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本申请涉及一种半导体石墨船切换装置,包括固定平面、基板、伸缩机构、滑动机构;伸缩机构位于基板下方、固定平面上方,其一端与固定平面连接,另一端与基板连接;基板上方设置有两个石墨料仓,两个石墨料仓沿伸缩机构的延伸方向相邻布置,两个石墨料仓用于放...该专利属于深圳平晨半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳平晨半导体科技有限公司授权不得商用。
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