镜之间形成封闭空间，而固定保护玻璃所使用的可持续挥发的点胶可能会引起物镜、保护玻璃等光学器件不可逆的污染，进而引起物镜镀膜表面破坏，导致光学性能下降。但现有的气帘设计并未考虑到此问题，因此目前并无任何解决办法。
4、因此，有必要提供一种能够防止物镜表面污染的装置。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种防污染装置、防污染方法及光刻设备，以防止物镜表面污染。
2、为了实现上述目的以及其他相关目的，本专利技术提供了一种防污染装置，包括主体结构，所述主体结构内配置有封闭空间进气口，物镜与保护玻璃之间形成的封闭空间和所述封闭空间进气口连通，所述封闭空间进气口用于将洁净气体输送至所述封闭空间中，以在所述封闭空间中形成空气保护层。
3、可选的，在所述的防污染装置中，所述主体结构内
4、可选的，在所述的防污染装置中，所述封闭空间进气口设置在所述总进气口为基准的逆时针方向上，以避免发生安装干涉。
5、可选的，在所述的防污染装置中，所述内侧循环流道和/或外侧循环流道上设置有至少一个清粉孔，用于清除循环流道上存在的污染物。
6、可选的，在所述的防污染装置中，所述总进气口的方向与所述物镜的光轴方向垂直。
7、可选的，在所述的防污染装置中，所述防污染装置还包括与所述主体结构连接的辅助结构，所述辅助结构设置在所述保护玻璃远离所述物镜的一侧，所述辅助结构上设置有根据视场加工成的通光窗口，且所述通光窗口作为所述防污染装置的总出气口，所述内侧循环流道上设置有若干非均匀分布的出气孔，所述内侧循环流道内的气体经所述内侧循环流道上的出气孔输送至所述保护玻璃远离物镜一侧的表面，并通过所述保护玻璃远离物镜一侧的表面反流至所述总出气口。
8、可选的，在所述的防污染装置中，所述防污染装置还包括气流匀化板，所述气体匀化板设置在靠近所述内侧循环流道的出气孔的位置，所述内侧循环流道的出气孔输出的气体被所述气流匀化板匀化处理。
9、可选的，在所述的防污染装置中，所述防污染装置还包括气流导流板和气流挡板，所述气流导流板与所述气流挡板之间存在间隙，所述气流匀化板匀化处理后的气体经所述间隙输送至所述保护玻璃远离物镜一侧的表面。
10、可选的，在所述的防污染装置中，所述防污染装置还包括保护玻璃支架，所述保护玻璃通过所述保护玻璃支架固定于所述主体结构上，且所述保护玻璃与所述物镜相对设置用于保护所述物镜，所述防污染装置还包括封闭空间出气口，所述封闭空间出气口从所述保护玻璃支架的上表面贯穿至底部，所述封闭空间中的气体经所述封闭空间出气口输送至所述总出气口。
11、可选的，在所述的防污染装置中，所述主体结构内还设置有出口导流槽，所述封闭空间出气口与所述出口导流槽连通，所述封闭空间中的气体依次经所述封闭空间出气口和所述出口导流槽输送至所述保护玻璃远离物镜一侧的表面，并通过所述保护玻璃远离物镜一侧的表面反流至所述总出气口。
12、可选的，在所述的防污染装置中，所述出口导流槽的导流角度为10°～30°。
13、可选的，在所述的防污染装置中，所述封闭空间进气口被配置为导流结构，所述洁净气体被所述导流结构导流至所述封闭空间中。
14、为了实现上述目的以及其他相关目的，本专利技术还提供了一种防污染方法，包括以下步骤：
15、将保护玻璃和物镜分别固定在上述所述的防污染装置上，所述保护玻璃和物镜之间形成封闭空间，且所述防污染装置与所述封闭空间连通；
16、向所述防污染装置中通入洁净气体，以在所述封闭空间中形成空气保护层。
17、为了实现上述目的以及其他相关目的，本专利技术还提供了一种光刻设备，包括：物镜、保护玻璃、上述所述的防污染装置以及固定座，所述物镜安装在固定座上，所述固定座和保护玻璃安装在所述防污染装置的主体结构上，且所述保护玻璃与所述物镜相对设置。
18、与现有技术相比，本专利技术的技术方案具有以下有益效果：
19、本专利技术通过主体结构内配置的封闭空间进气口与所述封闭空间连通，为保护玻璃和物镜之间的封闭空间增加一路吹扫气路，能够快速排出挥发性的污染物颗粒，同时物镜表面也会产生过压向下的空气保护层，可以防止上升挥发的污染物接触物镜表面，避免污染物长时间挥发影响物镜的洁净度，也可以有效降低侧向扰动造成的影响，维持系统高光学特性，提高产品生产效率与良率。
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1.一种防污染装置，其特征在于，所述防污染装置包括主体结构，所述主体结构内配置有封闭空间进气口，物镜与保护玻璃之间形成的封闭空间和所述封闭空间进气口连通，所述封闭空间进气口用于将洁净气体输送至所述封闭空间中，以在所述封闭空间中形成空气保护层。
2.如权利要求1所述的防污染装置，其特征在于，所述主体结构内还配置有从外向内依次设置的总进气口、外侧循环流道和内侧循环流道，且在所述外侧循环流道内侧配置有若干非均匀分布的出气孔以用于连通所述外侧循环流道和所述内侧循环流道，所述封闭空间进气口与所述内侧循环流道连通，所述总进气口输出的气体依次经所述外侧循环流道、所述内侧循环流道和所述封闭空间进气口输送至所述封闭空间中。
3.如权利要求2所述的防污染装置，其特征在于，所述封闭空间进气口设置在所述总进气口为基准的逆时针方向上，以避免发生安装干涉。
4.如权利要求2所述的防污染装置，其特征在于，所述内侧循环流道和/或外侧循环流道上设置有至少一个清粉孔，用于清除循环流道上存在的污染物。
5.如权利要求2所述的防污染装置，其特征在于，所述总进气口的方向与所
6.如权利要求2所述的防污染装置，其特征在于，所述防污染装置还包括与所述主体结构连接的辅助结构，所述辅助结构设置在所述保护玻璃远离所述物镜的一侧，所述辅助结构上设置有根据视场加工成的通光窗口，且所述通光窗口作为所述防污染装置的总出气口，所述内侧循环流道上设置有若干非均匀分布的出气孔，所述内侧循环流道内的气体经所述内侧循环流道上的出气孔输送至所述保护玻璃远离物镜一侧的表面，并通过所述保护玻璃远离物镜一侧的表面反流至所述总出气口。
7.如权利要求6所述的防污染装置，其特征在于，所述防污染装置还包括气流匀化板，所述气体匀化板设置在靠近所述内侧循环流道的出气孔的位置，所述内侧循环流道的出气孔输出的气体被所述气流匀化板匀化处理。
8.如权利要求7所述的防污染装置，其特征在于，所述防污染装置还包括气流导流板和气流挡板，所述气流导流板与所述气流挡板之间存在间隙，所述气流匀化板匀化处理后的气体经所述间隙输送至所述保护玻璃远离物镜一侧的表面。
9.如权利要求6所述的防污染装置，其特征在于，所述防污染装置还包括保护玻璃支架，所述保护玻璃通过所述保护玻璃支架固定于所述主体结构上，且所述保护玻璃与所述物镜相对设置用于保护所述物镜，所述防污染装置还包括封闭空间出气口，所述封闭空间出气口从所述保护玻璃支架的上表面贯穿至底部，所述封闭空间中的气体经所述封闭空间出气口输送至所述总出气口。
10.如权利要求9所述的防污染装置，其特征在于，所述主体结构内还设置有出口导流槽，所述封闭空间出气口与所述出口导流槽连通，所述封闭空间中的气体依次经所述封闭空间出气口和所述出口导流槽输送至所述保护玻璃远离物镜一侧的表面，并通过所述保护玻璃远离物镜一侧的表面反流至所述总出气口。
11.权利要求10所述的防污染装置，其特征在于，所述出口导流槽的导流角度为10°～30°。
12.如权利要求1所述的防污染装置，其特征在于，所述封闭空间进气口被配置为导流结构，所述洁净气体被所述导流结构导流至所述封闭空间中。
13.一种防污染方法，其特征在于，包括以下步骤：
14.一种光刻设备，其特征在于，包括：物镜、保护玻璃、权利要求1～12中任一项所述的防污染装置以及固定座，所述物镜安装在固定座上，所述固定座和保护玻璃安装在所述防污染装置的主体结构上，且所述保护玻璃与所述物镜相对设置。
...【技术特征摘要】
1.一种防污染装置，其特征在于，所述防污染装置包括主体结构，所述主体结构内配置有封闭空间进气口，物镜与保护玻璃之间形成的封闭空间和所述封闭空间进气口连通，所述封闭空间进气口用于将洁净气体输送至所述封闭空间中，以在所述封闭空间中形成空气保护层。
2.如权利要求1所述的防污染装置，其特征在于，所述主体结构内还配置有从外向内依次设置的总进气口、外侧循环流道和内侧循环流道，且在所述外侧循环流道内侧配置有若干非均匀分布的出气孔以用于连通所述外侧循环流道和所述内侧循环流道，所述封闭空间进气口与所述内侧循环流道连通，所述总进气口输出的气体依次经所述外侧循环流道、所述内侧循环流道和所述封闭空间进气口输送至所述封闭空间中。
3.如权利要求2所述的防污染装置，其特征在于，所述封闭空间进气口设置在所述总进气口为基准的逆时针方向上，以避免发生安装干涉。
4.如权利要求2所述的防污染装置，其特征在于，所述内侧循环流道和/或外侧循环流道上设置有至少一个清粉孔，用于清除循环流道上存在的污染物。
5.如权利要求2所述的防污染装置，其特征在于，所述总进气口的方向与所述物镜的光轴方向垂直。
6.如权利要求2所述的防污染装置，其特征在于，所述防污染装置还包括与所述主体结构连接的辅助结构，所述辅助结构设置在所述保护玻璃远离所述物镜的一侧，所述辅助结构上设置有根据视场加工成的通光窗口，且所述通光窗口作为所述防污染装置的总出气口，所述内侧循环流道上设置有若干非均匀分布的出气孔，所述内侧循环流道内的气体经所述内侧循环流道上的出气孔输送至所述保护玻璃远离物镜一侧的表面，并通过所述保护玻璃远离物镜一侧的表面反流至所述总出气口。
7.如权利要求6所述的防污染装置，其特征在于，所述防污染装置还包...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪国，湛宾洲，王成，杨若霁，李运锋，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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