【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材制备，具体涉及一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置。
技术介绍
1、i to靶材是一种由氧化铟粉末和氧化锡粉末经过成型、烧结而成的黑灰色陶瓷半导体，是生产i to薄膜的重要原料。其中管状i to生产过程中往往需要对其进行镀铟以提高其表面性能，现有技术中最常用的方法是超声波镀铟，超声波内圆涂铟机也称弯头型超声波涂铟机，适合靶筒内壁的涂铟工作。超声波会产生每秒几万次的高频振动，这种达到一定振幅的高频振动，通过变幅杆把超声能量传送到焊区，高频振动让焊区的微气泡排出的同时，靶材进入到这些微气泡所占微腔，使靶材跟基板牢牢地绑定在一起，实现不使用助焊剂进行焊接。但现有的镀铟设备由于会产生高频振动，且镀铟探头由于需要伸入管状靶材内，因此需要较长的探杆，这种较长的探杆无疑也会放大这种震动从而令探头容易磕碰靶材内壁，造成良品率降低的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，为了降低探头磕碰的问题，通过伸缩装置将探杆与探头进行连接，这样做的目的在于可有效控制探头与靶材内壁的距离，从而降低了振动带来的磕碰几率。
2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，包括操作台，所述操作台上端固定设置有保温箱，所述保温箱上端设置有箱盖组件，所述保温箱内侧下部转动设置有两组驱动辊，所述保温箱外壁上固定安装有用于带动驱动辊转动的第一电机；所述操作台下端固定安装有竖直向上的升降缸，所述升降
4、作为本专利技术进一步的方案：所述箱盖组件包括与保温箱相配合的盖板和固定安装在操作台上的多个顶升缸，所述顶升缸的输出端固定连接有顶升连板，所述顶升连板固定连接在盖板上。
5、作为本专利技术进一步的方案：所述盖板上端固定安装有驱动缸，所述驱动缸的输出端固定连接有上压架，所述上压架上转动安装有多组上压辊。
6、作为本专利技术进一步的方案：所述驱动组件包括固定设置在升降台上的驱动座，所述驱动座上端固定设置有驱动导轨，所述驱动导轨上滑动设置有驱动滑块，所述驱动滑块上固定安装有涂布座，所述涂布连杆安装在涂布座上。
7、作为本专利技术进一步的方案：所述驱动座侧壁上固定设置有导向齿条，所述驱动滑块上固定设置有电机连板，所述电机连板上固定安装有第二电机，所述第二电机输出轴上固定安装有与导向齿条啮合连接的驱动齿轮。
8、作为本专利技术进一步的方案：所述涂布连杆转动安装在涂布座上，所述涂布座上固定安装有用于驱动涂布连杆转动的第三电机。
9、作为本专利技术进一步的方案：所述支撑组件包括支撑座，所述支撑座上端设置有与涂布连杆相配合的连杆槽。
10、作为本专利技术进一步的方案：所述支撑座上固定设置有立板，所述立板上固定设置有连接轴，所述连接轴上转动安装有上盖座，所述上盖座用于压盖涂布连杆。
11、作为本专利技术进一步的方案：所述操作台远离驱动组件的一侧固定设置有l型座，所述l型座上安装有用于对涂布连杆顶压支撑的顶压组件。
12、作为本专利技术进一步的方案：所述顶压组件包括固定设置在l型座上的顶压导轨，所述顶压导轨上滑动设置有顶压滑块，所述顶压滑块上连接有顶压滑杆，所述顶压滑杆上转动连接有顶压头。
13、本专利技术的有益效果：
14、(1)通过支撑座上设置的连杆槽与涂布连杆相配合，从而对涂布连杆起到支撑的作用，以降低涂布时涂布连杆和涂布探头自重对圆筒产生的压力，避免圆筒产生裂纹；可以更好的控制实现隔空涂布，即涂布探头与圆筒保持一定间隙，不接触，避免涂布过程外力介入，使圆筒产生裂纹。
15、(2)支撑座随着升降台一起升降移动，则支撑座与驱动组件的相对高度不会产生变化，防止因高度差导致涂布连杆发生变形，同时设置上盖座对涂布连杆上下方向进行限位，确保在涂布过程中不会因为涂布时的反冲造成涂布连杆的晃动，进一步确保了涂布过程中的稳定性。
16、(3)通过顶压头将涂布连杆的端部顶压，防止涂布连杆发生晃动，同时顶压头是转动安装在顶压滑杆上，则不会对涂布连杆的转动造成影响。
17、(4)采用涂布连杆转动或者对圆筒进行转动的双驱动方式实现对圆筒的内部进行涂布处理，从而确保对不同规格的圆筒能够稳定的进行涂布处理。
18、(5)利用上压架上转动设置的上压辊对圆筒进行压紧，确保在对圆筒内部进行涂铟时，圆筒不会发生晃动从而使得涂铟均匀。
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1.一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，包括操作台(1)，所述操作台(1)上端固定设置有保温箱(2)，所述保温箱(2)上端设置有箱盖组件(3)，所述保温箱(2)内侧下部转动设置有两组驱动辊(14)，所述保温箱(2)外壁上固定安装有用于带动驱动辊(14)转动的第一电机(13)；其特征在于，所述操作台(1)下端固定安装有竖直向上的升降缸(11)，所述升降缸(11)的输出端固定连接有升降台(6)，所述升降台(6)上固定设置有驱动组件(7)和支撑组件(8)，所述驱动组件(7)上安装有涂布连杆(9)，所述驱动组件(7)用于驱动涂布连杆(9)水平移动，所述支撑组件(8)用于支撑涂布连杆(9)，所述涂布连杆(9)远离驱动组件(7)的一侧固定连接有涂布探头(10)。
2.根据权利要求1所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述箱盖组件(3)包括与保温箱(2)相配合的盖板(31)和固定安装在操作台(1)上的多个顶升缸(32)，所述顶升缸(32)的输出端固定连接有顶升连板(33)，所述顶升连板(33)固定连接在盖板(31)上。
3.根据权利要求2所述的一种
4.根据权利要求1所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述驱动组件(7)包括固定设置在升降台(6)上的驱动座(71)，所述驱动座(71)上端固定设置有驱动导轨(72)，所述驱动导轨(72)上滑动设置有驱动滑块(73)，所述驱动滑块(73)上固定安装有涂布座(74)，所述涂布连杆(9)安装在涂布座(74)上。
5.根据权利要求4所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述驱动座(71)侧壁上固定设置有导向齿条(78)，所述驱动滑块(73)上固定设置有电机连板(75)，所述电机连板(75)上固定安装有第二电机(76)，所述第二电机(76)输出轴上固定安装有与导向齿条(78)啮合连接的驱动齿轮(77)。
6.根据权利要求4所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述涂布连杆(9)转动安装在涂布座(74)上，所述涂布座(74)上固定安装有用于驱动涂布连杆(9)转动的第三电机(79)。
7.根据权利要求1所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述支撑组件(8)包括支撑座(81)，所述支撑座(81)上端设置有与涂布连杆(9)相配合的连杆槽(811)。
8.根据权利要求7所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述支撑座(81)上固定设置有立板(82)，所述立板(82)上固定设置有连接轴(83)，所述连接轴(83)上转动安装有上盖座(84)，所述上盖座(84)用于压盖涂布连杆(9)。
9.根据权利要求1-8任一项所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述操作台(1)远离驱动组件(7)的一侧固定设置有L型座(4)，所述L型座(4)上安装有用于对涂布连杆(9)顶压支撑的顶压组件(5)。
10.根据权利要求8所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述顶压组件(5)包括固定设置在L型座(4)上的顶压导轨(51)，所述顶压导轨(51)上滑动设置有顶压滑块(52)，所述顶压滑块(52)上连接有顶压滑杆(58)，所述顶压滑杆(58)上转动连接有顶压头(59)。
...【技术特征摘要】
1.一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，包括操作台(1)，所述操作台(1)上端固定设置有保温箱(2)，所述保温箱(2)上端设置有箱盖组件(3)，所述保温箱(2)内侧下部转动设置有两组驱动辊(14)，所述保温箱(2)外壁上固定安装有用于带动驱动辊(14)转动的第一电机(13)；其特征在于，所述操作台(1)下端固定安装有竖直向上的升降缸(11)，所述升降缸(11)的输出端固定连接有升降台(6)，所述升降台(6)上固定设置有驱动组件(7)和支撑组件(8)，所述驱动组件(7)上安装有涂布连杆(9)，所述驱动组件(7)用于驱动涂布连杆(9)水平移动，所述支撑组件(8)用于支撑涂布连杆(9)，所述涂布连杆(9)远离驱动组件(7)的一侧固定连接有涂布探头(10)。
2.根据权利要求1所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述箱盖组件(3)包括与保温箱(2)相配合的盖板(31)和固定安装在操作台(1)上的多个顶升缸(32)，所述顶升缸(32)的输出端固定连接有顶升连板(33)，所述顶升连板(33)固定连接在盖板(31)上。
3.根据权利要求2所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述盖板(31)上端固定安装有驱动缸(34)，所述驱动缸(34)的输出端固定连接有上压架(36)，所述上压架(36)上转动安装有多组上压辊(37)。
4.根据权利要求1所述的一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置，其特征在于，所述驱动组件(7)包括固定设置在升降台(6)上的驱动座(71)，所述驱动座(71)上端固定设置有驱动导轨(72)，所述驱动导轨(72)上滑动设置有驱动滑块(73)，所述驱动滑块(73)上固定安装有涂布座(74)，所述涂布连杆(9)安装在涂布座(74)上...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄有昌，李萍萍，项天成，韩贤昆，王超，钟小华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：
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