【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及开盒器，特别是一种开盒器对接适配装置。
技术介绍
1、开盒器是是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，12寸开盒器的内部可以容纳25片的300mm晶圆，其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器，并有一个前开式的门框专司容器，是一种专属于12寸(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器；8寸晶舟是装载8寸晶圆的盒子，由一个个分离的插槽组成；一般一个晶盒可插入25片晶圆；晶圆在加工时都是以晶盒为单位进行的；
2、目前对接适配装置大多无法对12寸的开盒器进行对接，也无法兼容8寸的晶舟，且对接装置为敞口式或者简单的门，无法进行上锁，使用时导致门中途打开，安全性较低，内部也没有晶舟定位导向装置，导致传输不到位或者失败，对接装置内部无检测装置，导致使用不便，为此专利技术人设计了一款开盒器对接适配装置。
技术实现思路
1、本部分的目的在于概述本专利技术的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和专利技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和专利技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本专利技术的范围。
2、鉴于上述或现有技术中存在的问题，提出了本专利技术。
3、因此，本专利技术的目的是提供一种开盒器对接适配装置，其能够对接12寸的开盒器，并且内部可以兼容8寸的晶舟，并且可以对晶舟进行限位固定，使其稳固在适配装置内，并且本装置配备了门，在使用中可以对门进行
4、为解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种开盒器对接适配装置，其包括框架机构，定位导向机构，以及前门机构；
5、框架机构内部设置定位导向机构，框架机构侧边设置前门机构；
6、框架机构可与晶舟传送盒对接，前门机构可对框架机构进行开关，框架机构内可接收晶舟，定位导向机构可对晶舟进行导向限位，框架机构内的晶舟可接收晶圆。
7、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：定位导向机构包括第一限位导向组件，第二限位导向组件，以及第三限位导向组件；
8、第一限位导向组件可对晶舟的前侧进行限位导向，第二限位导向组件可对晶舟的后侧进行限位导向，第三限位导向组件可对晶舟的中侧进行限位导向。
9、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：前门机构包括前门，前门限位组件，以及固定块；
10、框架机构的侧边设置前门，框架机构的底部设置有前门限位组件，前门的底侧与固定块连接，前门限位组件可对前门上的固定块进行限位固定。
11、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：框架机构包括框架，框架底板，以及限位支撑舱板；
12、框架底端设置框架底板，框架底板下方连接限位支撑舱板，限位支撑舱板上设置前门限位组件。
13、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：前门限位组件包括第一限位挡块，支撑轴，限位杆，以及第二限位挡块；
14、支撑轴可对限位杆中部进行支撑，第一限位挡块可对限位杆的一端进行限位，限位杆的另一端可对固定块进行连接，第二限位挡块可对限位杆进行限位支撑，支撑轴和第一限位挡块与限位支撑舱板连接，第二限位挡块与框架底板连接。
15、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：限位杆包括第一连杆，u型杆，第一限位销，以及第二限位销；
16、第一连杆与u型杆连接，第一连杆上设置第一限位销，第二限位销设置在u型杆上，第一连杆可围绕支撑轴进行转动，第二限位挡块可对u型杆进行限位。
17、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：框架的侧截面为直角梯形。
18、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：第一限位导向组件包括第一左限位块，第一右限位块，框架底板，以及前门；
19、第一左限位块和第一右限位块设置在框架底板上，且靠近前门的一侧。
20、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：第二限位导向组件包括第二左限位块，以及第二右限位块；
21、第二左限位块，以及第二右限位块设置在框架底板上，且设置在远离前门的一侧。
22、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：第三限位导向组件包括横向限位块，横向限位块设置在第一限位导向组件和第二限位导向组件之间。
23、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：第一左限位块，第一右限位块，第二左限位块，第二右限位块，以及横向限位块上均设置有导向坡。
24、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：框架机构内还包括第一检测件，以及第二检测件；
25、第一检测件和第二检测件设置在框架底板上；
26、第一检测件可检测前门位置；
27、第二检测件可检测晶舟位置。
28、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：框架机构还包括扫描识别件；
29、扫描识别件设置在框架底板；扫描识别件可扫描读取晶舟的id信息。
30、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：限位支撑舱板上开设有操作口。
31、作为本专利技术开盒器对接适配装置的一种优选方案，其中：限位支撑舱板的下端面设置定位槽。
32、本专利技术的有益效果：本专利技术通过限位支撑舱板下端面的定位槽可与12寸晶舟传送盒上的载物台进行连接支撑，并且本装置可以兼容存储8寸晶舟，通过定位导向机构可对晶舟进行限位固定，通过前门机构可对框架机构进行封闭，并且可以对门进行限位锁定，避免出现门活动，进一步增强了安全性，通过内部的检测装置可以检测内部的晶舟是否放置到位，并且还可以对晶舟进行扫描识别id信息。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种开盒器对接适配装置，其特征在于：包括框架机构(1)，定位导向机构(2)，以及前门机构(3)；
2.如权利要求1所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述定位导向机构(2)包括第一限位导向组件(21)，第二限位导向组件(22)，以及第三限位导向组件(23)；
3.如权利要求1或2所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述前门机构(3)包括前门(31)，前门限位组件(32)，以及固定块(33)；
4.如权利要求3所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述框架机构(1)包括框架(11)，框架底板(12)，以及限位支撑舱板(13)；
5.如权利要求4所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述前门限位组件(32)包括第一限位挡块(3201)，支撑轴(3202)，限位杆(3203)，以及第二限位挡块(3204)；
6.如权利要求5所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述限位杆(3203)包括第一连杆(32031)，U型杆(32032)，第一限位销(32033)，以及第二限位销(32034)；
7.如权利要求4所
8.如权利要求2所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述第一限位导向组件(21)包括第一左限位块(2102)，第一右限位块(2103)，框架底板(12)，以及前门(31)；
9.如权利要求8所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述第二限位导向组件(22)包括第二左限位块(2201)，以及第二右限位块(2202)；
10.如权利要求9所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述第三限位导向组件(23)包括横向限位块(2301)，所述横向限位块(2301)设置在第一限位导向组件(21)和第二限位导向组件(22)之间。
11.如权利要求10所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述第一左限位块(2102)，第一右限位块(2103)，第二左限位块(2201)，第二右限位块(2202)，以及横向限位块(2301)上均设置有导向坡。
12.如权利要求4所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述框架机构(1)内还包括第一检测件(15)，以及第二检测件(16)；
13.如权利要求4所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述框架机构(1)还包括扫描识别件(18)；
14.如权利要求6所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述限位支撑舱板(13)上开设有操作口(17)。
15.如权利要求4所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述限位支撑舱板(13)的下端面设置定位槽(14)。
...【技术特征摘要】
1.一种开盒器对接适配装置，其特征在于：包括框架机构(1)，定位导向机构(2)，以及前门机构(3)；
2.如权利要求1所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述定位导向机构(2)包括第一限位导向组件(21)，第二限位导向组件(22)，以及第三限位导向组件(23)；
3.如权利要求1或2所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述前门机构(3)包括前门(31)，前门限位组件(32)，以及固定块(33)；
4.如权利要求3所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述框架机构(1)包括框架(11)，框架底板(12)，以及限位支撑舱板(13)；
5.如权利要求4所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述前门限位组件(32)包括第一限位挡块(3201)，支撑轴(3202)，限位杆(3203)，以及第二限位挡块(3204)；
6.如权利要求5所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述限位杆(3203)包括第一连杆(32031)，u型杆(32032)，第一限位销(32033)，以及第二限位销(32034)；
7.如权利要求4所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述框架(11)的侧截面为直角梯形。
8.如权利要求2所述的开盒器对接适配装置，其特征在于：所述第一限位导向组件(21)包括第一左...
【专利技术属性】
技术研发人员：季滔，顾俊，申勇，
申请(专利权)人：上海禾芯威半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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