【技术实现步骤摘要】
本申请属于晶圆生产设备，尤其是涉及一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘。
技术介绍
1、单片晶圆清洗装置是对晶圆进行一片一片清洗的设备。是在一个旋转的晶圆支撑盘上，通过多种清洗液（通常是三种），对晶圆依次进行工艺操作和清洗，具有质量稳定、满足工艺要求的优点。
2、中国专利技术专利文献cn113113328b公开了单片晶圆清洗装置清洗盘结构及单片晶圆清洗装置，其中晶圆直接放置支撑柱上，对晶圆的固定不是很牢固。在晶圆高速旋转清洗时被甩飞损坏的风险。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术的不足，从而提供一种能够卡紧晶圆的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，包括：
4、盘体，所述盘体中间具有中间孔，用于安装在转轴上，以在转轴的带动下进行转动，所述盘体包括顶面和安装在顶面底部的底面，顶面和底面中间形成安装空间；
5、支撑杆，所述支撑杆设置在盘体顶部，用于支撑晶圆；
6、卡紧柱，为若干个，所述卡紧柱包括底部，位于底部上的中间段，位于顶端的顶段，所述顶段设置有凹陷部，所述凹陷部用于卡住晶圆；
7、卡爪机构，所述卡爪机构包括驱动杆、倾斜块、连杆、弹性件、连接块、限位块和安装杆；
8、所述连杆的一端与连接块连接，所述连杆的另一端铰接地设置有安装杆，所述连接块上设置有所述驱动杆，所述驱动杆用于与驱动装置
9、所述倾斜块设置在所述盘体内，所述倾斜块的一端与盘体铰接，所述倾斜块的另一端与连接块铰接；
10、所述弹性件倾斜抵靠住所述倾斜块，以提供与驱动装置拉动驱动杆的拉力方向相反的作用力；
11、所述安装杆上安装有卡紧柱；
12、所述连杆受所述限位块限制而仅能沿所述连杆的轴向连接。
13、优选地，本专利技术的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，所述连接块为具有中空的回字形结构，所述倾斜块设置在所述连接块的内部。
14、优选地，本专利技术的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，所述卡紧柱设置在盘体上，能够摆动，所述卡紧柱内部具有空腔，所述安装杆伸入到空腔内，所述安装杆能够在空腔内沿所述安装杆的轴向自由移动。
15、优选地，本专利技术的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，所述盘体上设置有安装孔，所述卡紧柱设置在安装孔内，所述安装孔的开口处设置有封堵片。
16、优选地，本专利技术的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，所述支撑杆通过螺纹安装在所述盘体上，且所述支撑杆的顶部为锥形。以在顶部形成尖端，以便于支撑晶圆。
17、优选地，本专利技术的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，所述凹陷部具有直径从下往上逐渐减小的曲面，通过曲面支撑晶圆。
18、优选地，本专利技术的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，所述卡爪机构为沿着所述盘体布置的若干个，所有所述支撑杆共圆布置，所有所述卡紧柱共圆布置。
19、优选地，本专利技术的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，每根所述连杆上设置有两个所述安装杆。
20、本专利技术的有益效果是：
21、本专利技术的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，使用时，通过驱动装置向着支撑盘中心方向拨动所述驱动杆，使连接块、连杆向着支撑盘中心方向移动并压缩弹性件，连杆上的卡紧柱的顶部则向远离支撑盘中心方向动作，从而使所有卡紧柱形成的圆的直径增大，晶圆可以从顶部置入卡紧柱上，而后，撤销驱动装置对驱动杆的作用力，弹性件将连杆和卡紧柱恢复到原位置，从而卡紧晶圆。本专利技术的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘具有对晶圆的固定牢固的优点，减小晶圆旋转清洗时被甩飞损坏的风险。
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1.一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，所述连接块（45）为具有中空的回字形结构，所述倾斜块（42）设置在所述连接块（45）的内部。
3.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，所述卡紧柱（3）设置在盘体（1）上，能够摆动，所述卡紧柱（3）内部具有空腔（31），所述安装杆（47）伸入到空腔（31）内，所述安装杆（47）能够在空腔（31）内沿所述安装杆（47）的轴向自由移动。
4.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，所述盘体（1）上设置有安装孔（15），所述卡紧柱（3）设置在安装孔（15）内，所述安装孔（15）的开口处设置有封堵片。
5.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，所述支撑杆（2）通过螺纹安装在所述盘体（1）上，且所述支撑杆（2）的顶部为锥形。
6.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，所述凹陷部具有直径从下往上逐渐减小的曲面，通过曲面
7.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，所述卡爪机构为沿着所述盘体（1）布置的若干个，所有所述支撑杆（2）共圆布置，所有所述卡紧柱（3）共圆布置。
8.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，每根所述连杆（43）上设置有两个所述安装杆（47）。
...【技术特征摘要】
1.一种具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，所述连接块（45）为具有中空的回字形结构，所述倾斜块（42）设置在所述连接块（45）的内部。
3.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，所述卡紧柱（3）设置在盘体（1）上，能够摆动，所述卡紧柱（3）内部具有空腔（31），所述安装杆（47）伸入到空腔（31）内，所述安装杆（47）能够在空腔（31）内沿所述安装杆（47）的轴向自由移动。
4.根据权利要求1所述的具有倾斜支撑卡紧的晶圆支撑盘，其特征在于，所述盘体（1）上设置有安装孔（15），所述卡紧柱（3）设置在安装孔（15）内...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，霍召军，黄典礼，彭竹云，刘川，
申请(专利权)人：江苏亚电科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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