一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置制造方法及图纸

本申请涉及一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，升降组件负责部分晶圆支撑柱的升降，锁定驱动件负责固定第一升降板，以防止翻转时发生松动，升降组件由升降滚轮在具有斜面的升降滑块顶部运动而发生升降，由于升降滚轮只是作用在升降滑块顶部，因此不容易卡住，同时锁定驱动件的设置起到了固定作用，防止因为，升降滚轮上方没有限制作用而导致的第一升降板在翻转时发生移动，提高了设备的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于晶圆生产设备，尤其是涉及一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置。

技术介绍

1、晶圆生产过程中，需要不断对晶圆进行加工成形、抛光处理和清洗。因此，晶圆清洗是晶圆制造过程中的一个重要的工艺步骤，需要在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下使用化学溶液、清水或气体清除残留在晶圆表面的杂质。在晶圆清洗工艺流程中，当晶圆一面清洗完毕后需要对其进行翻转以备另一面的清洗，故需要对晶圆进行翻转。

2、中国专利文献cn115410984a公开了一种晶圆清洗机翻转结构，包括底座和翻转支架，以及四个晶圆支撑柱，在该专利文献的附图4中，可以看到，其通过一倾斜块的移动并与位于倾斜块顶部和底部的两个滑轮的作用来实现升降驱动。这种驱动方式使用时间较长时，容易导致两个滑块与倾斜块卡死导致结构失效。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种使用寿命较长的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，包括：

4、底座；

5、旋转座，所述旋转座两端通过转轴固定在底座上；

6、旋转动力件，驱动旋转座在底座上发生旋转；

7、晶圆支撑柱，设置在旋转座上，所述晶圆支撑柱能够受旋转驱动件的作用下发生旋转，所述晶圆支撑柱上具有成排设置的若干晶圆容纳槽，旋转座的旋转能够带动晶圆支撑柱在竖直状态和水平状态之间变化；

8、部分所述晶圆支撑柱设置在升降组件上，能够升降；

9、升降组件包括，第一升降板、升降驱动机构和第二升降板，第二升降板通过水平滑动件固定在第一升降板顶部，能够升降地所述晶圆支撑柱和旋转气缸设置在第二升降板顶部，第二升降板能够在水平滑动件上滑动；

10、所述升降驱动机构，用于驱动第一升降板升降，包括升降驱动件、升降滑块、升降滑轨和升降滚轮，所述升降滑块顶部具有斜面，升降滑轨设置在旋转座底板上，所述升降滚轮设置在第一升降板底部；升降滑块受升降驱动件驱动而在升降滑轨上水平运动并通过顶部的斜面与所述升降滚轮的配合实现第一升降板的升降；

11、导轨穿过旋转座底板，且导轨两端分别与第一升降板底部和锁定板固定连接，旋转座底板底部设置有锁定驱动件，锁定驱动件的伸缩杆伸出时能够抵靠住锁定板，从而使第一升降板固定住。

12、优选地，本技术的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所述升降滚轮为两个。

13、优选地，本技术的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所述升降滑块顶部分为平面部分和斜面部分，其中平面部分处于最高端，且平面部分具有容纳定位升降滚轮的凹槽。

14、优选地，本技术的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所述旋转座顶部还设置有挡杆，挡杆设置在水平滑动组件上，晶圆在装入晶圆支撑柱上后，挡杆能够移动到晶圆支撑柱的中间位置，并抵靠住晶圆的外侧边缘。

15、优选地，本技术的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所述晶圆支撑柱两侧均具有成排设置的若干晶圆容纳槽，两侧的晶圆容纳槽分别用于容纳清洗前后的晶圆。

16、优选地，本技术的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，所有的所述晶圆支撑柱通过皮带联动机构实现联动旋转。

17、优选地，本技术的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，每个能够升降的所述晶圆支撑柱均单独设置在一个旋转气缸上。

18、优选地，本技术的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，不能升降的所述晶圆支撑柱晶圆容纳槽为弧形，且晶圆容纳槽位于长度较短的两边。

19、优选地，本技术的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，能够升降地所述晶圆支撑柱的晶圆容纳槽位于长度较长的两边。

20、本技术的有益效果是：

21、本技术的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，升降组件负责第二晶圆支撑柱的升降，锁定驱动件负责固定第一升降板，以防止翻转时发生松动，升降组件由升降滚轮在具有斜面的升降滑块顶部运动而发生升降，由于升降滚轮只是作用在升降滑块顶部，因此不容易卡住，同时锁定驱动件的设置起到了固定作用，防止因为，升降滚轮上方没有限制作用而导致的第一升降板在翻转时发生移动，提高了设备的使用寿命。

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【技术保护点】

1.一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述升降滚轮(2154)为两个。

3.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述升降滑块(2152)顶部分为平面部分和斜面部分，其中平面部分处于最高端，且平面部分具有容纳定位升降滚轮(2154)的凹槽。

4.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述旋转座(2)顶部还设置有挡杆(6)，挡杆(6)设置在水平滑动组件上，晶圆(9)在装入晶圆支撑柱(4)上后，挡杆(6)能够移动到晶圆支撑柱(4)的中间位置，并抵靠住晶圆(9)的外侧边缘。

5.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述晶圆支撑柱(4)两侧均具有成排设置的若干晶圆容纳槽(40)，两侧的晶圆容纳槽(40)分别用于容纳清洗前后的晶圆(9)。

6.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所有的所述晶圆支撑柱(4)通过皮带联动机构(52)实现联动旋转。

7.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，每个能够升降的所述晶圆支撑柱(4)均单独设置在一个旋转气缸(51)上。

8.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，不能升降的所述晶圆支撑柱(4)晶圆容纳槽(40)为弧形，且晶圆容纳槽(40)位于长度较短的两边。

9.根据权利要求8所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，能够升降地所述晶圆支撑柱(4)的晶圆容纳槽(40)位于长度较长的两边。

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【技术特征摘要】

1.一种具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述升降滚轮(2154)为两个。

3.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述升降滑块(2152)顶部分为平面部分和斜面部分，其中平面部分处于最高端，且平面部分具有容纳定位升降滚轮(2154)的凹槽。

4.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述旋转座(2)顶部还设置有挡杆(6)，挡杆(6)设置在水平滑动组件上，晶圆(9)在装入晶圆支撑柱(4)上后，挡杆(6)能够移动到晶圆支撑柱(4)的中间位置，并抵靠住晶圆(9)的外侧边缘。

5.根据权利要求1所述的具有升降锁定功能的晶圆翻转装置，其特征在于，所述晶圆支...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，周兴江，
申请(专利权)人：江苏亚电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：