检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术的检查装置具备：测定用探测器(1)，其连接于被测定物(40)的端子垫片(40b)；测定用探测器(2)，其连接于与被测定物(40)的端子垫片(40b)导通的被测定物(40)的端子垫片(40c)；以及信号源(3)，其分别连接于测定用探测器(1)和测定用探测器(2)，并分别经由测定用探测器(1)和测定用探测器(2)能够对被测定物(40)写入或读入信号，不用将被测定物的测定区域设置得较宽，即使在异物堆积到一方的测定用探测器的情况下，也能够对被测定物外加来自信号源的信号，抑制接触不良。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本申请涉及检查装置。

技术介绍

1、在专利文献1中，在用于检查半导体装置的接触器中，公开了如下的半导体装置检查用接触器，其特征在于，由经由半导体装置的导线端子导通的成对的接触器电极来构成与半导体装置的导线端子接触的接触销。该半导体装置检查用接触器为：以与半导体装置的导线端子接触的接触部为弹簧针构造的接触部为对象，将内径的接触器电极和外径的接触器电极经由筒状的绝缘体排列成内外两层，将两个内外接触器电极由半导体装置的导线端子导通的状态判定为接触良好，并检测接触不良状态。

2、在专利文献2中公开了具备接触电阻的测定功能的带电测试仪。在具备配设于电源侧的电源引脚和配设于接地侧的接地引脚的带电测试仪中，在电源引脚或接地引脚中的至少任一方形成有相互分离配置的第一触点及第二触点，并且具备将第一触点与第二触点并联配设并且对配置于电源引脚与接地引脚之间的测定对象物的电阻进行测定的第一测定电路、将第一触点与第二触点串联配设并且对第一触点及第二触点与对象物的接触电阻进行测定的第二测定电路、以及选择由第一测定电路和第二测定电路中的哪个电路进行测定的切换单元。在测定对象本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种检查装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的检查装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

6.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的检查装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的检查装置，其特征在于，

10.根据权利要求8或9所述的检...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种检查装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的检查装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

...

【专利技术属性】
技术研发人员：武田匡史，深尾哲宏，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：