【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体石墨船，具体涉及一种半导体石墨船切换装置。
技术介绍
1、在半导体石墨船的加工的过程中，需要将石墨船传输到不同工序上料后加工处理，现有的石墨船传输装置需要人工切换两个石墨料仓，人工切换在时间上难以控制，生产效率低。
技术实现思路
1、本申请针对石墨船传输装置需要人工切换不同石墨仓的问题，提供一种半导体石墨船切换装置。
2、一种半导体石墨船切换装置，包括固定平面、基板、伸缩机构、滑动机构；
3、伸缩机构位于基板下方、固定平面上方，其一端与固定平面连接，另一端与基板连接；
4、基板上方设置有两个石墨料仓，两个石墨料仓沿伸缩机构的延伸方向相邻布置，两个石墨料仓用于放置半导体石墨船；
5、滑动机构包括滑动块，滑动块位于基板下方，滑动与基板传动连接。
6、可选的，所述伸缩机构为气缸，气缸包括缸体与活塞杆，所述缸体与基板连接，所述活塞杆通过第一连接件与固定平面连接。
7、可选的，所述滑动机构还包括与滑动块配合的滑轨，滑轨的轴向与伸缩机构的伸缩方向一致。
8、可选的，所述滑动机构为两个，两个滑动机构分别位于伸缩机构的两侧。
9、可选的，两个石墨料仓之间设置有两个隔块，两个隔块位于基板的两侧，相对间隔布置。
10、可选的，基板包括朝向活塞杆的第一侧和远离活塞杆的第二侧，基板的第一侧设有两个间隔布置的第一限位柱，基板的第二侧设有两个间隔布置第二限位柱；两个第一限位柱、两个隔块配
11、可选的，所述基板第一侧设有第一卡槽，第一卡槽的轴向与伸缩机构的伸缩方向一致，第一限位柱与第一卡槽卡接；所述基板第二侧设有第二卡槽，第二卡槽的轴向与伸缩机构的伸缩方向一致，第二限位柱与第二卡槽卡接。
12、可选的，还包括两个在位传感器，所述两个在位传感器分别设置于两个石墨料仓下方。
13、有益效果：本实施例提供的一种半导体石墨船切换装置，在两个石墨料仓上分别放置半导体石墨船，在上料时，伸缩机构向外伸出，基板随伸缩机构移动，从而推动一个石墨料仓到位，当该石墨料仓内的半导体石墨船被上料完成后，伸缩机构向内收缩，使另一个石墨料仓到位，无需人工进行切换。
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1.一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，包括固定平面、基板（1）、伸缩机构、滑动机构；
2.根据权利要求1所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述伸缩机构为气缸（2），气缸（2）包括缸体（22）与活塞杆（21），所述缸体（22）与基板（1）连接，所述活塞杆（21）通过第一连接件与固定平面连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述滑动机构还包括与滑动块（31）配合的滑轨（32），滑轨（32）的轴向与伸缩机构的伸缩方向一致。
4.根据权利要求3所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述滑动机构为两个，两个滑动机构分别位于伸缩机构的两侧。
5.根据权利要求4所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，两个石墨料仓（4）之间设置有两个隔块（43），两个隔块（43）位于基板（1）的两侧，相对间隔布置。
6.根据权利要求5所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，基板（1）包括朝向活塞杆（21）的第一侧和远离活塞杆（21）的第二侧，基板（1）的第一侧设有两个间隔布置的第一限位柱（41
7.根据权利要求6所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述基板（1）第一侧设有第一卡槽（42），第一卡槽（42）的轴向与伸缩机构的伸缩方向一致，第一限位柱（41）与第一卡槽（42）卡接；所述基板（1）第二侧设有第二卡槽，第二卡槽的轴向与伸缩机构的伸缩方向一致，第二限位柱（44）与第二卡槽卡接。
8.根据权利要求1-7任一项所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，还包括两个在位传感器（5），所述两个在位传感器（5）分别设置于两个石墨料仓（4）下方。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，包括固定平面、基板（1）、伸缩机构、滑动机构；
2.根据权利要求1所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述伸缩机构为气缸（2），气缸（2）包括缸体（22）与活塞杆（21），所述缸体（22）与基板（1）连接，所述活塞杆（21）通过第一连接件与固定平面连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述滑动机构还包括与滑动块（31）配合的滑轨（32），滑轨（32）的轴向与伸缩机构的伸缩方向一致。
4.根据权利要求3所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，所述滑动机构为两个，两个滑动机构分别位于伸缩机构的两侧。
5.根据权利要求4所述的一种半导体石墨船切换装置，其特征在于，两个石墨料仓（4）之间设置有两个隔块（43），两个隔块（43）位于基板（1）的两侧，相对间隔布置。
6.根据权利要求5所述的一种半导体...
【专利技术属性】
技术研发人员：李婷，宋汉超，陈艳珍，
申请(专利权)人：深圳平晨半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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