【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光罩盒，特别是一种台式光罩盒自动化开盒器。
技术介绍
1、目前使用的台式光罩盒存取装置操作方式较为复杂繁琐，无法实现全自动化操作，而且光罩盒的盒盖不便于更换，更换操作较为浪费时间，需人工判断光罩盒是否放置到位，是否放置正确，并且在开盒或者关盒过程中无法对内部的掩模板进行数量和方向的监测，在开盒和关盒过程中，会对倾斜的掩模板进行挤压导致损坏，和其他设备进行对接时，容易出现光罩盒定位不准确，位置错误等缺陷，使用过程不能实现自动化，为此，专利技术人设计了一种台式光罩盒自动化开盒器。
技术实现思路
1、本部分的目的在于概述本专利技术的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和专利技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和专利技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本专利技术的范围。
2、鉴于上述或现有技术中存在的问题，提出了本专利技术。
3、因此，本专利技术的目的是提供一种台式光罩盒自动化开盒器，其能够快速对光罩盒上的盒盖进行升降，从而打开盒盖，从而对内部的掩模板进行操作，盒盖在开启和关闭的过程中，可以对内部的掩模板的状态进行检测，实现了自动化操作。
4、为解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种台式光罩盒自动化开盒器，其包括支撑框架组件，载台组件，以及升降机构；
5、支撑框架组件可对载台组件和升降机构进行支撑，升降机构的内侧设置载台组件，升降机构可沿支撑框架组
6、载台组件上可放置光罩盒，升降机构可对光罩盒上的盒盖进行升降。
7、作为本专利技术台式光罩盒自动化开盒器的一种优选方案，其中：升降机构包括驱动升降组件，升降台组件，导向组件，以及第一锁紧组件；
8、驱动升降组件与支撑框架组件连接，驱动升降组件与升降台组件连接，驱动升降组件可驱动升降台组件进行升降；
9、升降台组件上设置导向组件和第一锁紧组件，第一锁紧组件可对盒盖进行锁紧。
10、作为本专利技术台式光罩盒自动化开盒器的一种优选方案，其中：驱动升降组件包括驱动件，同步带轮，丝杆，丝杆支撑架，丝杆驱动块，升降滑块，导轨，以及挡板；
11、驱动件与支撑框架组件连接，驱动件通过同步带轮与丝杆连接，丝杆支撑架对丝杆进行支撑，丝杆与丝杆驱动块螺纹配合连接，丝杆驱动块与升降滑块连接，升降滑块沿着导轨进行滑动，升降滑块与升降台组件连接，挡板与升降滑块的上端面连接。
12、作为本专利技术台式光罩盒自动化开盒器的一种优选方案，其中：升降台组件包括升降台；
13、升降台的内侧设置有第一检测件，以及第二检测件；
14、第一检测件可对光罩盒内掩模板的数量进行检测；
15、第二检测件可对光罩盒内掩模板的方向进行检测。
16、作为本专利技术台式光罩盒自动化开盒器的一种优选方案，其中：第一锁紧组件包括锁紧驱动件，锁紧台，升降台，以及防护架；
17、锁紧驱动件与升降台连接，锁紧驱动件与锁紧台连接，防护架设置在升降台的上端面，防护架内设置有槽口，锁紧台可收纳至槽口内；
18、锁紧驱动件可驱动锁紧台转动对盒盖进行锁紧。
19、作为本专利技术台式光罩盒自动化开盒器的一种优选方案，其中：导向组件包括导向块，以及升降台；
20、导向块设置在升降台的上端面，四组导向块设置在升降台的四角。
21、作为本专利技术台式光罩盒自动化开盒器的一种优选方案，其中：导向块上设置有导向坡，导向块的上截面呈现“l”型。
22、作为本专利技术台式光罩盒自动化开盒器的一种优选方案，其中：载台组件包括支撑座，载台，第二锁紧件，定位件，识别件,以及第三检测件；
23、支撑座与支撑框架组件连接，支撑座的上端面设置载台，载台上设置有第二锁紧件，定位件，识别件,以及第三检测件，
24、第二锁紧件可对光罩盒底板进行限位固定；定位件可对光罩盒底板进行定位，识别件可读取光罩盒的id信息；第三检测件可检测光罩盒是否存在。
25、作为本专利技术台式光罩盒自动化开盒器的一种优选方案，其中：支撑框架组件包括侧支撑架板，以及下支撑框架；
26、下支撑框架内与载台组件连接，下支撑框架可对升降台组件进行支撑，下支撑框架侧面与侧支撑架板连接。
27、作为本专利技术台式光罩盒自动化开盒器的一种优选方案，其中：侧支撑架板上设置有开关门机构。
28、本专利技术的有益效果：本专利技术通过支撑框架组件可以对载台组件和升降机构进行支撑，通过载台组件可以对光罩盒进行支撑，通过升降机构可以把光罩盒的盒盖进行升降，从而漏出内部的掩模板，升降机构带动盒盖进行升降可以对掩膜板的状态进行检测，本装置为半身台式设计，对于全身设计来说具有不占空间的优势，并且可支持新型多层光罩盒的开盒，与主设备对接接口也完全兼容6”、8”开盒器，本装置可以快速与搬运机器人进行对接，大幅提高了工作效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：包括支撑框架组件(1)，载台组件(2)，以及升降机构(3)；
2.如权利要求1所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述升降机构(3)包括驱动升降组件(31)，升降台组件(32)，导向组件(33)，以及第一锁紧组件(34)；
3.如权利要求2所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述驱动升降组件(31)包括驱动件(3101)，同步带轮(3102)，丝杆(3103)，丝杆支撑架(3104)，丝杆驱动块(3105)，升降滑块(3106)，导轨(3107)，以及挡板(3108)；
4.如权利要求2所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述升降台组件(32)包括升降台(3201)；
5.如权利要求4所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述第一锁紧组件(34)包括锁紧驱动件(3401)，锁紧台(3402)，升降台(3201)，以及防护架(3403)；
6.如权利要求2所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述导向组件(33)包括导向块(3301)，以及升降台(320
7.如权利要求6所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述导向块(3301)上设置有导向坡，所述导向块(3301)的上截面呈现“L”型。
8.如权利要求1～7任一所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述载台组件(2)包括支撑座(21)，载台(22)，第二锁紧件(23)，定位件(24)，识别件(25),以及第三检测件(26)；
9.如权利要求2所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述支撑框架组件(1)包括侧支撑架板(11)，以及下支撑框架(12)；
10.如权利要求9所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述侧支撑架板(11)上设置有开关门机构(5)。
...【技术特征摘要】
1.一种台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：包括支撑框架组件(1)，载台组件(2)，以及升降机构(3)；
2.如权利要求1所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述升降机构(3)包括驱动升降组件(31)，升降台组件(32)，导向组件(33)，以及第一锁紧组件(34)；
3.如权利要求2所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述驱动升降组件(31)包括驱动件(3101)，同步带轮(3102)，丝杆(3103)，丝杆支撑架(3104)，丝杆驱动块(3105)，升降滑块(3106)，导轨(3107)，以及挡板(3108)；
4.如权利要求2所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述升降台组件(32)包括升降台(3201)；
5.如权利要求4所述的台式光罩盒自动化开盒器，其特征在于：所述第一锁紧组件(34)包括锁紧驱动件(3401)，锁紧台(3402)...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾俊，季涛，申勇，
申请(专利权)人：上海禾芯威半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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