一种新的工艺石英管制造技术

本技术公开了一种新的工艺石英管，包括装置本体，所述装置本体包括工艺石英管、热电偶层、加热器、晶圆和进气路径，所述工艺石英管位于装置本体底部，所述热电偶层安装在工艺石英管外侧，所述加热器安装在热电偶层外侧；所述进气路径安装在工艺石英管底部一侧，且进气路径另一端从工艺石英管另一侧引出，所述进气路径中段呈上下缠绕有两层。该种装置可以十分便捷的让气体在工艺石英管底部充分预热，然后再向上流动就不会影响工艺管内部的温度，工艺管内温度稳定了，生长的氧化膜厚度均匀性才会更好，从而实现改善氧化工艺厚度均匀性的目的，进一步使晶圆表面生长氧化膜的厚度均匀性，提高工艺石英管制备的成功率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英管制备，具体为一种新的工艺石英管。

技术介绍

1、现有技术中的石英管的制备工艺存在以下的缺陷：

2、现有的200氧化炉工艺石英管的进气设计是工艺气体沿着工艺石英管外侧通向石英管的顶部，再由顶部内侧乡下流动参与工艺反应，这样的缺点是工艺气体本身温度较低，会影响工艺石英管内温度的均匀性，靠近气体进气管的位置温度比其他地方低，从而影响了晶圆表面生长氧化膜的厚度均匀性。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本技术提供了一种新的工艺石英管，解决了现有工艺石英管内温度不均，影响了晶圆表面生长氧化膜的厚度均匀性的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种新的工艺石英管，包括装置本体，所述装置本体包括工艺石英管、热电偶层、加热器、晶圆和进气路径，所述工艺石英管位于装置本体底部，所述热电偶层安装在工艺石英管外侧，所述加热器安装在热电偶层外侧；

5、优选的，所述进气路径安装在工艺石英管底部一侧，且进气路径另一端从工艺石英管另一侧引出，所述进气路径中段呈上下缠绕有两层。

6、优选的，所述热电偶层由若干组热电偶层组成。

7、优选的，所述晶圆安装在工艺石英管内部，所述晶圆设有一百至一百五十片，且呈上下等距方式分布。

8、(三)有益效果

9、本技术提供了一种新的工艺石英管。具备以下有益效果：

10、该种新的工艺石英管设计把进气管进气路径更改，再工艺石英管下方绕盘旋两圈，让气体在工艺石英管底部充分预热，然后再向上这样就不会影响工艺石英管内部的温度，从而实现改善氧化工艺厚度均匀性的目的，从而让气体在工艺石英管底部充分预热，然后再向上流动就不会影响工艺石英管内部的温度，工艺石英管内温度稳定了，生长的氧化膜厚度均匀性才会更好，从而实现改善氧化工艺厚度均匀性的目的。

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【技术保护点】

1.一种新的工艺石英管，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括工艺石英管(2)、热电偶层(3)、加热器(4)、晶圆(5)和进气路径(6)，所述工艺石英管(2)位于装置本体(1)底部，所述热电偶层(3)安装在工艺石英管(2)外侧，所述加热器(4)安装在热电偶层(3)外侧；

2.根据权利要求1所述的一种新的工艺石英管，其特征在于：所述热电偶层(3)由若干组热电偶层组成。

3.根据权利要求1所述的一种新的工艺石英管，其特征在于：所述晶圆(5)安装在工艺石英管(2)内部，所述晶圆(5)设有一百至一百五十片，且呈上下等距方式分布。

【技术特征摘要】

1.一种新的工艺石英管，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括工艺石英管(2)、热电偶层(3)、加热器(4)、晶圆(5)和进气路径(6)，所述工艺石英管(2)位于装置本体(1)底部，所述热电偶层(3)安装在工艺石英管(2)外侧，所述加热器(4)安装在热电偶层(3)外侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：余梦，
申请(专利权)人：上海至纯半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：