【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光伏制造，尤其涉及一种真空腔内回传载板的磁控溅射镀膜连续线。
技术介绍
1、目前光伏行业的磁控溅射镀膜连续线，载板进入连续线的腔室内进行加工。载板出腔后通过传输机构回传至进片腔上下料，实现循环生产。其存在的缺点有：
2、1、回传载板的过程中，载板处于室内环境中，易吸附大量水气，影响镀膜时真空环境的稳定；
3、2、载板在室内环境中回传容易受粉尘污染；
4、3、镀膜后如果需要退火处理则需延长产线配置相关退火设备，产线进一步加长使得占地面积增大，增加使用成本。
技术实现思路
1、为了解决相关技术中的问题，本申请提供了一种真空腔内回传载板的磁控溅射镀膜连续线通过将载板在真空腔内回传，避免载板受到污染，有效提高了产品质量。
2、技术方案如下：
3、一种真空腔内回传载板的磁控溅射镀膜连续线，其包括进片腔、干燥腔、工艺腔、升降腔、回传腔和出片腔，其中：进片腔的进料端对接于前道；进片腔的出料端连接于干燥腔的进料端；干燥腔的出料端连接...
【技术保护点】
1.一种真空腔内回传载板的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述磁控溅射镀膜连续线包括进片腔、干燥腔、工艺腔、升降腔、回传腔和出片腔，其中：
2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述升降腔内部设有进料区、出料区、升降装置、同步带、驱动装置、安装板和滚轮组，其中：
3.根据权利要求2所述的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述升降腔还设有上限位垫和下限位垫，其中：
4.根据权利要求3所述的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述上限位垫与所述下限位垫的外侧包裹设有缓冲层。
5.根据权利要求2所述的磁控溅射镀膜连...
【技术特征摘要】
1.一种真空腔内回传载板的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述磁控溅射镀膜连续线包括进片腔、干燥腔、工艺腔、升降腔、回传腔和出片腔，其中：
2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述升降腔内部设有进料区、出料区、升降装置、同步带、驱动装置、安装板和滚轮组，其中：
3.根据权利要求2所述的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述升降腔还设有上限位垫和下限位垫，其中：
4.根据权利要求3所述的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述上限位垫与所述下限位垫的外侧包裹设有缓冲层。
5.根据权利要求2所述的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述升降装置包括密封法兰、气缸和顶杆，其中：
6.根据权利要求2所述的磁控溅射镀膜连续线，其特征在于，所述升降...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯华，聂文杰，李海生，
申请(专利权)人：无锡釜川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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