【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及运行中的真空器件真空度测量，抽真空及维持真空的领域，尤其涉及一种便携超高真空维持及真空检测复合系统及方法。
技术介绍
1、真空器件在运行过程中的系统参数下降，其中的主要原因之一是器件的真空度下降引起，例如电真空器件中的慢性漏气使电真空器件的阴极中毒。为了防止阴极中毒，需要将真空器件的真空度控制在一定的范围内。
2、目前，超高真空器件封离排气系统后的真空度的维持通常有2种方法。第一种方法是在真空器件里安装吸气剂；第二种方法是在真空器件的外侧并联离子泵的方式维持超高真空度。如果离子泵表面积大会引起较强的外界干扰，其离子流的显示值不是真空器件的真空度的实际值。只能判断真空度变化的趋势，无法获得准确的真空度值。由于真空器件真空度下降，给一台真空设备带来直接经济损失十分巨大，甚至达到几十万、几百万以上，严重的真空度下降会引起真空设备大型事故。
3、目前国内外离线真空器件没有相应的离线后检测超高真空度量值的手段，运行时真空器件的真空度测量、维持真空度至关重要，有鉴于此，为了真空器件提供准确真空度的依据，准确测量运行时真空器件中的真空度量值，研制开发便携超高真空测量抽真空复合系统，解决离线高真空器件真空度难以测量准确及超高真空维持等此类问题。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种便携超高真空维持及真空检测复合系统及方法，便携超高真空维持及真空检测复合系统在真空器件运行时维持真空度、保证真空管内的真空度的量值，提高真空器件的使用寿命，该系统
2、为达到上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
3、一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，包括气体电离机构，所述气体电离机构包括阳极组件，阴极组件，不锈钢外壳，排气管，陶瓷框和u形磁铁；
4、所述气体电离机构外层为开口的不锈钢外壳，阳极筒组件悬挂于第一阴极钛板、第二阴极钽板之间，陶瓷框外侧位于不锈钢外壳的内腔，阳极组件上段伸出不锈钢外壳，连接小电流接出口支撑杆；第一阴极钛板、第二阴极钽板并联，下端伸出不锈钢外壳连接阴极组件；u形磁铁位于不锈钢外壳所对应的第一阴极钛板、第二阴极钽板的不锈钢外壳的外面，连接真空器件的排气管位于u形开口的不锈钢外壳壁的通孔接口；排气管把气体电离机构与真空器件气路连通，使两者构成一体化，真空器件运行时产生的气体即时被抽除。
5、进一步地，不锈钢外壳上开口与阳极筒组件的第二不锈钢盖氩弧焊接，不锈钢外壳下开口与阴极板组件的第一不锈钢盖氩弧焊接。
6、进一步地，第二不锈钢盖依次密封连接第一节陶瓷管、第二过渡件、第二节陶瓷管、铜管短路环、第二节陶瓷管、铜帽封头、小电流输出接口支撑杆。
7、进一步地，所述阴极组件伸出不锈钢外壳，所述阴极组件包括第一不锈钢盖，第一不锈钢盖与不锈钢外壳下口密封焊接，第一不锈钢盖的中心孔依次密封连接第三节陶瓷管、第一过渡件、金属封头、负高压支撑杆。
8、进一步地，所述第一阴极钛板，第二阴极钽板位于陶瓷框的内侧，陶瓷框的外侧位于不锈钢外壳的内侧。
9、进一步地，气体电离机构的不锈钢外壳与真空器件之间通过排气管连接。
10、进一步地，铜管短路环用于消除陶瓷管表面干扰离子流。
11、进一步地，气体电离机构与真空器件采用钎焊或者氩弧焊形成一体化，不需要另外的真空排气、烘烤、真空度测量仪设备。
12、进一步地，适合各种真空器件和真空设备安装，为真空器件和真空设备提供可靠的真空数据。
13、本专利技术还提供一种便携超高真空维持及真空检测复合系统的使用方法，包括如下步骤：
14、步骤一、真空器件与气体电离机构真空封接在一起，并进行检漏，形成可检测真空度的组件；
15、步骤二、将该组件进行抽真空、烘烤、封离，封离前真空度优于10-5pa；
16、步骤三、将负高压微电流检测系统负高压引出线、接地端引出线与气体电离机构的阴极接头和阳极接头分别相连接；
17、步骤四、负高压微电流检测系统外壳接地；
18、步骤五、将电压档调至3500v档位；电流档调至10-5a档位；
19、步骤六、开电源开关，如果无电流显示，则继续将电流档调至更高精度档位，直到出现电流值；
20、步骤七、电流值稳定后，记录下电流的值，该电流值与真空度相对应。例如如果显示电流值为5×10-8a，则相当于该状态下的真空度为10-8pa数量级；
21、步骤八、若该真空器件需要一直保持超高真空度，则可以将负高压微电流检测系统一直处于开启状态，保持真空器件内部真空度不变。
22、有益效果：
23、本专利技术的创新点在于阳极组件采用了三个陶瓷短路环，可以消除陶瓷漏电流对测试结果的影响，将阴极组件和阳极组件置入不锈钢外壳内腔中，消除了离子干扰对测试结果的影响。这使得测试精度大大提高，可以测试的真空度达到10-8pa以上，解决了其它高真空检测系统真空度测试精度差的问题。同时，该系统还可以通过吸附真空中的离子，维持真空器件系统高真空。
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1.一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，包括气体电离机构(2)，所述气体电离机构(2)包括阳极组件(10)，阴极组件(20)，不锈钢外壳(34)，排气管(35)，陶瓷框(30)和U形磁铁(50)；
2.根据权利要求1所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，不锈钢外壳(34)上开口与阳极筒组件(31)的第二不锈钢盖(48)氩弧焊接，不锈钢外壳(34)下开口与阴极板组件的第一不锈钢盖(40)氩弧焊接。
3.根据权利要求2所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，所述第二不锈钢盖(48)依次密封连接第一节陶瓷管(46)、第二过渡件(47)、第二节陶瓷管(44)、铜管短路环(45)、第二节陶瓷管(44)、铜帽封头(43)、小电流输出接口支撑杆(42)。
4.根据权利要求1所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，所述阴极组件(20)包括第一不锈钢盖(40)，第一不锈钢盖(40)与不锈钢外壳(34)下口密封焊接，第一不锈钢盖(40)的中心孔依次密封连接第三节陶瓷管(38)、第一过渡件(39
5.根据权利要求1所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，所述第一阴极钛板(32)，第二阴极钽板(33)位于陶瓷框(30)的内侧，陶瓷框(30)的外侧位于不锈钢外壳(34)的内侧。
6.根据权利要求1所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，所述气体电离机构(2)的不锈钢外壳(34)与真空器件(3)之间通过排气管(35)连接。
7.根据权利要求1所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，所述铜管短路环(45)用于消除陶瓷管表面干扰离子流。
8.根据权利要求1所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，所述气体电离机构(2)与真空器件(3)采用钎焊或者氩弧焊形成一体化，不需要另外的真空排气、烘烤、真空度测量仪设备。
9.根据权利要求1所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，适合各种真空器件和真空设备安装，为真空器件和真空设备提供可靠的真空数据。
10.根据权利要求1-9之一所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，包括气体电离机构(2)，所述气体电离机构(2)包括阳极组件(10)，阴极组件(20)，不锈钢外壳(34)，排气管(35)，陶瓷框(30)和u形磁铁(50)；
2.根据权利要求1所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，不锈钢外壳(34)上开口与阳极筒组件(31)的第二不锈钢盖(48)氩弧焊接，不锈钢外壳(34)下开口与阴极板组件的第一不锈钢盖(40)氩弧焊接。
3.根据权利要求2所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，所述第二不锈钢盖(48)依次密封连接第一节陶瓷管(46)、第二过渡件(47)、第二节陶瓷管(44)、铜管短路环(45)、第二节陶瓷管(44)、铜帽封头(43)、小电流输出接口支撑杆(42)。
4.根据权利要求1所述的一种便携超高真空维持及真空检测复合系统，其特征在于，所述阴极组件(20)包括第一不锈钢盖(40)，第一不锈钢盖(40)与不锈钢外壳(34)下口密封焊接，第一不锈钢盖(40)的中心孔依次密封连接第三节陶瓷管(38)、第一过渡件(39)、金属封头(37)、负高压支撑杆(36)；所述阴极组件(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈波，刘本田，
申请(专利权)人：合肥综合性国家科学中心能源研究院安徽省能源实验室，
类型：发明
国别省市：
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