【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及框架转运,尤其涉及一种固晶机用框架搬运设备。
技术介绍
1、固晶机就是把晶圆从蓝膜通过摆臂转移并贴合到基板上的设备,在工作时,由上料机构把pcb板传送到工作台卡具上的工作位置,先由点胶机构将pcb需要键合晶片的位置点胶,然后键合臂从原点位置运动到吸取晶片位置,晶片放置在薄膜支撑的扩张器晶片盘上,键合臂到位后吸嘴向下运动,顶针向上运动顶起晶片,在拾取晶片后键合臂返回原点位置,键合臂再从原点位置运动到键合位置,吸嘴向下键合晶片后键合臂再次返回原点位置即可。
2、现有技术在对框架进行搬运时,为了保证后续点胶处理时,能使胶质稳定粘在框架上,还需要人工辅助擦拭框架表面上灰尘杂质,但由于上料机构的转运速度较快,人工擦拭框架表面时,可能无法充分对框架表面进行灰尘擦拭处理,灰尘清理效果有待进一步提高。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决现有技术中人工擦拭框架表面速率低,效果差的问题,而提出的一种固晶机用框架搬运设备。
2、为了实现上述目的,本专利技术采用了如
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1.一种固晶机用框架搬运设备,包括搬运架(2),所述搬运架(2)上固定连接有驱动电机(3),所述搬运架(2)上转动连接有驱动带(301),所述驱动带(301)和驱动电机(3)驱动端相连,其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的一种固晶机用框架搬运设备,其特征在于,所述支撑板(7)上固定连接有储气罐(4),所述支撑板(7)上还固定连接有抽气泵(8),所述抽气泵(8)抽气端固定连接有抽气管(801),所述抽气管(801)远离抽气泵(8)的一端和所述负压腔(102)相连通,所述抽气泵(8)出气端固定连接有排气管(802),所述排气管(802)远离抽气泵(8
...【技术特征摘要】
1.一种固晶机用框架搬运设备,包括搬运架(2),所述搬运架(2)上固定连接有驱动电机(3),所述搬运架(2)上转动连接有驱动带(301),所述驱动带(301)和驱动电机(3)驱动端相连,其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的一种固晶机用框架搬运设备,其特征在于,所述支撑板(7)上固定连接有储气罐(4),所述支撑板(7)上还固定连接有抽气泵(8),所述抽气泵(8)抽气端固定连接有抽气管(801),所述抽气管(801)远离抽气泵(8)的一端和所述负压腔(102)相连通,所述抽气泵(8)出气端固定连接有排气管(802),所述排气管(802)远离抽气泵(8)的一端和所述储气罐(4)相连通。
3.根据权利要求2所述的一种固晶机用框架搬运设备,其特征在于,所述支撑板(7)上固定连接有驱动筒(6),所述驱动筒(6)中滑动连接有滑塞(602),所述驱动筒(6)侧壁上固定连接有输气管(606),所述输气管(606)远离驱动筒(6)的一端和所述储气罐(4)相连通,所述驱动筒(6)侧壁上还固定连接有喷气管(601),所述喷气管(601)出气端朝向所述吸盘(1)。
4.根据权利要求3所述的一种固晶机用框架搬...
【专利技术属性】
技术研发人员:李婷,杨军,钟志强,
申请(专利权)人:深圳平晨半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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