System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 降籽晶过程的控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备制造方法及图纸_技高网

降籽晶过程的控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备制造方法及图纸

技术编号:40261198 阅读:12 留言:0更新日期:2024-02-02 22:51
本申请涉及一种降籽晶过程的控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备。所述方法包括:获取长晶炉内的实时图像;基于所述实时图像与预先训练的缺陷检测模型,确定所述实时图像中目标区域图像,以及所述目标区域图像的缺陷类型和位置信息;基于所述目标区域图像和所述缺陷类型,判断是否存在融化缺陷;若融化缺陷存在,则控制所述长晶炉提升籽晶和/或降低加热功率,重新降籽晶。采用本方法可以提高降籽晶过程的控制调整及时性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶体生长,特别是涉及一种降籽晶过程的控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备


技术介绍

1、蓝宝石是一种由铝和氧在特定温度条件下形成氧化铝化合物后,熔融再凝固所形成的晶体材料。蓝宝石在引晶阶段可以包括三个工步,分别是降籽晶、触液和试温拉结。

2、在蓝宝石的降籽晶过程中,需要人工从电焊玻璃加镀金玻璃构成的视窗观察炉内的降籽晶工步是否正常进行,由于工步持续时间长,人工观察降籽晶过程,一方面不易观察籽晶融化现象,导致蓝宝石的良品率较低,另一方面,在高温、强亮的环境下,长期观察容易对人眼造成损害,对操作人员的人身安全存在影响,只能通过人工巡检的方式间隔观察籽晶状态,且生产车间内长晶炉数量较多,人工检视籽晶情况存在滞后性。

3、由此可见,现有技术中仍然存在降籽晶过程的控制调整存在滞后性的问题。


技术实现思路

1、基于此,有必要针对上述技术问题,提供一种能够提高控制调整及时性的降籽晶过程的控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备。

2、第一个方面,本实施例提供了一种降籽晶过程的控制方法,所述降籽晶过程的控制方法包括:

3、获取长晶炉内的实时图像;

4、基于所述实时图像与预先训练的缺陷检测模型,确定所述实时图像中目标区域图像,以及所述目标区域图像的缺陷类型和位置信息;

5、基于所述目标区域图像和所述缺陷类型,判断是否存在融化缺陷;

6、若融化缺陷存在,则控制所述长晶炉提升籽晶和/或降低加热功率,重新降籽晶

7、在其中一些实施例中,所述基于所述实时图像与预先训练的缺陷检测模型,确定所述实时图像中目标区域图像包括:

8、对所述实时图像进行自适应对比度增强,得到增强图像;

9、将所述增强图像输入至预先训练的缺陷检测模型,得到所述实时图像中目标区域图像。

10、在其中一些实施例中,所述缺陷检测模型包括依次连接的主干网络、双向融合网络和检测头网络,

11、所述主干网络用于对所述实时图像进行籽晶特征的提取;

12、所述双向融合网络用于对所述籽晶特征进行融合,得到融合籽晶特征;

13、所述检测头网络用于基于融合籽晶特征,确定所述目标籽晶图像,以及所述目标籽晶图像的缺陷类型和位置信息。

14、在其中一些实施例中,所述双向融合网络包括依次连接的上采样网络和下采样网络,用于分别对所述籽晶特征进行上采样拼接融合和下采样拼接融合,得到融合籽晶特征;

15、所述上采样网络和下采样网络还包括注意力机制模块,所述注意力机制模块用于对所述上采样拼接融合和所述下采样拼接融合进行注意力增强。

16、在其中一些实施例中,所述双向融合网络还包括金字塔特征融合模块,所述金字塔特征融合模块与所述下采样网络连接,所述下采样网络还用于输出预设数量不同尺度的第一融合特征,

17、所述金字塔特征融合模块用于对所述预设数量不同尺度的第一融合特征进行特征融合,得到预设数量个第二融合特征,作为所述融合籽晶特征。

18、在其中一些实施例中,所述注意力机制模块采用跳跃连接结构,所述跳跃连接结构包括pw卷积核和dw卷积核。

19、在其中一些实施例中,所述基于所述目标籽晶图像和所述缺陷类型,判断是否存在融化缺陷包括:

20、基于所述目标籽晶图像中,籽晶的面积、颜色、轮廓清晰程度和形状的至少一种,判断目标籽晶图像是否符合所述缺陷类型;

21、若符合,则存在融化缺陷。

22、在其中一些实施例中,所述基于所述缺陷类型和位置信息重新进行降籽晶包括:

23、基于所述缺陷类型和位置信息,控制所述长晶炉提升籽晶和/或降低加热功率,重新进行降籽晶。

24、第二个方面,本实施例提供了一种降籽晶缺陷控制装置,所述降籽晶缺陷控制装置包括:

25、获取模块,用于获取长晶炉内的实时图像;

26、确定模块,用于基于所述实时图像与预先训练的缺陷检测模型,确定所述实时图像中目标区域图像,以及所述目标区域图像的缺陷类型和位置信息;

27、判断模块,用于基于所述目标区域图像和所述缺陷类型,判断是否存在融化缺陷;

28、处理模块,用于若融化缺陷存在,则控制所述长晶炉提升籽晶和/或降低加热功率,重新降籽晶。

29、第三个方面,本实施例提供了一种长晶炉系统,包括长晶炉、面阵相机和工控机,所述长晶炉的炉盖设置有观测窗,所述面阵相机通过相机固定杆设置于所述观测窗周围,用于采集所述长晶炉炉内的实时图像,并将所述实时图像发送至工控机;所述工控机用于实现如上所述的方法的步骤。

30、第四个方面,本实施例提供了一种计算机设备,包括存储器和处理器,所述存储器存储有计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述的方法的步骤。

31、上述降籽晶过程的控制方法、装置、长晶炉系统和计算机设备,通过获取长晶炉内的实时图像;基于所述实时图像与预先训练的缺陷检测模型,确定所述实时图像中目标区域图像,以及所述目标区域图像的缺陷类型和位置信息;基于所述目标区域图像和所述缺陷类型,判断是否存在融化缺陷;若融化缺陷存在,则控制所述长晶炉提升籽晶和/或降低加热功率,重新降籽晶,可以通过预先训练的缺陷检测模型,检测实时图像中涉及籽晶的目标区域图像和对应的缺陷类型,提高了缺陷检出的及时性,从而无需操作人员通过人眼观察进行缺陷判断;而基于目标区域图像和缺陷类型进行二次确认,判断是否存在融化缺陷,可以减少因检测准确率低导致的误判情况,还可以达到提高籽晶缺陷判断准确率的效果。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述降籽晶过程的控制方法包括:

2.根据权利要求1所述的降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述基于所述实时图像与预先训练的缺陷检测模型,确定所述实时图像中目标区域图像包括:

3.根据权利要求1所述的降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述双向融合网络包括依次连接的上采样网络和下采样网络,用于分别对所述籽晶特征进行上采样拼接融合和下采样拼接融合,得到融合籽晶特征;

4.根据权利要求3所述的降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述双向融合网络还包括金字塔特征融合模块,所述金字塔特征融合模块与所述下采样网络连接,所述下采样网络还用于输出预设数量不同尺度的第一融合特征,

5.根据权利要求3所述的降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述注意力机制模块采用跳跃连接结构,所述跳跃连接结构包括PW卷积核和DW卷积核。

6.根据权利要求1所述的降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述基于所述目标区域图像和所述缺陷类型,判断是否存在融化缺陷包括:

7.一种降籽晶缺陷控制装置,其特征在于,所述降籽晶缺陷控制装置包括:

8.一种长晶炉系统,其特征在于,包括长晶炉、面阵相机和工控机,所述长晶炉的炉盖设置有观测窗,所述面阵相机通过相机固定杆设置于所述观测窗周围,用于采集所述长晶炉炉内的实时图像,并将所述实时图像发送至工控机;所述工控机用于实现如权利要求1至权利要求6中任一项所述的方法的步骤。

9.一种计算机设备,包括存储器和处理器,所述存储器存储有计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至权利要求6中任一项所述的方法的步骤。

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【技术特征摘要】

1.一种降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述降籽晶过程的控制方法包括:

2.根据权利要求1所述的降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述基于所述实时图像与预先训练的缺陷检测模型,确定所述实时图像中目标区域图像包括:

3.根据权利要求1所述的降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述双向融合网络包括依次连接的上采样网络和下采样网络,用于分别对所述籽晶特征进行上采样拼接融合和下采样拼接融合,得到融合籽晶特征;

4.根据权利要求3所述的降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述双向融合网络还包括金字塔特征融合模块,所述金字塔特征融合模块与所述下采样网络连接,所述下采样网络还用于输出预设数量不同尺度的第一融合特征,

5.根据权利要求3所述的降籽晶过程的控制方法,其特征在于,所述注意力机制模块采用跳...

【专利技术属性】
技术研发人员:傅林坚刘华李亮
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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