【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅生产，具体为一种单晶炉。
技术介绍
1、单晶炉主要用于晶棒生产的密封的压力容器，炉内包含许多热场部件及一些保温毡，热场部件如加热器、托杆、保温筒、热屏等，一般为等静压石墨制成，同时为了避免高温对设备的损坏和降低拉晶功耗，一般使用石墨纤维制成的保温毡将保温筒包裹，用来隔绝热量，以保证单晶炉正常生产。然后单晶炉在生产完结后，通过向热场内输送氩气冷却，待冷却后再进行清理，重新投炉，因此，需要单晶炉在密闭状态下维持一个较长的停炉时间，用来将热场进行冷却，一般冷却时间为9小时，从而减小上述高温带来的损害并进行单晶硅的下一批次的投炉生产。
2、但是，在自然冷却9小时后，炉内温度依然在300℃～400℃，且由于等静压石墨和石墨纤维这两种材料在高温下容易跟空气中的氧气反应，石墨件氧化产生的碳化硅层与石墨层冷却过程中会因膨胀程度不同，导致石墨件制成的部件破裂，进而会造成石墨毡纤维缩短、空隙增大、厚度减薄，保温效果减弱，同时也容易对拆炉人员造成一定的烫伤，因此，只能通过延长冷却时间来避免上述问题，而延长冷却时间无法保证设备利用率，故而亟需一种在生产完结后能够快速实现冷却的单晶炉。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术实施例提供了一种单晶炉，以解决现有单晶炉冷却时间过长的问题。
2、为实现上述目的，本技术实施例提供如下技术方案：
3、一种单晶炉，包括：炉筒、中保温筒、下保温筒和升降机构；
4、下保温筒和中保温筒均设置于炉筒内，中保温筒位于下保
5、升降机构设置于中保温筒的下方，用于带动中保温筒升降。
6、优选的，升降机构，包括：卡箍和电动推杆；
7、卡箍套设于中保温筒；
8、电动推杆设置于卡箍的下方，以使电动推杆的伸出杆向上伸出并推动卡箍和中保温筒向上移动。
9、优选的，电动推杆的数量为多个。
10、优选的，多个电动推杆沿中保温筒的周向均匀设置。
11、优选的，卡箍通过螺栓固定于中保温筒。
12、优选的，还包括：套设于电动推杆的保护盒。
13、优选的，还包括：设置于炉筒内的水冷屏。
14、优选的，还包括：包覆于中保温筒的保温毡。
15、优选的，保温毡采用石墨制成。
16、本技术公开了一种单晶炉。将下保温筒和中保温筒设置于炉筒内，并将中保温筒设置在下保温筒的上方，以及将用于带动中保温筒升降的升降机构设置于中保温筒的下方。通过上述公开的单晶炉，在中保温筒的下方设置带动中保温筒升降的升降机构，可在单晶炉生产完结后，通过升降机构带动中保温筒上升，使中保温筒与下保温筒分离，进而通过向炉筒内输送氩气后，氩气对中保温筒内进行冷却降温，本申请提供的单晶炉相较于现有的单晶炉，由于能够对中保温筒内进行冷却降温，因此，能够有效缩短炉内降温时间，进而有效减少氩气用量，并能保证设备的利用率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种单晶炉，其特征在于，包括：炉筒、中保温筒、下保温筒和升降机构；
2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述升降机构，包括：卡箍和电动推杆；
3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述电动推杆的数量为多个。
4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，多个所述电动推杆沿所述中保温筒的周向均匀设置。
5.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述卡箍通过螺栓固定于所述中保温筒。
6.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，还包括：套设于所述电动推杆的保护盒。
7.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，还包括：设置于所述炉筒内的水冷屏。
8.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，还包括：包覆于所述中保温筒的保温毡。
9.根据权利要求8所述的单晶炉，其特征在于，所述保温毡采用石墨制成。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉，其特征在于，包括：炉筒、中保温筒、下保温筒和升降机构；
2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述升降机构，包括：卡箍和电动推杆；
3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述电动推杆的数量为多个。
4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，多个所述电动推杆沿所述中保温筒的周向均匀设置。
5.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：张二东，王新强，周涛，鲍迪，杨政，刘霞，
申请(专利权)人：双良硅材料包头有限公司，
类型：新型
国别省市：
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