【技术实现步骤摘要】
本公开涉及晶棒加工,尤其涉及一种挂晶机构和切片机。
技术介绍
1、在晶棒的切片工序中,需要通过切片机将晶棒切割为多片晶片。然而,在切割过程中经常会出现部分切割线已将晶棒切透,而另一部分切割线未将晶棒切透,进而导致切割线断线或者晶裂等问题。
技术实现思路
1、本公开的实施例提供一种挂晶机构和切片机,降低了切割晶棒过程中切割线断线或者晶裂的概率。
2、为达到上述目的,本公开的实施例采用如下技术方案:
3、一方面,提供了一种挂晶机构,应用于切片机,所述切片机包括驱动装置,所述挂晶机构包括调节板、挂晶组件以及多个调节组件,所述调节板用于与驱动装置连接,所述调节板包括多个间隔排布的连接区;所述挂晶组件用于与晶棒固定连接,所述挂晶组件包括固定板,所述固定板与所述调节板相对且间隔设置;所述调节组件与所述连接区、所述固定板连接,所述调节组件可调节所述连接区和所述固定板之间的间距。
4、在一些实施方式中,所述连接区设有通孔,所述调节组件包括调节件和调节杆,所述调节件设置在所述调节板背离所述固定板的一侧,所述调节杆的下端与所述固定板连接,所述调节杆的上端穿过所述通孔与所述调节件连接。
5、在一些实施方式中,所述调节件包括第一螺母,所述调节杆包括第一螺杆,所述第一螺母抵顶在所述调节板背离所述固定板的一侧,所述第一螺杆的下端与所述固定板连接,所述第一螺杆的上端与所述第一螺母螺纹连接。
6、在一些实施方式中,所述调节板包括固定区,所述固定区用于与所
7、在一些实施方式中,所述挂晶机构还包括锁紧组件,所述锁紧组件设置在所述调节板,所述锁紧组件可朝向所述固定板移动使所述锁紧组件的下端抵顶在所述固定板,以锁紧所述固定板。
8、在一些实施方式中,所述锁紧组件包括第二螺杆,所述调节板上设有第二螺纹孔,所述第二螺杆与所述第二螺纹孔螺纹连接。
9、在一些实施方式中,所述锁紧组件还包括第二螺母,所述第二螺母螺纹连接在所述第二螺杆,且所述第二螺母抵顶在所述调节板背离所述固定板的一侧。
10、在一些实施方式中,所述挂晶机构还包括水平传感器和显示装置,所述水平传感器设置在所述固定板上,所述水平传感器被配置为检测所述固定板的水平度,所述显示装置与所述水平传感器电连接,以显示所述固定板的水平度。
11、在一些实施方式中,在水平面内具有相互垂直的第一方向和第二方向,所述固定板沿所述第一方向的尺寸大于所述固定板沿所述第二方向的尺寸,所述水平传感器包括第一传感器和多个第二传感器,所述第一传感器被配置为检测所述固定板沿所述第一方向的水平度,所述第二传感器被配置为检测所述固定板沿所述第二方向的水平度;所述固定板沿所述第一方向包括相对的第一端和第二端,所述固定板的第一端和第二端分别设有所述第二传感器。
12、在一些实施方式中,所述挂晶组件还包括晶料挂钩、上料晶托板以及粘接板,所述晶料挂钩连接在所述固定板的下方,所述上料晶托板可滑动地连接在所述晶料挂钩,所述粘接板粘接在所述上料晶托板的下方,所述晶棒粘接在所述粘接板的下方。
13、另一方面,提供了一种切片机,包括所述的挂晶机构。
14、本公开实施例提供的挂晶机构包括相对且间隔设置的调节板和固定板,调节板上设有多个间隔排布的连接区,每个连接区均连接有调节组件,调节组件可以调节连接区和固定板之间的间距。在切片工序中,可以通过调节组件分别调整各连接区与固定板的间距,从而调整固定板的姿态。由于晶棒与固定板连接,因此可以通过调节固定板调整晶棒的姿态。晶棒的状态调整至理想状态后,可以降低切割线断线的概率以及晶棒出现晶裂的概率。
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1.一种挂晶机构,应用于切片机,所述切片机包括驱动装置,其特征在于,所述挂晶机构包括调节板、挂晶组件以及多个调节组件,
2.根据权利要求1所述的挂晶机构,其特征在于,所述连接区设有通孔,所述调节组件包括调节件和调节杆,所述调节件设置在所述调节板背离所述固定板的一侧,所述调节杆的下端与所述固定板连接,所述调节杆的上端穿过所述通孔与所述调节件连接。
3.根据权利要求2所述的挂晶机构,其特征在于,所述调节件包括第一螺母,所述调节杆包括第一螺杆,所述第一螺母抵顶在所述调节板背离所述固定板的一侧,所述第一螺杆的下端与所述固定板连接,所述第一螺杆的上端与所述第一螺母螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的挂晶机构,其特征在于,所述调节板包括固定区,所述固定区用于与所述驱动装置连接,多个所述连接区绕所述固定区的周向间隔排布。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的挂晶机构,其特征在于,所述挂晶机构还包括锁紧组件,所述锁紧组件设置在所述调节板,所述锁紧组件可朝向所述固定板移动使所述锁紧组件的下端抵顶在所述固定板,以锁紧所述固定板。
6.根据权
7.根据权利要求1至4中任一项所述的挂晶机构,其特征在于,所述挂晶机构还包括水平传感器和显示装置,所述水平传感器设置在所述固定板上,所述水平传感器被配置为检测所述固定板的水平度,所述显示装置与所述水平传感器电连接,以显示所述固定板的水平度。
8.根据权利要求7所述的挂晶机构,其特征在于,在水平面内具有相互垂直的第一方向和第二方向,所述固定板沿所述第一方向的尺寸大于所述固定板沿所述第二方向的尺寸,所述水平传感器包括第一传感器和多个第二传感器,所述第一传感器被配置为检测所述固定板沿所述第一方向的水平度,所述第二传感器被配置为检测所述固定板沿所述第二方向的水平度;所述固定板沿所述第一方向包括相对的第一端和第二端,所述固定板的第一端和第二端分别设有所述第二传感器。
9.根据权利要求1所述的挂晶机构,其特征在于,所述挂晶组件还包括晶料挂钩、上料晶托板以及粘接板,所述晶料挂钩连接在所述固定板的下方,所述上料晶托板可滑动地连接在所述晶料挂钩,所述粘接板粘接在所述上料晶托板的下方,所述晶棒粘接在所述粘接板的下方。
10.一种切片机,其特征在于,包括如权利要求1至9中任一项所述的挂晶机构。
...【技术特征摘要】
1.一种挂晶机构,应用于切片机,所述切片机包括驱动装置,其特征在于,所述挂晶机构包括调节板、挂晶组件以及多个调节组件,
2.根据权利要求1所述的挂晶机构,其特征在于,所述连接区设有通孔,所述调节组件包括调节件和调节杆,所述调节件设置在所述调节板背离所述固定板的一侧,所述调节杆的下端与所述固定板连接,所述调节杆的上端穿过所述通孔与所述调节件连接。
3.根据权利要求2所述的挂晶机构,其特征在于,所述调节件包括第一螺母,所述调节杆包括第一螺杆,所述第一螺母抵顶在所述调节板背离所述固定板的一侧,所述第一螺杆的下端与所述固定板连接,所述第一螺杆的上端与所述第一螺母螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的挂晶机构,其特征在于,所述调节板包括固定区,所述固定区用于与所述驱动装置连接,多个所述连接区绕所述固定区的周向间隔排布。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的挂晶机构,其特征在于,所述挂晶机构还包括锁紧组件,所述锁紧组件设置在所述调节板,所述锁紧组件可朝向所述固定板移动使所述锁紧组件的下端抵顶在所述固定板,以锁紧所述固定板。
6.根据权利要求5所述的挂晶机构,其特征在于,所述锁紧组件包括第二螺杆,所述调节板上设有第二螺纹孔,所述第二螺杆与所述第二螺纹孔螺纹连接;所述锁紧组件还包...
【专利技术属性】
技术研发人员:李东锋,王强,朱永刚,李侨,刘永生,冯亚波,杨瑞,邓浩银,
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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