【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工，尤其涉及一种适用于晶圆加工的夹取装置。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，也是生产集成电路所用的载体，其原始材料是硅，由高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，一般晶圆多指单晶硅圆片，硅晶在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，晶圆是最常用的半导体材料，晶圆越大，同一圆片上的可生产的集成电路就越多，可降低成本，在生产晶圆的过程中，良品率是很重要的条件。
2、晶圆是一种非常珍贵的产品，在放置过程中必须保证其不能损坏，其中晶圆盒是其行业常见装晶圆的装置，晶圆盒的进出操作通常是人工拿取的方式，而人操作万一失误就会对晶圆造成不必要的损坏，而晶圆可以通过机械拿取，然后再经过旋转放入到晶圆盒内。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种适用于晶圆加工的夹取装置。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种适用于晶圆加工的夹取装置，包括第二底座，所述第二底座的顶壁左右两部均设置有第二转动柱，两个所述第二转动柱的外侧壁中部均固定连接有第二圆柱齿轮，两个所述第二圆柱齿轮的顶壁均固定连接有第一连接柱，左部所述第一连接柱的外侧壁左部固转动连接有机械臂，右部所述第一连接柱的外侧壁右部转动连接在机械臂的后部，两个所述机械臂的中部均转动连接有第二连接柱，两个所述第二连接柱的底壁左右部均转动连接在第二底座的顶壁左下部与右下部，两个所述机械臂的内壁前部均设置有触手。
4、所述第二底座的顶壁后部设置有护板，所述第二底座的顶壁后部设置有电机，所述电机设置在护板的下部。
5、作为上述技术方案的进一步描述：
6、所述电机的输出端固定连接有蜗杆，所述蜗杆啮合连接在两个第二圆柱齿轮的外侧壁。
7、作为上述技术方案的进一步描述：
8、所述第二底座的底壁固定连接有第一转动柱，所述第一转动柱的外侧壁固定连接有第一圆柱齿轮。
9、作为上述技术方案的进一步描述：
10、所述第一圆柱齿轮的外侧壁均啮合连接有齿条，两个所述齿条的外侧壁均固定连接有滑板。
11、作为上述技术方案的进一步描述：
12、后部所述齿条的外侧壁右部固定连接有推板，所述推板的外侧壁右部固定连接有电动推杆。
13、作为上述技术方案的进一步描述：
14、所述电动推杆的外侧壁右部固定连接有支撑板，所述支撑板的内侧壁固定连接有第一底座。
15、作为上述技术方案的进一步描述：
16、所述第一底座的外侧壁左右部均固定连接在支撑板的内侧壁，所述第一底座的内侧壁均设置有滑槽，所述滑槽与滑板滑动连接在第一底座的内侧壁。
17、本技术具有如下有益效果：
18、1、本技术中，首先在我们需要把晶圆放入到晶圆盒时，可以直接通过两个触手去拿取晶圆，触手的运动是由第二底座顶壁上的电机带动蜗杆，蜗杆被电机带动转动后会同时带动两个第二圆柱齿轮传动，两个圆柱齿轮均由第二转动柱固定，第二转动柱在第二底座上转动连接，两个第二圆柱齿轮会带动两个第一连接柱进行运动，两个第一连接柱均固定连接有机械臂，两个机械臂的中部均固定连接有第二连接柱，两个第二连接柱的另一端均转动连接在第二底座的顶壁，两个第二连接柱不但可以对两个机械臂起到固定支撑的效果，还可以对两个机械臂起到限位的作用，两个机械臂的内壁前部有两个触手，可以通过触手夹取晶圆。
19、2、本技术中，在夹取晶圆后可以通过第二底座下面的第一转动柱转变到我们需要的方向然后把晶圆从触手放入到晶圆盒内，第一转动柱是通过外侧壁的第一圆柱齿轮传动然后改变第二底座的方向，第一圆柱齿轮通过后部的齿条运动时带动，后部的齿条带动第一圆柱齿轮后，第一圆柱齿轮会带动前部的齿条进行运动，两个齿条均是被固定在两个滑板上面，两个滑板通过滑动连接在滑槽的外侧壁然后带动两个齿条，后部齿条是通过右部的推板进行推动才会运动，推板是通过电动推杆被推动后才会运动，电动推杆被固定在右部支撑板上面，这样的整体效果就可以通过第一圆柱齿轮带动第一转动柱，然后达到第一转动柱带动第二底座进行方向旋转的效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种适用于晶圆加工的夹取装置，包括第二底座(10)，其特征在于：所述第二底座(10)的顶壁左右两部均设置有第二转动柱(15)，两个所述第二转动柱(15)的外侧壁中部均固定连接有第二圆柱齿轮(14)，两个所述第二圆柱齿轮(14)的顶壁均固定连接有第一连接柱(16)，左部所述第一连接柱(16)的外侧壁左部转动连接有机械臂(17)，右部所述第一连接柱(16)的外侧壁右部转动连接在机械臂(17)的后部，两个所述机械臂(17)的中部均转动连接有第二连接柱(18)，两个所述第二连接柱(18)的底壁左右部均转动连接在第二底座(10)的顶壁左下部与右下部，两个所述机械臂(17)的内壁前部均设置有触手(19)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于：所述第二底座(10)的顶壁后部设置有护板(11)，所述第二底座(10)的顶壁后部设置有电机(12)，所述电机(12)设置在护板(11)的下部。
3.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于：所述电机(12)的输出端固定连接有蜗杆(13)，所述蜗杆(13)啮合连接在两个第二圆柱齿
4.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于：所述第二底座(10)的底壁固定连接有第一转动柱(9)，所述第一转动柱(9)的外侧壁固定连接有第一圆柱齿轮(8)。
5.根据权利要求4所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于：所述第一圆柱齿轮(8)的外侧壁均啮合连接有齿条(6)，两个所述齿条(6)的外侧壁均固定连接有滑板(7)。
6.根据权利要求5所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于：后部所述齿条(6)的外侧壁右部固定连接有推板(5)，所述推板(5)的外侧壁右部固定连接有电动推杆(4)。
7.根据权利要求6所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于：所述电动推杆(4)的外侧壁右部固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)的内侧壁固定连接有第一底座(1)。
8.根据权利要求7所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于：所述第一底座(1)的外侧壁左右部均固定连接在支撑板(2)的内侧壁，所述第一底座(1)的内侧壁均设置有滑槽(3)，所述滑槽(3)与滑板(7)滑动连接在第一底座(1)的内侧壁。
...【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆加工的夹取装置，包括第二底座(10)，其特征在于：所述第二底座(10)的顶壁左右两部均设置有第二转动柱(15)，两个所述第二转动柱(15)的外侧壁中部均固定连接有第二圆柱齿轮(14)，两个所述第二圆柱齿轮(14)的顶壁均固定连接有第一连接柱(16)，左部所述第一连接柱(16)的外侧壁左部转动连接有机械臂(17)，右部所述第一连接柱(16)的外侧壁右部转动连接在机械臂(17)的后部，两个所述机械臂(17)的中部均转动连接有第二连接柱(18)，两个所述第二连接柱(18)的底壁左右部均转动连接在第二底座(10)的顶壁左下部与右下部，两个所述机械臂(17)的内壁前部均设置有触手(19)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于：所述第二底座(10)的顶壁后部设置有护板(11)，所述第二底座(10)的顶壁后部设置有电机(12)，所述电机(12)设置在护板(11)的下部。
3.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于：所述电机(12)的输出端固定连接有蜗杆(13)，所述蜗杆(13)啮合连接在两个第二圆柱齿轮(14)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：何环清，苏丽静，
申请(专利权)人：厦门莱尔德光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。