【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体石墨船，具体涉及一种半导体石墨船切换装置。
技术介绍
1、在半导体石墨船的加工的过程中，需要将石墨船传输到不同工序上料后加工处理，现有的石墨船传输装置需要人工切换两个石墨料仓，人工切换在时间上难以控制，生产效率低。
技术实现思路
1、本申请针对石墨船传输装置需要人工切换不同石墨仓的问题，提供一种半导体石墨船切换装置。
2、一种半导体石墨船切换装置，包括固定平面、基板、伸缩机构、滑动机构；
3、伸缩机构位于基板下方、固定平面上方，其一端与固定平面连接，另一端与基板连接；
4、基板上方设置有两个石墨料仓，两个石墨料仓沿伸缩机构的延伸方向相邻布置，两个石墨料仓用于放置半导体石墨船；
5、滑动机构包括滑动块，滑动块位于基板下方，滑动与基板传动连接。
6、可选的，所述伸缩机构为气缸，气缸包括缸体与活塞杆，所述缸体与基板连接，所述活塞杆通过第一连接件与固定平面连接。
7、可选的，所述滑动机构还包括与滑动块配合的滑轨...
【技术保护点】
1.一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，包括固定平面、基板（1）、伸缩机构、滑动机构；
2.根据权利要求1所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述伸缩机构为气缸（2），气缸（2）包括缸体（22）与活塞杆（21），所述缸体（22）与基板（1）连接，所述活塞杆（21）通过第一连接件与固定平面连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述滑动机构还包括与滑动块（31）配合的滑轨（32），滑轨（32）的轴向与伸缩机构的伸缩方向一致。
4.根据权利要求3所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述滑动...
【技术特征摘要】
1.一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，包括固定平面、基板（1）、伸缩机构、滑动机构；
2.根据权利要求1所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述伸缩机构为气缸（2），气缸（2）包括缸体（22）与活塞杆（21），所述缸体（22）与基板（1）连接，所述活塞杆（21）通过第一连接件与固定平面连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述滑动机构还包括与滑动块（31）配合的滑轨（32），滑轨（32）的轴向与伸缩机构的伸缩方向一致。
4.根据权利要求3所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述滑动机构为两个，两个滑动机构分别位于伸缩机构的两侧。
5.根据权利要求4所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，两个石墨料仓（4）之间设置有两个隔块（43），两个隔块（43）位于基板（1）的两侧，相对间隔布置。
6.根据权利要求5所述的一种半导体...
【专利技术属性】
技术研发人员：李婷，宋汉超，陈艳珍，
申请(专利权)人：深圳平晨半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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