一种基于浓度的气体混配控制方法及系统技术方案

本发明专利技术涉及一种基于浓度的气体混配控制方法及系统，属于气体测量技术领域。本发明专利技术包括混配信息获取模块、混配信息分析模块、混配气体检测模块、中央控制模块，获取气体混配信息，根据气体混配信息通过气体混配模型处理得到第二气体流量和预计混配时间，根据压力差值生成背压阀开启指令，通过对气体传感器有效数据进行特征提取得到混配气体特征，根据混配气体特征通过归一化线性函数分类得到分类结果，通过将混配气体目标浓度和混配气体校验浓度进行比对得到浓度校验结果，当浓度校验结果为浓度达标时，生成输送阀门开启指令，当浓度校验结果为浓度不达标时，发送报警信息至终端，实现了气体混配的自动化控制，避免了人力物力浪费，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于气体测量，具体涉及一种基于浓度的气体混配控制方法及系统。

技术介绍

1、在工业生产、科学实验以及日常生活等领域，常常需要将不同种类的气体按照一定的比例混合在一起，以实现特定的功能或者达到特定的目的。例如，在半导体制造过程中，需要将多种气体按照精确的比例混合在一起，以提供特定的反应环境或者沉积、刻蚀、氧化等工艺过程。在医疗领域，呼吸治疗需要精确控制氧气和氮气的流量比例，以提供安全、有效的呼吸治疗。在环保领域，空气净化、工业废气处理等应用中，需要精确控制气体混合物的浓度，以实现高效的污染物去除或回收；

2、但是，目前市场上输送混气一般是采购成品混合气体，然而，该方式存在以下问题：

3、1、气体浓度单一，若是工艺提升，对于需求不同浓度的混气，就要重新采购气体，导致使用成本提高；

4、2、若是用量极大，只用普通钢瓶供气，则会导致生产效率降低，进一步导致生产产量降低，除此之外，频繁的更换钢瓶会造成人力物力的浪费；

5、3、难以实现自动化，传统的气体混配方法难以实现自动化控制，需要人工操作和监控，降低了效率本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于浓度的气体混配控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于浓度的气体混配控制方法，其特征在于，所述步骤S5具体包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的基于浓度的气体混配控制方法，其特征在于，所述步骤S501具体包括以下步骤：

4.根据权利要求2所述的基于浓度的气体混配控制方法，其特征在于，所述归一化线性函数为：，其中，表示所述归一化线性函数，表示与分类标准相关的常数，h为正整数，q表示与所述特征值集合对应的权重向量，J表示预设参数，v表示所述特征值集合。

5.根据权利要求2所述的基于浓度的气体混配控制方法，...

【技术特征摘要】

1.一种基于浓度的气体混配控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于浓度的气体混配控制方法，其特征在于，所述步骤s5具体包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的基于浓度的气体混配控制方法，其特征在于，所述步骤s501具体包括以下步骤：

4.根据权利要求2所述的基于浓度的气体混配控制方法，其特征在于，所述归一化线性函数为：，其中，表示所述归一化线性函数，表示与分类标准相关的常数，h为正整数，q表示与所述特征值集合对应的权重向量，j表示预设参数，v表示所述特征值集合。

5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王帅，
申请(专利权)人：赛悟德半导体科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：