温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种基于浓度的气体混配控制方法及系统，属于气体测量技术领域。本发明包括混配信息获取模块、混配信息分析模块、混配气体检测模块、中央控制模块，获取气体混配信息，根据气体混配信息通过气体混配模型处理得到第二气体流量和预计混配时间，根据压...
该专利属于赛悟德半导体科技（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛悟德半导体科技（上海）股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。