一种高精度MCS压力传感器及制作方法技术

本申请提供一种高精度MCS压力传感器及制作方法，其中，高精度MCS压力传感器，包括：压力传感器本体、挡圈、固定锁紧环、定位基座；所述压力传感器本体具有内腔，所述内腔套设于所述定位基座上，与所述定位基座顶面形成流体压力腔；所述压力传感器本体外部具有凸台，所述挡圈套设在所述压力传感器本体上部，放置在所述凸台上，通过所述固定锁紧环与所述定位基座固定；所述定位基座具有流体压力入孔，所述流体压力入孔与所述流体压力腔连通。本申请提供的高精度MCS压力传感器及制作方法及系统，能够克服压力传感器在工作时不受定位件或固定件的影响，使得压力传感器的迟滞、重复性、非线性等不受影响，同时也不会因安装误差而引入新的测量误差。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及压力传感器制造领域，尤其涉及一种高精度mcs压力传感器及制作方法。

技术介绍

1、压力及力的测量是一类重要的测量，测量压力的压力传感器主要应用在：监控、控制及物理量测量，并广泛应用于生活、工控、军工等诸多领域。

2、多金属融合系统（mcs，metals coalesce system），是通过两种或多种不同金属材料，整片通过不同融合材料和不同融合工艺 ，融合形成复合体，其中“融合”包涵“熔合”的含义 。经光刻，蚀刻，机械分割，精密机械加工后 ，达成不同数量压力传感器的系统工艺方法。

3、目前，为了提高压力传感器的精度与稳定性，存在在弹性基体上通过多金属熔合技术制作应变式压力传感器的金属复合体（mcs）的技术方案，实现高精度压力传感器的指量化生产。

4、而mcs压力传感器在使用过程中由于受到待测流体的压力，所以需要特定的机械固定件对压力传感器进行定位和限位，现有技术中，在加工压力传感器时，固定件直接和应变计所在表面接触，同时也和压力传感器膜片的微应变区域接触；这种方式会影响压力传感器接受压力和卸掉压力时产生的变形本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高精度MCS压力传感器，其特征在于，包括：压力传感器本体（1）、挡圈（2）、固定锁紧环（5）、定位基座（9）；

2.根据权利要求1所述的高精度MCS压力传感器，其特征在于，所述挡圈（2）的内径大于所述压力传感器本体（1）上部直径，所述挡圈（2）与所述压力传感器本体（1）上部侧壁具有间隙（7）。

3.根据权利要求1所述的高精度MCS压力传感器，其特征在于，所述定位基座（9）侧壁还具有凹槽，所述凹槽内套设有密封圈（3）。

4.根据权利要求3所述的高精度MCS压力传感器，其特征在于，所述凹槽内还套设有聚四氟挡圈（4），所述聚四氟挡圈（4）位于所述密封...

【技术特征摘要】

1.一种高精度mcs压力传感器，其特征在于，包括：压力传感器本体（1）、挡圈（2）、固定锁紧环（5）、定位基座（9）；

2.根据权利要求1所述的高精度mcs压力传感器，其特征在于，所述挡圈（2）的内径大于所述压力传感器本体（1）上部直径，所述挡圈（2）与所述压力传感器本体（1）上部侧壁具有间隙（7）。

3.根据权利要求1所述的高精度mcs压力传感器，其特征在于，所述定位基座（9）侧壁还具有凹槽，所述凹槽内套设有密封圈（3）。

4.根据权利要求3所述的高精度mcs压力传感器，其特征在于，所述凹槽内还套设有聚四氟挡圈（4），所述聚四氟挡圈（4）位于所述密封圈（3）远离所述流体压力腔（6）的一侧。

5.根据权利要求1所述的高精度mcs压力传感器，其特征在于，所述凸台（11）的厚度为0.1mm-2.0mm，深度为1mm-7mm。

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【专利技术属性】
技术研发人员：郭和平，石阳，唐显琴，谷永辉，
申请(专利权)人：西安中星测控有限公司，
类型：发明
国别省市：