【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶硅还原炉,特别涉及一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉。
技术介绍
1、多晶硅还原炉是多晶硅生产中产出最终产品的核心设备,也是决定系统产能、能耗的关键环节,因此,多晶硅还原炉的设计和制造,直接影响到产品的质量、产量和生产成本。
2、经检索,中国专利公开(公告)号cn215161050u公开了一种多晶硅还原炉的尾气出口,伸出的冷却夹套管以及顶部半圆孔的设置提高了冷却水的出口与改变了出口方向,强制影响了尾气出口管处夹套内冷却水流场的分布。
3、上述专利虽然使多晶硅还原炉的尾气排放更加顺畅,但是现有的多数多晶硅还原炉尾气简单过滤后直接排入大气中,不仅会污染大气环境,多晶硅还原炉尾气中的热量不能加以利用,造成资源的浪费严重,因此需要设计一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:
3、一
...【技术保护点】
1.一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的内壁开设有空腔(2),所述空腔(2)的内顶壁固定连接有蛇形管(3),所述蛇形管(3)外表面的一侧固定连接有第一电磁阀(4),所述蛇形管(3)的一端固定连接有水箱(5);
2.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述炉体(1)的下表面活动连接有基座(11),所述基座(11)的下表面固定连接有底板(12)。
3.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述水箱(5)内侧面的顶部开设有卡槽(13),所述卡槽(13)
...【技术特征摘要】
1.一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,包括炉体(1),其特征在于:所述炉体(1)的内壁开设有空腔(2),所述空腔(2)的内顶壁固定连接有蛇形管(3),所述蛇形管(3)外表面的一侧固定连接有第一电磁阀(4),所述蛇形管(3)的一端固定连接有水箱(5);
2.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述炉体(1)的下表面活动连接有基座(11),所述基座(11)的下表面固定连接有底板(12)。
3.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述水箱(5)内侧面的顶部开设有卡槽(13),所述卡槽(13)的内部卡接有橡胶板(14),所述橡胶板(14)的内侧面固定连接有吸附板(15)。
4.根据权利要求1所述的一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,其特征在于:所述水箱...
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