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一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉制造技术
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文档序号:40323686
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本技术公开了一种带尾气冷却机构的多晶硅还原炉,包括炉体,所述炉体的内壁开设有空腔,所述空腔的内顶壁固定连接有蛇形管,所述蛇形管外表面的一侧固定连接有第一电磁阀。该带尾气冷却机构的多品晶硅还原炉,通过蛇形管、水箱、连接管和水泵的设置,蛇形管将...
该专利属于赵成贝所有,仅供学习研究参考,未经过赵成贝授权不得商用。
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