一种有效降低加热腔体运行能耗的设备制造技术

本申请公开了一种有效降低加热腔体运行能耗的设备，包括真空发生器以及惰性气体源；惰性气体源通过补气管道与加热腔体连通，用于向加热腔体补充惰性气体；真空发生器连通加热腔，且设有回填管道；回填管道与加热腔体连通，用于将回收的惰性气体回填至加热腔体。通过设置惰性气体源来给加热腔体内部补充惰性气体，利用惰性气体充当传热介质，提高加热速度，进而降低能耗。还通过配置有回填管道的真空发生器来回收部分高温惰性气体，并在下一次加热时，将这部分高温惰性气体回填至加热腔体中，以达到惰性气体余热回收利用的目的，进一步降低能耗。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及pecvd设备，尤其涉及一种有效降低加热腔体运行能耗的设备。

技术介绍

1、现有的pecvd设备中，加热腔用于对载板和硅片进行加热，使其温度达到工艺温度。具体地，在加热腔的腔壁中设置有加热元件，以对载板和硅片红外加热，加热完成后，再将载板及硅片输送至工艺腔；为保障加热腔腔壁中的其他元器件的正常使用及防止加热腔腔内或腔外壁温度过高，通常也会在腔壁中设置相应的冷却水路，以控制腔内温度及外腔壁温度。

2、其中，对于加热来说，由于加热时加热腔需抽真空，红外加热在无导热介质的情况下传热慢，需长时间加热，导致能耗高。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的是提供一种有效降低加热腔体运行能耗的设备，以解决现有加热腔运行能耗高的技术问题。

2、为达到上述技术目的，本申请提供了一种有效降低加热腔体运行能耗的设备，包括真空发生器以及惰性气体源；

3、所述惰性气体源通过补气管道与加热腔体连通，用于向所述加热腔体补充惰性气体；

4、所述真空发生器连通加热腔，且设有回填管道；

5、所述回填管道与所述加热腔体连通，用于将回收的惰性气体回填至所述加热腔体。

6、进一步地，所述惰性气体源上设有用于对存储的气体进行换热的换热机构；

7、所述真空发生器还设有旁通管道；

8、所述旁通管道用于连通所述回填管道与所述换热机构。

9、进一步地，所述回填管道上设有回填控制阀；

10、所述旁通管道上设有旁通控制阀。

11、进一步地，所述回填管道设有两个出气端；

12、所述回填管道的一个出气端延伸至所述加热腔体内部工件工位的上方位置；

13、所述回填管道的另一个出气端延伸至所述加热腔体内部工件工位的下方位置。

14、进一步地，所述补气管道设有两个出气端；

15、所述补气管道的一个出气端连接至所述加热腔体上位于内部工件工位外周的上方位置；

16、所述补气管道的另一个出气端连接至所述加热腔体上位于内部工件工位外周的下方位置。

17、进一步地，所述补气管上设有补气比例阀。

18、进一步地，所述回填管道上设有缓冲腔体；

19、所述缓冲腔体内设有气体浓度传感器；

20、所述回填管道上于所述缓冲腔体与所述加热腔体之间的管道上设有回填比例阀；

21、所述回填比例阀与所述气体浓度传感器电连接。

22、进一步地，还包括识别组件；

23、所述识别组件用于识别待加热工件是进入所述加热腔体的状态还是离开所述加热腔体的状态。

24、进一步地，所述识别组件安装于工件输送机构的侧壁上，包括夹套、移动块、弹性件以及感应器；

25、所述移动块滑动插设于所述夹套的夹槽中，且通过所述弹性件与所述夹套连接；

26、在所述工件输送机构将待加工工件输送至工件工位时，所述移动块受所述加热腔体中的配合部件的压紧而处于压紧状态；

27、所述感应器用于检测所述移动块的状态。

28、进一步地，所述感应器包括激光发射器以及激光接收器；

29、所述夹套上设有贯穿自身的第一识别孔；

30、所述激光发射器发射的激光可穿过所述第一识别孔被所述激光接收器接收；

31、所述移动块上设有贯穿自身且可与所述第一识别孔连通的第二识别孔；

32、在弹性件处于初始状态时，所述第一识别孔与第二识别孔对应导通；

33、在所述工件输送机构将待加工工件输送至工件工位时，所述移动块受所述加热腔体中的配合部件的压紧而对所述激光发射器发射的激光形成截挡。

34、从以上技术方案可以看出，本申请所设计的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其通过设置惰性气体源来给加热腔体内部补充惰性气体，利用惰性气体充当传热介质，提高加热速度，进而降低能耗。还通过配置有回填管道的真空发生器来回收部分高温惰性气体，并在下一次加热时，将这部分高温惰性气体回填至加热腔体中，以达到惰性气体余热回收利用的目的，进一步降低能耗。

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【技术保护点】

1.一种有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，包括真空发生器(1)以及惰性气体源(2)；

2.根据权利要求1所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述惰性气体源(2)上设有用于对存储的气体进行换热的换热机构；

3.根据权利要求2所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述回填管道(12)上设有回填控制阀(121)；

4.根据权利要求1所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述回填管道(12)设有两个出气端；

5.根据权利要求1所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述补气管道(21)设有两个出气端；

6.根据权利要求1所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述补气管上设有补气比例阀(211)。

7.根据权利要求1所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述回填管道(12)上设有缓冲腔体；

8.根据权利要求1所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，还包括识别组件(5)；

9.根据权利要求8所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述识别组件(5)安装于工件输送机构的侧壁上，包括夹套(51)、移动块(52)、弹性件(53)以及感应器；

10.根据权利要求9所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述感应器包括激光发射器(541)以及激光接收器(542)；

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【技术特征摘要】

1.一种有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，包括真空发生器(1)以及惰性气体源(2)；

2.根据权利要求1所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述惰性气体源(2)上设有用于对存储的气体进行换热的换热机构；

3.根据权利要求2所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述回填管道(12)上设有回填控制阀(121)；

4.根据权利要求1所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述回填管道(12)设有两个出气端；

5.根据权利要求1所述的有效降低加热腔体运行能耗的设备，其特征在于，所述补气管道(21)设有两个出气端；

6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：